公开(公告)号：KR101013418B1

公开(公告)日：2011-02-14

申请号：KR1020090043675

申请日：2009-05-19

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 최범식 ,  원선호

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/677

Abstract: 기판 가공장치 및 가공방법이 개시된다. 소정 방향으로 이동하며, 투입된 가공 대상 기판을 지지하는 투입 테이블과, 소정 방향으로 이동하며, 기판이 배출되도록 지지하는 배출 테이블과, 투입 테이블 및 배출 테이블 사이에서 이동하는 센터 테이블과, 기판의 이동 방향에 교차하도록 투입 테이블과 센터 테이블 사이에 위치하는 에지 가공부와, 기판의 이동 방향에 교차하도록 배출 테이블에 인접하여 위치하는 코너 가공부를 포함하되, 센터 테이블은, 투입 테이블과 합체되어 기판의 에지가 가공되도록 에지 가공부를 통과하고, 배출 테이블과 합체되어 기판의 코너가 가공되도록 기판을 배출 테이블에 전달하는 것을 특징으로 하는 기판 가공장치는, 3개의 테이블을 합체, 분리하면서 기판의 에지 및 코너를 모두 연마할 수 있어, 기판의 아랫면만을 지지한 상태에서 하나의 이송라인을 따라 기판을 이동시키면서 기판을 가공할 수 있으며, 배출 테이블에 기판을 적재하여 코너 가공을 진행하는 동안 다른 기판을 투입하여 에지 가공을 병행하여 진행할 수 있어, 기판 가공의 택타임이 절감되고 기존 장비 대비 시간당 생산량을 증가시킬 수 있으며 수율이 향상된다는 효과가 있다.
기판, 가공, 에지 연마, 코너 연마

Abstract translation: 公开了一种基板处理装置和处理方法。 在规定方向上移动并支承被处理基板的移载台;向规定方向移动并支承排出基板的排出台;在充电台和排出台之间移动的中心台; 以及角部加工部分，该角部加工部分定位成邻近排出台以与基板的运动方向相交，其中中心台与插入台结合，使得基板的边缘 其中基板被转移到放电台上，使得基板穿过边缘处理部分进行处理并与放电台合并以处理基板的拐角。 可以进行抛光，并且仅支撑一条传输线，同时仅支撑衬底的下表面 而移动所述衬底可以被处理到基底上，而在放电表正在进行角处理所述衬底的所述负荷可以并行进行与边缘加工把另一衬底上，选择的基板处理的时间比现有设备保存一个小时 生产量可以增加，产量可以提高。

公开(公告)号：KR101172869B1

公开(公告)日：2012-08-09

申请号：KR1020100113324

申请日：2010-11-15

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 원선호 ,  이재헌

IPC: G02F1/13 ,  B24B1/00 ,  H01L21/304

Abstract: 기판 가공 장치 및 기판 가공 방법이 개시된다. 기판의 제1 주변부를 지지하며 기판을 이송시키는 제1 사이드테이블 세트, 제1 사이드테이블 세트에 의해 이송된 기판의 중앙부를 지지하며 기판을 제1 사이드테이블 세트로부터 언로딩시키고, 소정 각도만큼 회전시키는 센터테이블 세트, 센터테이블 세트에 의해 회전된 기판의 제2 주변부를 지지하며 기판을 이송시키는 제2 사이드테이블 세트, 제1 사이드테이블 세트에 의해 이송되는 기판의 제1 주변부에 대응되는 일 에지쌍을 가공하는 제1 가공부 및 제2 사이드테이블 세트에 의해 이송되는 기판의 제2 주변부에 대응되는 일 에지쌍을 가공하는 제2 가공부를 포함하는 기판 가공 장치에 의하면, 복수의 기판에 대한 가공 작업 수행 시 연속 공급되는 기판 사이의 가공 작업을 위한 대기 시간을 단축시킴으로써 전체 공정의 택트 타임을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR1020110100709A

