公开(公告)号：KR101758305B1

公开(公告)日：2017-07-27

申请号：KR1020150191134

申请日：2015-12-31

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 성호근 ,  박범두 ,  이희관 ,  이용수 ,  최원명 ,  황선용 ,  유정상

IPC: H05B3/10 ,  H05B3/14 ,  H05B3/03 ,  H05B3/06 ,  H05B3/78

Abstract: 본발명은마이크로히터의제조방법및 이에의해제조된마이크로히터에관한것으로서, 기판상에멤브레인을형성할물질을증착하고, 이를패터닝하여캐버티형(cavity type) 멤브레인을형성하는제1단계와, 상기멤브레인상에전극을형성할물질을증착하고, 이를패터닝하여전극패턴을형성하는제2단계와, 상기전극패턴을패터닝하여상기전극패턴에상기멤브레인의캐버티와연통하는상부벤트홀(top vent-hole)을형성하는제3단계및 상기기판의뒷면을패터닝하여에칭하여상기상부벤트홀과연통하는하부벤트홀(bottom vent-hole)을형성하는제4단계를포함하여이루어진것을특징으로하는벤트홀이형성된마이크로히터의제조방법및 이에의해제조된마이크로히터를기술적요지로한다. 이에의해마이크로히터의탑(top) 부분에상부벤트홀(top vent-hole)을형성하여온도변화에따른캐버티(cavity) 내부의절대압력변화에의한구조적안정성을향상시키고, 상부벤트홀을멤브레인이아닌전극이나금속요소에형성함으로써, 멤브레인에작용하는물리적인스트레스를최소화하여온도및 압력이급격하게변하는환경등에서도널리활용할수 있는마이크로히터를제공하는이점이있다.

Abstract translation: 本发明的第一个步骤，以形成沉积材料，以在基板上形成膜，通过图案化型腔模具（腔型）膜涉及一种用于制造微型加热器，因此微型加热器通过制备 用于沉积材料以形成在膜上的电极，并且通过图案化该图案化形成电极图案的第二步骤上通气孔，电极图案连通与膜的电极图案中的腔体（顶部排气 5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述基板的背面形成图案并蚀刻所述基板的背面以形成与所述上通气孔连通的底部通气孔， 公开了一种制造微型加热器的方法和通过该方法制造的微型加热器。 因此，通过形成上通气孔（顶部泄孔）到微加热器的顶部（顶端）部分，以提高绝对压力变化的在腔（空腔）的结构稳定性由于通过膜的温度变化到上通风孔 有可能提供一种微型加热器，即使在通过最小化作用于膜上的物理应力而使温度和压力迅速改变的环境中也可以广泛使用。

公开(公告)号：KR1020170080968A

公开(公告)日：2017-07-11

申请号：KR1020150191134

申请日：2015-12-31

Applicant: (재)한국나노기술원

Inventor： 성호근 ,  박범두 ,  이희관 ,  이용수 ,  최원명 ,  황선용 ,  유정상

IPC: H05B3/10 ,  H05B3/14 ,  H05B3/03 ,  H05B3/06 ,  H05B3/78

Abstract: 본발명은마이크로히터의제조방법및 이에의해제조된마이크로히터에관한것으로서, 기판상에멤브레인을형성할물질을증착하고, 이를패터닝하여캐버티형(cavity type) 멤브레인을형성하는제1단계와, 상기멤브레인상에전극을형성할물질을증착하고, 이를패터닝하여전극패턴을형성하는제2단계와, 상기전극패턴을패터닝하여상기전극패턴에상기멤브레인의캐버티와연통하는상부벤트홀(top vent-hole)을형성하는제3단계및 상기기판의뒷면을패터닝하여에칭하여상기상부벤트홀과연통하는하부벤트홀(bottom vent-hole)을형성하는제4단계를포함하여이루어진것을특징으로하는벤트홀이형성된마이크로히터의제조방법및 이에의해제조된마이크로히터를기술적요지로한다. 이에의해마이크로히터의탑(top) 부분에상부벤트홀(top vent-hole)을형성하여온도변화에따른캐버티(cavity) 내부의절대압력변화에의한구조적안정성을향상시키고, 상부벤트홀을멤브레인이아닌전극이나금속요소에형성함으로써, 멤브레인에작용하는물리적인스트레스를최소화하여온도및 압력이급격하게변하는환경등에서도널리활용할수 있는마이크로히터를제공하는이점이있다.