公开(公告)号：CN108027390B

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN201680052148.7

申请日：2016-07-12

Applicant: 国家科学研究中心 ,  VMICRO公司

Inventor： B·瓦尔特 ,  M·福谢

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

Abstract: 本发明涉及一种用于原子力显微的探头，所述探头包括用于原子力显微的探针(PT1)，所述探针朝向称为纵向方向(y)的方向并且在所述纵向方向上从基底(S1)的边缘(B)凸出，其特征在于，所述探针设置在往复器(PJ1)的一端，所述往复器至少经由称为支撑结构的第一结构(ET)和第二结构(R、RA)附接至所述基底，至少所述第一支撑结构为柔性结构，其在垂直于所述纵向方向的称为横向方向(x)的方向上延伸，并且通过在所述横向方向上的至少一个机械连结锚定至基底，所述支撑结构适于使往复器能够在纵向方向上移动。本发明还涉及包括至少一个这种探头的原子力显微镜。

公开(公告)号：CN108027390A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680052148.7

申请日：2016-07-12

Applicant: 国家科学研究中心 ,  VMICRO公司

Inventor： B·瓦尔特 ,  M·福谢

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

Abstract: 本发明涉及一种用于原子力显微的探头，所述探头包括用于原子力显微的探针(PT1)，所述探针朝向称为纵向方向(y)的方向并且在所述纵向方向上从基底(S1)的边缘(B)凸出，其特征在于，所述探针设置在往复器(PJ1)的一端，所述往复器至少经由称为支撑结构的第一结构(ET)和第二结构(R、RA)附接至所述基底，至少所述第一支撑结构为柔性结构，其在垂直于所述纵向方向的称为横向方向(x)的方向上延伸，并且通过在所述横向方向上的至少一个机械连结锚定至基底，所述支撑结构适于使往复器能够在纵向方向上移动。本发明还涉及包括至少一个这种探头的原子力显微镜。

公开(公告)号：JP2017080872A

公开(公告)日：2017-05-18

申请号：JP2016203283

申请日：2016-10-17

Applicant: ベミクロ ,  Vmicro ,  サントル ナショナル ドゥ ラ ルシェルシュ シアンティフィク ,  Centre National De La Recherche Scientifique ,  サントル ナショナル ドゥ ラ ルシェルシュ シアンティフィク

Inventor： BENJAMIN WALTER ,  MARC FAUCHER

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0045 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/02 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0118 ,  G01P15/123 ,  G01Q10/045 ,  G01Q20/04

Abstract: 【課題】低インピーダンス抵抗型変換器を備えたマイクロエレクトロメカニカルデバイス及びシステムを提供する。【解決手段】自らの端部の1つに位置する少なくとも1つの固着部APLM1、APLM2によって平面基板に連結された長手方向xに沿って主として延びる基板と平行な平面において屈曲できる機械的構造P1を含むマイクロエレクトロメカニカルデバイスであって、接合部が固着部に機械的構造を連結し且つ抵抗型変換器を形成するために電流を注入するための第1(PL1M1)及び第2(I2)のゾーンを呈し固着部から主として長手方向に延びる抵抗領域R1を含み、基板に平行な平面における機械的構造の屈曲が抵抗領域において非ゼロの平均歪みを引き起こすようにまた逆も同様であるように配置され、第1の注入ゾーンは固着部で担持され、第2の注入ゾーンは基板に固定されず且つ長手方向にほぼ直角な横方向に延びる導電要素で担持される。【選択図】図3a

公开(公告)号：US20220276149A1

公开(公告)日：2022-09-01

申请号：US17310242

申请日：2020-01-27

Applicant: UNIVERSITEIT GENT ,  IMEC VZW ,  VMICRO SAS ,  CNRS ,  ISEN YNCRÉA HAUTS-DE-FRANCE ,  UNIVERSITÉ DE LILLE ,  ECOLE CENTRALE DE LILLE ,  UNIVERSITÉ POLYTECHNIQUE HAUTS-DE-FRANCE

Inventor： Bart KUYKEN ,  Mathias VANWOLLEGHEM ,  Mattias VERSTUYFT ,  Benjamin WALTER ,  Jean-Francois LAMPIN

