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公开(公告)号：KR101370812B1
公开(公告)日：2014-03-10
申请号：KR1020110128440
申请日：2011-12-02
Applicant: (주)가하
Abstract: 본 발명은 개별 칩으로 분할된 웨이퍼의 불량 칩 분류를 위한 위한 웨이퍼 표시자 마킹 방법으로서, 본 발명의 목적은 웨이퍼 공정 중 웨이퍼 크랙(crack)과 같이 예기치 못한 공정 어택(attack)이 발생하더라도 이에 상관없이 불량이 발생된 칩의 위치 정보를 정확히 인식하여 불량 칩을 분류할 수 있도록 하는 웨이퍼 표시자 마킹 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 웨이퍼 표시자 마킹 방법은, 웨이퍼의 일측 면에 접착비닐을 부착하는 단계와; 상기 접착비닐이 부착된 웨이퍼의 타측 면에 스크라이브 라인(Scribe Line)을 형성하는 단계와; 상기 스크라이브 라인을 따라 상기 웨이퍼를 복수의 개별 칩으로 분할하는 단계와; 상기 접착비닐에 상기 개별 칩으로 분할된 웨이퍼가 부착된 상태에서 상기 접착비닐을 사방으로 확장시키는 단계; 및 상기 접착비닐의 확장을 완전히 완료한 후에 상기 접착비닐에 적어도 두 개의 표시자를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020180113699A
公开(公告)日：2018-10-17
申请号：KR1020170045091
申请日：2017-04-07
Applicant: (주)가하
Abstract: 본발명은 3차원레이저스캐너에서획득한변위및 변상감지를위한스캔데이터의용량을최소화하여원격지의통합운영시스템에효율적으로송신할수 있는처리기법을제공하기위한것이다. 이를위해본 발명에서는 (A) 3차원레이저스캐너가센싱구간별로터널의라이닝에레이저를조사하고표면을스캔하여점군(point cloud) 형태의변위및 변상스캔데이터를획득하는단계; (B) 상기 3차원레이저스캐너가획득한센싱구간별점군(point cloud) 형태의변위및 변상스캔데이터중 일부데이터분할을위한편집기준선을설정하는단계; (C) 상기편집기준선에따라일부데이터를분할하여센싱구간별보정스캔데이터를생성하는단계; 및 (D) 상기센싱구간별보정스캔데이터를원격지의통합운영시스템으로전송하는단계로이루어지는해저터널내 3차원레이저스캐너를이용한취득스캔데이터처리기법을개시한다.
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公开(公告)号：KR101356706B1
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：KR1020120038663
申请日：2012-04-13
Abstract: 본 발명은 광량 변조와 스캐닝 시스템 기반의 구조 조명 현미경에 관한 것으로, 시간에 따라 광량이 변조된 평행광을 출사하는 광원부, 상기 광원부에서 출사되는 광을 전달하는 광학계, 시간에 따라 시편상 초점을 움직이는 스캐닝부 및 회절 분포에 대한 영상을 순차적으로 획득하는 검출부;를 포함하여 구성되며, 상기 스캐닝부를 통해 시편의 원하는 위치에 초점을 이동시키고, 상기 광원부를 통해 초점의 밝기를 제어하며, 상기 검출부에서 획득되는 raw 영상에 대한 재구성에 따라 패턴을 자유롭게 형성하고, 상기 검출부를 통해 초점 분포에 대한 영상을 획득하고, 순차적으로 움직이는 초점에 대해 각각 raw 영상을 획득하며, 상기 획득된 raw 영상의 재구성을 통해 자유롭게 생성된 패턴 조명에 대한 영상을 생성하고, 상기 스캐닝부의 스캐닝 위치 정보로부터 raw 영상에 대응되는 시편의 위치를 판단함으로써 전체 시편 영역의 영상을 생성하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020130062041A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：KR1020110128440
申请日：2011-12-02
Applicant: (주)가하
CPC classification number: H01L21/67282 , G01N21/8806 , H01L21/68
Abstract: PURPOSE: A method for marking a wafer alignment key is provided to improve the throughput of semiconductor chips by accurately recognizing the position information of bad chips. CONSTITUTION: An adhesion vinyl(20) is adhered to one surface of a wafer(10). Two or more indicators(30a-30d) are formed in the adhesion vinyl. A scribe line is formed in the other surface of the wafer. The wafer is divided into chips along a scribe line. The adhesion vinyl is expanded in all directions.
