公开(公告)号：WO2004092829A3

公开(公告)日：2004-10-28

申请号：PCT/EP2004/050524

申请日：2004-04-14

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  FREUND, Johannes ,  STETTER, Michael

Inventor： FREUND, Johannes ,  STETTER, Michael

IPC: G03F7/20

Abstract: Erläutert wird unter anderem eine Maskierungsanordnung mit zwei Teilbereichen (16, 18), von denen jeder Teilbereich (16, 18) Muster für eine integrierte Schaltungsanordnung enthält. Der eine Teilbereich (16) ist von einem Hilfsmusterrahmen (46) umgeben. Der andere Teilbereich (18) ist von einem anderen Hilfsmusterrahmen (76) umgeben. Durch die Verwendung der Rahmen (46, 76) ist eine einfache Fertigung möglich.

公开(公告)号：WO2004092829A2

公开(公告)日：2004-10-28

申请号：PCT/EP2004050524

申请日：2004-04-14

Applicant: INFINEON TECHNOLOGIES AG ,  FREUND JOHANNES ,  STETTER MICHAEL

Inventor： FREUND JOHANNES ,  STETTER MICHAEL

IPC: G03F20060101 ,  G03F1/00 ,  G03F7/20 ,  G03F9/00 ,  H01L23/544 ,  G03F

CPC classification number: G03F9/7076 ,  G03F1/42 ,  G03F1/50 ,  G03F9/7003 ,  G03F9/7046

Abstract: The invention relates to, among other things, a masking arrangement comprising two partial areas (16, 18) each containing a pattern for an integrated circuit arrangement. One partial area (16) is surrounded by an auxiliary pattern frame (46). The other partial area (18) is surrounded by another auxiliary pattern frame (76). A simple manufacturing is made possible by using the frames (46, 76).

Abstract translation: 尤其具有两个部分的掩蔽装置（16，18），每个部分（16，18）用于集成电路配置图案进行说明包含。 该一个部分区域（16）由围绕它的辅助图案框架（46）。 另一部分区域（18）由另一个辅助图案框架（76）包围。 通过使用帧（46，76）是一个简单的制造成为可能。

公开(公告)号：CH248712A

公开(公告)日：1947-05-31

申请号：CH248712D

申请日：1946-01-08

Applicant: FREUND JOHANNES

Inventor： JOHANNES FREUND

IPC: A01B21/04