Abstract:
Die vorgestellte Erfindung betrifft ein Verfahren zur optomikromechanischen Weg-Erfassung, zur Signal-Umformung und Veränderung sowie Wandler, die nach diesem Verfahren arbeiten. Dazu dient ein - relativ zur Umgebung und relativ zu definierten Licht- bzw. Strahlungszonen - bewegliches, dünnes flächiges Blendenelement. Mit besonders geformten Durchlässen lässt dieses in Abhängigkeit von der Position mehr oder weniger Licht oder vergleichbare elektromagnetische Strahlung durch. Der Strahlungsanteil (der Lichtstrom), der durch die Durchlässe gelangt, bildet eine Funktion die von der Relativposition bzw. der Relativwinkellage des Blendenelementes zu den Strahlungszonen abhängt. Ein Photo- oder Strahlungsdetektor kann den auftreffenden Strahlungsfluss in elektrische Signale umwandeln. Die gemessenen Größen können Wege oder Winkel, Beschleunigungen, Kräfte, elektrisch oder magnetisch bedingte Bewegungen oder Druck sein. Elektrische oder magnetische Feldstärken, elektrische Spannungen oder Ströme die über aktive kapazitive oder induktive Stellglieder in Bewegungen umgeformt werden, können gemessen werden.
Abstract:
A method of sensing vibrations in the middle ear is presented. The method includes implanting a transducer in the middle ear. The transducer measures vibration, within a predetermined frequency range, of at least one component of the middle ear. The transducer has a resonance frequency within the predetermined frequency range, and further has a limited frequency response in a portion of the frequency range. The implanting includes operatively coupling the implant to the at least one component of the middle ear such that the limited frequency response of the transducer is complimentary to, and compensated by, the frequency characteristics of the at least one component of the middle ear.
Abstract:
Vorgestellt wird eine Methode zur Herstellung mikrostrukturierter Vorrichtungen für Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme (MEMS). Zur Vergrößerung des maximalen Aspektverhältnisses bedingt durch physikalische oder chemische Mikrostrukturierungsmethoden, wird vorgeschlagen, relativ zueinander beweglich strukturierte flächige Elemente der Vorrichtung von einer ersten relativen Bezugslage zueinander (Strukturierungsposition) lateral in eine zweite Bezugslage (Betriebsposition) dauerhaft oder irreversibel überzuführbar zu gestalten. Dadurch können zwischen strukturierten Wandabschnitten höhere Grabenkapazitäten gebildet werden. Die Bezugslagenänderung kann durch integrierte Antriebe oder Energiezuführung von außen ermöglicht werden, und erfolgt in einer von der Messrichtung wesentlich unterschiedlichen Richtung. Neben mechanischer Arbeit, Energie aus elektrischen oder magnetischen Feldern, kann Wärme zur Ortsverschiebung in Antrieben durch die Kraftwirkung auf ein Element oder hervorgerufene Längenänderungen dienen. Dieses Verfahren ermöglicht die Herstellung hochsensitiver Sensoren für kleinste Anregungssignale oder die Herstellung von sparsamen Aktuatoren mit äußerst hohem Wirkungsgrad in Form von dämpfungsarmen, flächenoptimierten, hoch-kapazitiven Wandlern, sowie einstellbare Vertikalkondensatoren mit hoher Kapazität.
Abstract:
The invention relates to a method for the optomicromechanical path detection, for signal conversion and modification, and to transducers operating according to said method. For this purpose, a thin planar aperture element (300) is used, which can be moved relative to the surroundings and relative to defined light or radiation zones. Using specially formed passages (2), said element allows more or less light or comparable electromagnetic radiation to pass depending on the position. The radiation component or the luminous flux traveling through the passages forms a function that is dependent on the relative position or the relative angular position of the aperture element to the radiation zones. A photo or radiation detector (200) can convert the impinging radiant flux into electrical signals. The measured variables can be paths or angles, accelerations, forces, electrically or magnetically induced movements or pressure. It is possible to measure electric or magnetic field intensities, electric voltages or currents that are converted into movements via active capacitive or inductive actuators.