公开(公告)号：DE60027864D1

公开(公告)日：2006-06-14

申请号：DE60027864

申请日：2000-03-01

Applicant: HAMAMATSU PHOTONICS KK ,  RADOS TECHNOLOGY OY TURKU

Inventor： SUYAMA MOTOHIRO

IPC: G01J1/46 ,  G01J1/04

公开(公告)号：DE69633183D1

公开(公告)日：2004-09-23

申请号：DE69633183

申请日：1996-06-28

Applicant: RADOS TECHNOLOGY OY TURKU

Inventor： OIKARI TIMO ,  KAHILAINEN JUKKA ,  HAASLAHTI JUKKA

IPC: H01L21/8247 ,  H01L27/115 ,  H01L29/788 ,  H01L29/792 ,  H01L31/10 ,  H01L31/113 ,  H01L31/12

公开(公告)号：DE69633183T2

公开(公告)日：2005-08-18

申请号：DE69633183

申请日：1996-06-28

Applicant: RADOS TECHNOLOGY OY TURKU

Inventor： OIKARI TIMO ,  KAHILAINEN JUKKA ,  HAASLAHTI JUKKA

IPC: H01L21/8247 ,  H01L27/115 ,  H01L29/788 ,  H01L29/792 ,  H01L31/10 ,  H01L31/113 ,  H01L31/12

公开(公告)号：DE69417770T2

公开(公告)日：1999-12-02

申请号：DE69417770

申请日：1994-10-28

Applicant: RADOS TECHNOLOGY OY TURKU

Inventor： KAHILAINEN JUKKA

IPC: G01T1/02 ,  A61B6/00 ,  G01T20060101 ,  G01T1/24 ,  H01L27/14 ,  H01L31/09 ,  H01L31/10 ,  H01L31/119