公开(公告)号：KR1020130079714A

公开(公告)日：2013-07-11

申请号：KR1020120000362

申请日：2012-01-03

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 박경호 ,  안재성

IPC: G01J3/02

Abstract: PURPOSE: A focusing mirror for simultaneously measuring cathodoluminescence and photoluminescence is provided to minimize analysis result errors due to external measurement variable and to shorten process time required for measurement. CONSTITUTION: A focusing mirror (100) for simultaneously measuring cathodoluminescence and photoluminescence includes a first focusing mirror (103) and a second focusing mirror. The first focusing mirror has a space inside. A first electronic beam guide line (104) is formed at one upper side of the first focusing mirror so that an electronic beam infiltrates inside the first focusing mirror. First optical fiber guide lines (105) are formed at both sides of the first electronic beam guide line so that a light from a light source infiltrates inside the first focusing mirror. The second focusing mirror is coupled with the first focusing mirror, and has a second electronic beam guide line and second optical fiber guide lines respectively corresponding to the first electronic beam guide line and the first optical fiber guide lines.

Abstract translation: 目的：提供用于同时测量阴极发光和光致发光的聚焦镜，以最小化由于外部测量变量导致的分析结果误差，并缩短测量所需的工艺时间。 构成：用于同时测量阴极发光和光致发光的聚焦镜（100）包括第一聚焦镜（103）和第二聚焦镜。 第一个聚焦镜内有一个空间。 第一电子束引导线（104）形成在第一聚焦镜的一个上侧，使得电子束浸入第一聚焦镜内。 第一光纤引导线（105）形成在第一电子束引导线的两侧，使得来自光源的光渗入第一聚焦镜内。 第二聚焦镜与第一聚焦镜耦合，并且具有分别对应于第一电子束引导线和第一光纤引导线的第二电子束引导线和第二光纤引导线。

公开(公告)号：KR101327308B1

公开(公告)日：2013-11-11

申请号：KR1020120000362

申请日：2012-01-03

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 박경호 ,  안재성

IPC: G01J3/02

Abstract: 본 발명은 집광거울에 전자빔 가이드라인 및 광섬유 가이드라인을 형성하여 음극선발광(Cathodoluminescence; CL)과 광발광(Photoluminescence; PL)을 동시에 측정할 수 있도록 하는 음극선발광 및 광발광의 동시 측정을 위한 집광거울에 관한 것으로, 내부에 공간이 형성되고, 전자빔이 내부로 입사되도록 일 측면의 상부에 제 1 전자빔 가이드라인이 형성되며, 광원이 내부로 입사되도록 제 1 전자빔 가이드라인의 일 측에 제 1 광섬유 가이드라인이 형성된 제 1 집광거울 및 제 1 집광거울과 결합하고, 제 1 전자빔 가이드라인 및 제 1 광섬유 가이드라인과 대응되는 제 2 전자빔 가이드라인 및 제 2 광섬유 가이드라인이 형성된 제 2 집광거울을 포함한다.
나아가, 본 발명에 따른 음극선발광 및 광발광의 동시 측정을 위한 집광거울은 제 1 광섬유 가이드라인 및 제 2 광섬유 가이드라인에 광섬유를 고정하며, 제 1 집광거울과 제 2 집광거울을 결합하기 위한 나사 홈을 포함한다.