公开(公告)号：KR101084968B1

公开(公告)日：2011-11-23

申请号：KR1020100015966

申请日：2010-02-23

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 김현호 ,  최범식

IPC: H01L21/304 ,  G02F1/13

Abstract: 기판 가공장치 및 가공방법이 개시된다. 투입영역, 제1 가공영역, 제2 가공영역, 배출영역으로 구분되는 기판 가공장치에서, 소정 영역에 고정된 3개의 센터테이블과 각 영역 사이를 이동하는 2개의 사이드테이블이 서로 개별적으로 구동됨으로써 기판의 가공 및 배출과, 후속 기판의 투입 및 가공이 동시에 수행될 수 있어 가공 중 대기시간을 최소화하면서 연속적으로 기판 가공 공정을 수행하여 공정 택타임을 단축시키는 것이 가능한 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020110096628A

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：KR1020100015966

申请日：2010-02-23

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 김현호 ,  최범식

IPC: H01L21/304 ,  G02F1/13

CPC classification number: G02F1/1303 ,  B24B7/242 ,  B24B9/10

Abstract: 기판 가공장치 및 가공방법이 개시된다. 투입영역, 제1 가공영역, 제2 가공영역, 배출영역으로 구분되는 기판 가공장치에서, 소정 영역에 고정된 3개의 센터테이블과 각 영역 사이를 이동하는 2개의 사이드테이블이 서로 개별적으로 구동됨으로써 기판의 가공 및 배출과, 후속 기판의 투입 및 가공이 동시에 수행될 수 있어 가공 중 대기시간을 최소화하면서 연속적으로 기판 가공 공정을 수행하여 공정 택타임을 단축시키는 것이 가능한 효과가 있다.

Abstract translation: 公开了一种基板处理装置和处理方法。 在分为输入区域，第一加工区域，第二加工区域和排出区域的基板处理装置中，分别驱动固定到预定区域的三个中心台和在各个区域之间移动的两个侧台， 可以同时执行基板的处理和排出以及随后的基板输入和处理，由此在处理期间最小化等待时间的同时连续地执行基板处理过程，由此缩短处理时间。