公开(公告)号：KR100939679B1

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：KR1020070128007

申请日：2007-12-11

Applicant: (주)가하 ,  한국과학기술원

Inventor： 박준호 ,  조윤석 ,  박범수 ,  김승우 ,  주기남 ,  유준호

IPC: G02B27/40 ,  G03B13/36 ,  G03B13/00

Abstract: 본 발명은 자동 초점 조절 수단으로서 레이저 스팟 간의 간격 거리를 제 1 차 수단으로 사용하고, 레이저 스팟의 형상은 제 2 차 수단으로 채용함으로써, 검사 시편에 의해 발생될 수 있는 패턴 영향, 난반사 문제에 유연하게 대응하여 자동 초점 조절을 수행할 수 있고, 정확히 측정된 좌표값을 근거로 하여 산출된 길이 데이터를 제 1 차 초점 조절 수단으로 이용하여 정확한 자동 초점 조절이 가능한 자동 초점 조절 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 자동 초점 조절 장치는 레이저 광 출력부, 시준 렌즈, 핀홀, 회절 격자, 집광 렌즈, 광 분할기, 대물 렌즈, 원기둥 렌즈 및 광 검출기로 구성된 광학 시스템과 상기 광 검출기에 검출된 레이저 광선 스팟의 형상 및 스팟 간의 거리를 판독하는 연산 장치와; 초점이 맞을 경우의 스팟 간의 간격 거리값 (기준값)이 저장되는 기억 매체와; 새로운 검사 시편 로딩 시 검출된 형상 및 스팟 간의 거리를 상기 기억 매체에 저장된 기준값과 비교하여 초점이 맞을 때의 형상 및 스팟 간의 거리를 유지하도록 제어하는 제어 장치; 및 상기 제어 장치에 의한 제어 신호에 따라 구동되는 구동 모터를 포함하도록 구성되어 있다.
자동 초점 조절

公开(公告)号：KR1020090061138A

公开(公告)日：2009-06-16

申请号：KR1020070128007

申请日：2007-12-11

Applicant: (주)가하 ,  한국과학기술원

Inventor： 박준호 ,  조윤석 ,  박범수 ,  김승우 ,  주기남 ,  유준호

IPC: G02B27/40 ,  G03B13/36 ,  G03B13/00

CPC classification number: G02B27/40 ,  G02B7/04 ,  G02B21/245 ,  G11B7/0908 ,  H04N5/232

Abstract: An auto focusing apparatus and a method thereof are provided, which perform the auto focusing by flexibly coping with the diffuse reflection problem and the pattern influence generated by the inspection specimen. An auto focusing apparatus(120) comprises the laser beam output part(10), the diffraction grating(40), the beam splitter(60), the objective lens(70), cylindrical lenses, the convex lens(100), the optical detector(110), arithmetic and logic unit, the storage media, the control device, and the drive motor. In the laser beam output part, the circular laser beam controlling the quantity of light is outputted. The diffraction grating radially divides the laser into a plurality of rays. The beam splitter makes the divided light ray incident in the specimen(80). The convex lens gathers the light passing through the cylindrical lens to the domain of the optical detector. The drive motor is driven according to the control signal by the control device.

Abstract translation: 提供了一种自动对焦装置及其方法，其通过灵活地应对由检查样本产生的漫反射问题和图案影响来执行自动聚焦。 自动聚焦装置（120）包括激光束输出部分（10），衍射光栅（40），分束器（60），物镜（70），柱面透镜，凸透镜（100） 检测器（110），算术和逻辑单元，存储介质，控制装置和驱动电机。 在激光束输出部中，输出控制光量的圆形激光束。 衍射光栅将激光器径向地分成多个射线。 分束器使分离的光线入射到样品（80）中。 凸透镜将通过柱面透镜的光聚焦到光学检测器的区域。 驱动电机根据控制装置的控制信号进行驱动。