Abstract translation: 目的：提供一种用于标记晶圆对准键的方法，通过精确识别不良芯片的位置信息来提高半导体芯片的吞吐量。 构成：粘合乙烯基（20）粘附到晶片（10）的一个表面。 在粘合乙烯基中形成两个或更多个指示剂（30a-30d）。 在晶片的另一个表面上形成刻划线。 晶片沿划线划分成芯片。 粘合乙烯基在各个方向扩展。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101883340B1
公开(公告)日：2018-07-30
申请号：KR1020170106513
申请日：2017-08-23
Applicant: (주)가하
CPC classification number: G01B11/2504 , G01B11/161 , G01B11/24 , G01B11/2518 , G06F17/10 , H04N5/225
Abstract: 본발명은측점(station) 오차를보정할수 있는해저터널라이닝변위및 변상자동측정에서의측점위치오차보정장치를제공하기위한것이다. 이를위해본 발명에서는비전모듈의비전카메라가인식가능한마크가일정한간격을두고표식된한 쌍의평행한레일을따라주행하는한 쌍의차륜에의해이동하는대차, 상기대차에탑재되어상기차륜을회전시키기위한구동력을발생및 전달하는구동모듈, 상기대차에탑재되어터널의라이닝에레이저를조사하고표면을스캔하여변위및 변상데이터를획득및 생성하는 3차원레이저스캐너모듈, 상기레일의마크영상을획득하고화상처리를통하여상기대차의위치및 각도오차보정을위한레퍼런스위치및 각도를산출하는비전모듈, 상기 3차원레이저스캐너모듈및 상기비전모듈을장착한채로상기대차에탑재되어상기비전모듈의레퍼런스위치및 각도산출값에따라 Z, Y, θ축 방향으로움직여위치및 각도오차를보정하는스테이지모듈및 상기구동모듈과, 상기 3차원레이저스캐너모듈, 상기스테이지모듈및 상기비전모듈의작동을제어하는제어모듈을포함하는해저터널라이닝변위및 변상자동측정에서의측점위치오차보정장치를개시한다.
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公开(公告)号：KR1020150044291A
公开(公告)日：2015-04-24
申请号：KR1020130123511
申请日：2013-10-16
Applicant: (주)가하
CPC classification number: G02B7/09 , G02B7/30 , G02B21/365 , G02B27/4211 , H04N5/23212
Abstract: 본발명은자동초점조절장치에관한것으로서, 상이한파장의레이저광을출력하는복수개 레이저광원을이용하여이를피사체에조사하고, 조사된광 중에서반사되는광을이용하여각 레이저광별빔강도를이용하는색수차방식을이용한자동초점조절장치가제공된다. 본발명에서는피사체에조사하고반사되는복수개 레이저광중에서어느하나의레이저광만을필터링하고, 필터링된레이저광의빔강도를이용하는광삼각법을적용하여자동초점을조절하는기술도제시된다.
Abstract translation: 本发明涉及使用多个激光源输出不同波长的激光的自动聚焦装置，并且使用从照射的光自动聚焦反射的光，使用每个光学激光束的光束强度来研究该对象 提供了使用该方法的装置。 本发明提供了对来自多个激光的仅激光中的一个进行滤光，对受试者进行照射和反射的光，并且通过使用激光束的滤光强度进行三角测量，还提出了用于控制自动聚焦的技术 。
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公开(公告)号：KR1020110023992A
公开(公告)日：2011-03-09
申请号：KR1020090081818
申请日：2009-09-01
Applicant: (주)가하
CPC classification number: G02B21/241 , G02B7/28 , G02B21/361 , G03B13/36
Abstract: PURPOSE: An apparatus for adjusting a focus automatically is provided to minimize the increase the volume of the device due to the increase in focal distance of a tube lens. CONSTITUTION: An apparatus for adjusting a focus comprises: an optical output unit; a first tube lens making a light from the optical output unit parallel; an object lens guiding the light, passing through the first tube lens, on a sample; a first optical member(120) which is arranged in an optical path and reflects a part of an incident light and passes the other light; an optical detector(110) receiving reflection light and converting it into an electrical signal; and a mirror.