IPC: G01N21/17

Abstract: An integrated photoacoustic transducer, sensing system and method for assisting in sensing a concentration of a species in a fluid such that the integrated photoacoustic transducer includes a waveguide structure. The waveguide structure has an optical resonance spectrally overlapping a spectral absorption line or band of the species. The photoacoustic transducer includes at least one acoustic cavity formed in a portion of the waveguide structure and configured for receiving the fluid for sensing comprising the species. The at least one acoustic cavity has an acoustic resonance spectrally overlapping with a harmonic of a modulation frequency. At least one acoustic transducer comprising a deformable mechanical portion is included in the photoacoustic transducer. The deformable mechanical portion is in direct acoustic communication with the at least one acoustic cavity and has an adjustable mechanical resonance, which can be brought into spectral overlap with an acoustic resonance of the least one acoustic cavity.

公开(公告)号：US20210293850A1

公开(公告)日：2021-09-23

申请号：US16325127

申请日：2017-08-01

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  UNIVERSITE LILLE-1

Inventor： Benjamin WALTER ,  Marc FAUCHER ,  Estelle MAIRIAUX

IPC: G01Q60/38 ,  G01Q20/02

Abstract: A micromechanical sensor includes a movable micromechanical element and an optical resonator of disk or ring type, wherein the optical resonator has at least one interruption; and in that the movable micromechanical element is mechanically coupled to the optical resonator in such a way that a movement of the movable micromechanical element induces a modification of the width of the interruption of the optical resonator by moving at least one edge of the interruption in a direction substantially parallel to a direction of propagation of the light in the resonator at the interruption.

公开(公告)号：WO2018029049A1

公开(公告)日：2018-02-15

申请号：PCT/EP2017/069477

申请日：2017-08-01

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  UNIVERSITE LILLE-1

Inventor： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc ,  MAIRIAUX, Estelle

IPC: G01Q20/02 ,  G01P15/093 ,  G01D5/26 ,  G01Q20/04 ,  G01Q70/10 ,  B81B3/00

CPC classification number: G01Q20/04 ,  G01P15/093 ,  G01Q20/02 ,  G01Q70/10

Abstract: Capteur micromécanique comprenant un élément micromécanique mobile (EMM) et un résonateur optique (ROP4) de type disque ou anneau, caractérisée en ce que - le résonateur optique présente au moins une interruption (GR1, GR2); et en ce que - l'élément micromécanique mobile est couplé mécaniquement au résonateur optique de telle façon qu'un mouvement de l'élément micromécanique mobile induit une modification de la largeur de l'interruption dudit résonateur optique en déplaçant au moins un bord de cette dernière dans une direction sensiblement parallèle à une direction de propagation de la lumière dans le résonateur en correspondance de l'interruption.

Abstract translation: 微机械传感器包括移动微机械元件（EMM）和盘式或环形光学电阻器（ROP4），其特征在于 - 光电阻器具有至少一个中断（GR1，GR2）; 而且 - 移动微观元素是耦合的 所述光学电阻器使得所述可移动微观元件的运动通过脱离所述光学微带而引起所述光学抗蚀剂的所述中断的宽度的变化。 后者的至少一个边缘在基本上平行的方向上; 对应于中断，接收器中光的传播方向。

公开(公告)号：WO2017012927A1

公开(公告)日：2017-01-26

申请号：PCT/EP2016/066549

申请日：2016-07-12

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： WALTER, Benjamin ,  FAUCHER, Marc

IPC: G01Q10/04 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10

CPC classification number: G01Q10/045 ,  G01Q20/02 ,  G01Q20/04 ,  G01Q30/14 ,  G01Q60/06 ,  G01Q60/22 ,  G01Q60/30 ,  G01Q60/38 ,  G01Q60/40 ,  G01Q60/58 ,  G01Q70/06 ,  G01Q70/10