公开(公告)日：2011-09-15

申请号：KR1020100019684

申请日：2010-03-05

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 백승암 ,  원선호

IPC: B24B9/10 ,  B65G49/06 ,  B24B7/24

CPC classification number: B24B9/10 ,  B24B7/06 ,  B24B27/0069

Abstract: 기판 가공장치 및 가공방법이 개시된다. 본 실시예에 따른 기판 가공장치는, 기판을 적재하여 이동하는 사이드테이블과, 사이드테이블에 의해 이송되는 기판을 보조 지지하는 롤러 컨베이어와, 사이드테이블의 이동 경로를 규정하는 이송라인에 교차하도록 배치되는 가공부와, 사이드테이블에 의해 이송된 기판을 언로딩시키고 회전시키는 센터테이블을 기본 골격으로 한다. 이에 의하면, 롤러를 이용하여 대형 기판이 쳐짐 없이 빠르게 이송되도록 하여 에지 연마 등과 같은 기판 가공이 안정적으로 수행되도록 하고, 자체 회전이 가능한 롤러를 이용하여 대형 기판의 가공면 위치 변경시 쳐짐 없이 안정적이면서도 빠른 회전이 이루어지도록 할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020100124587A

公开(公告)日：2010-11-29

申请号：KR1020090043675

申请日：2009-05-19

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 최범식 ,  원선호

IPC: H01L21/302 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/302 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67219 ,  H01L21/67706

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for processing a substrate are provided to improve yield by processing the substrate while transferring the substrate. CONSTITUTION: An input table(10) moves in a preset direction and supports an inputted substrate. A discharge table(14) moves in a preset direction and supports the substrate to be discharged.

Abstract translation: 目的：提供一种用于处理基板的装置和方法，以通过在转移基板的同时处理基板来提高产量。 构成：输入表（10）在预设方向上移动并支持输入的基板。 排出台（14）沿预设方向移动并支撑要排出的基板。

公开(公告)号：KR101149767B1

公开(公告)日：2012-06-04

申请号：KR1020100019684

申请日：2010-03-05

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 백승암 ,  원선호

IPC: B24B9/10 ,  B65G49/06 ,  B24B7/24

Abstract: 기판가공장치및 가공방법이개시된다. 본실시예에따른기판가공장치는, 기판을적재하여이동하는사이드테이블과, 사이드테이블에의해이송되는기판을보조지지하는롤러컨베이어와, 사이드테이블의이동경로를규정하는이송라인에교차하도록배치되는가공부와, 사이드테이블에의해이송된기판을언로딩시키고회전시키는센터테이블을기본골격으로한다. 이에의하면, 롤러를이용하여대형기판이쳐짐없이빠르게이송되도록하여에지연마등과같은기판가공이안정적으로수행되도록하고, 자체회전이가능한롤러를이용하여대형기판의가공면위치변경시쳐짐없이안정적이면서도빠른회전이이루어지도록할 수있다.

公开(公告)号：KR1020120052442A

公开(公告)日：2012-05-24

申请号：KR1020100113324

申请日：2010-11-15

Applicant: (주)미래컴퍼니

Inventor： 원선호 ,  이재헌

IPC: G02F1/13 ,  B24B1/00 ,  H01L21/304

CPC classification number: G02F1/1303 ,  B65G49/06 ,  H01L21/67718 ,  H01L21/6838

Abstract: PURPOSE: A substrate processing device and a substrate processing method are provided to shorten standby time for a processing work between substrates which are consecutively supplied when a plurality of substrates are processed. CONSTITUTION: A center table set rotates a substrate at a fixed angle. A second side table set(150) supports a second peripheral part of the substrate. The second side table set transfers the substrate. A first processing unit(130) processes one edge pair corresponding to a first peripheral part of the substrate. A second processing unit(170) processes one edge part corresponding to the second peripheral part of the substrate.

Abstract translation: 目的：提供基板处理装置和基板处理方法，以缩短在处理多个基板时连续供给的基板之间的加工工作的待机时间。 构成：中心台组以一定角度旋转基板。 第二侧台组（150）支撑基板的第二周边部分。 第二台台组传送基板。 第一处理单元（130）处理对应于衬底的第一周边部分的一个边缘对。 第二处理单元（170）处理与基板的第二周边部分相对应的一个边缘部分。