Abstract translation: 目的：提供一种用于自动调节焦点的设备，以最小化由于管透镜的焦距的增加引起的装置体积的增加。 构成：用于调整焦点的装置包括：光输出单元; 使来自光输出单元的光平行的第一管透镜; 物镜，将通过第一管透镜的光引导到样品上; 第一光学构件（120），其布置在光路中并且反射入射光的一部分并使另一个光通过; 接收反射光并将其转换成电信号的光学检测器（110）; 和镜子。
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公开(公告)号：KR101816632B1
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：KR1020160168492
申请日：2016-12-12
Applicant: (주)가하
CPC classification number: G01B11/161 , G01B11/2518 , G02B26/10 , G08C17/02 , H04N5/225
Abstract: 본발명은 3차원레이저스캐너를이용하여정밀도와신뢰도를향상시킬수 있고, 차량의운행과간섭없이해저터널라이닝의변위및 변상데이터를자동으로측정할수 있는 3차원레이저스캐너를이용한해저터널라이닝변위및 변상자동측정장치를제공하기위한것이다. 이를위해본 발명에서는터널의바닥에설치되는한 쌍의평행한레일; 상기레일을따라주행하는한 쌍의차륜에의해이동하는대차; 상기대차에탑재되어상기차륜을회전시키기위한구동력을발생및 전달하는구동모듈; 상기대차에탑재되어터널의라이닝에레이저를조사하고표면을스캔하여변위및 변상데이터를획득및 생성하는 3차원레이저스캐너모듈; 상기 3차원레이저스캐너모듈을장착한체로상기대차에탑재되어상기레일의유격및 마모에따른위치및 각도오차를보정하는스테이지모듈; 상기대차의위치를검사하는비젼모듈; 및상기구동모듈과, 상기 3차원레이저스캐너모듈, 상기스테이지모듈및 상기비젼모듈의작동을제어하는제어모듈을포함하는해저터널라이닝변위및 변상자동측정장치를개시한다.
Abstract translation: 本发明可以提高使用三维激光扫描仪的精确度，并通过使用三维激光扫描仪的可靠性，并隧道衬砌位移和补偿，这可以自动测量位移和隧道衬砌的无站的补偿数据和车辆的干扰 并提供一个自动测量装置。 为此，根据本发明，安装一对安装在隧道底部的平行导轨。 由沿轨道行进的一对车轮移动的转向架; 驱动模块，安装在转向架上并产生并传递用于使车轮转动的驱动力; 一个三维激光扫描仪模块，安装在转向架上，并用激光照射隧道的内衬并扫描表面以获取并产生位移和位移数据; 安装在滑架上的舞台模块，其上安装有三维激光扫描器模块，用于根据轨道的间隙和磨损来校正位置和角度误差; 用于检查转向架位置的视觉模块; 以及用于控制驱动模块，三维激光扫描器模块，舞台模块和视觉模块的操作的控制模块。
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公开(公告)号：KR101568980B1
公开(公告)日：2015-11-13
申请号：KR1020130123511
申请日：2013-10-16
Applicant: (주)가하
Abstract: 본발명은자동초점조절장치에관한것으로서, 상이한파장의레이저광을출력하는복수개 레이저광원을이용하여이를피사체에조사하고, 조사된광 중에서반사되는광을이용하여각 레이저광별빔강도를이용하는색수차방식을이용한자동초점조절장치가제공된다. 본발명에서는피사체에조사하고반사되는복수개 레이저광중에서어느하나의레이저광만을필터링하고, 필터링된레이저광의빔강도를이용하는광삼각법을적용하여자동초점을조절하는기술도제시된다.
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