Abstract: Sonde pour microscopie à force atomique comprenant une pointe pour microscopie à force atomique (PT1) orientée dans une direction dite longitudinale (y) et faisant saillie d'un bord (B) d'un substrat (S1) dans ladite direction longitudinale, caractérisée en ce que ladite pointe est agencée à une extrémité d'une navette (PJ1) fixée audit substrat au moins par l'intermédiaire d'une première (ET) et d'une deuxième (R, RA) structure, dites de support, au moins ladite première structure de support étant une structure flexible, s'étendant dans une direction dite transversale (x), perpendiculaire à la dite direction longitudinale et ancrée au substrat par au moins une liaison mécanique dans ladite direction transversale, lesdites structures de support étant adaptées pour permettre à la navette de se déplacer dans la direction longitudinale. Microscope à force atomique comprenant au moins une telle sonde.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于原子力显微镜的探针，包括用于原子力显微镜（PT1）的尖端，所述尖端在所谓的纵向方向（y）上定向并从所述纵向上的衬底（S1）的边缘（B）突出 方向，其特征在于，所述尖端至少经由第一（ET）和第二（R，RA）所谓的支撑结构布置在连接到所述基底的梭子（PJ1）的一端，至少所述第一支撑结构为 柔性结构，其沿垂直于所述纵向方向的所谓横向（x）延伸，并通过所述横向方向上的至少一个机械连接锚定到所述基底，所述支撑结构适于允许梭子 沿纵向移动。 本发明还涉及包括至少一个这样的探针的原子力显微镜。

公开(公告)号：US10302673B2

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：US15788689

申请日：2017-10-19

Applicant: VMICRO ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE ,  UNIVERSITE LILLE-1

Inventor： Benjamin Walter ,  Marc Faucher ,  Estelle Mairiaux-Mage

IPC: G01Q20/02 ,  G01Q60/38 ,  G01Q70/10 ,  G01Q10/04 ,  G01Q20/04

Abstract: A probe for atomic force microscopy comprises a tip for atomic force microscopy oriented in a longitudinal direction, wherein: the tip is arranged at one end of a sensitive part of the probe, which is movable or deformable and linked to a support structure, which is anchored to the main surface of the substrate; the sensitive portion and the support structure are planar elements, extending mainly in planes that are parallel to the main surface of the substrate; the sensitive portion is linked to the support structure via at least one element allowing the sensitive portion to be displaced or to be extended in this direction; and the tip, the sensitive part and the support structure protrude from an edge of the substrate in the longitudinal direction. An atomic force microscope comprising at least one such probe is also provided.

公开(公告)号：US20170113918A1

公开(公告)日：2017-04-27

申请号：US15293147

申请日：2016-10-13

Applicant: Vmicro ,  CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE

Inventor： Benjamin WALTER ,  Marc FAUCHER

IPC: B81B3/00

CPC classification number: B81B3/0045 ,  B81B3/0021 ,  B81B3/0024 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/02 ,  B81B2201/031 ,  B81B2203/0118 ,  G01P15/123 ,  G01Q10/045 ,  G01Q20/04

Abstract: A microelectromechanical device comprising a mechanical structure extending along a longitudinal direction, linked to a planar substrate by an anchorage situated at one of its ends and able to flex in a plane parallel to the substrate, the mechanical structure comprises a joining portion, which links it to each anchorage and includes a resistive region exhibiting a first and second zone for injecting an electric current to form a resistive transducer, the resistive region extending in the longitudinal direction from an anchorage and arranged so a flexion of the mechanical structure in the plane parallel to the substrate induces a non-zero average strain in the resistive region and vice versa; wherein: the first injection zone is carried by the anchorage; and the second injection zone is carried by a conducting element not fixed to the substrate and extending in a direction, termed lateral, substantially perpendicular to the longitudinal direction.

公开(公告)号：US20230184809A1

公开(公告)日：2023-06-15

申请号：US17909740

申请日：2020-10-28

Applicant: VMICRO

Inventor： Benjamin WALTER

IPC: G01Q70/16 ,  G01Q70/02 ,  G01Q70/08

CPC classification number: G01Q70/16 ,  G01Q70/02 ,  G01Q70/08

Abstract: A detection device to be inserted in a holder of a scanning probe microscope is provided. The detection device comprises a probe comprising a support, a lever extending from the support, a tip positioned at one end of the lever, opposite from said support. The probe has dimensions that are small in comparison with the holder and the detection device comprises an adapter secured to the probe so as to adapt said probe to fit the holder. The adapter is secured to the probe by bonding comprising at least one adhesive or by assembly comprising a filler material used to secure said adapter to said probe during a brazing operation.