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公开(公告)号:KR1020110100709A
公开(公告)日:2011-09-15
申请号:KR1020100019684
申请日:2010-03-05
Applicant: (주)미래컴퍼니
CPC classification number: B24B9/10 , B24B7/06 , B24B27/0069
Abstract: 기판 가공장치 및 가공방법이 개시된다. 본 실시예에 따른 기판 가공장치는, 기판을 적재하여 이동하는 사이드테이블과, 사이드테이블에 의해 이송되는 기판을 보조 지지하는 롤러 컨베이어와, 사이드테이블의 이동 경로를 규정하는 이송라인에 교차하도록 배치되는 가공부와, 사이드테이블에 의해 이송된 기판을 언로딩시키고 회전시키는 센터테이블을 기본 골격으로 한다. 이에 의하면, 롤러를 이용하여 대형 기판이 쳐짐 없이 빠르게 이송되도록 하여 에지 연마 등과 같은 기판 가공이 안정적으로 수행되도록 하고, 자체 회전이 가능한 롤러를 이용하여 대형 기판의 가공면 위치 변경시 쳐짐 없이 안정적이면서도 빠른 회전이 이루어지도록 할 수 있다.
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公开(公告)号:KR101149767B1
公开(公告)日:2012-06-04
申请号:KR1020100019684
申请日:2010-03-05
Applicant: (주)미래컴퍼니
Abstract: 기판가공장치및 가공방법이개시된다. 본실시예에따른기판가공장치는, 기판을적재하여이동하는사이드테이블과, 사이드테이블에의해이송되는기판을보조지지하는롤러컨베이어와, 사이드테이블의이동경로를규정하는이송라인에교차하도록배치되는가공부와, 사이드테이블에의해이송된기판을언로딩시키고회전시키는센터테이블을기본골격으로한다. 이에의하면, 롤러를이용하여대형기판이쳐짐없이빠르게이송되도록하여에지연마등과같은기판가공이안정적으로수행되도록하고, 자체회전이가능한롤러를이용하여대형기판의가공면위치변경시쳐짐없이안정적이면서도빠른회전이이루어지도록할 수있다.
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