公开(公告)号：KR101940974B1

公开(公告)日：2019-01-23

申请号：KR1020170023559

申请日：2017-02-22

Applicant: (주)씨앤켐

Inventor： 김용석 ,  양승열 ,  김광준 ,  이도윤 ,  김선교 ,  김정석 ,  정석

IPC: G02F1/1333 ,  H01L21/02 ,  H01L21/78 ,  H01L21/324

公开(公告)号：KR101968814B1

公开(公告)日：2019-04-15

申请号：KR1020170023566

申请日：2017-02-22

Applicant: (주)씨앤켐

Inventor： 김용석 ,  양승열 ,  김광준 ,  이도윤 ,  김선교 ,  김정석 ,  정석

IPC: B32B7/06 ,  B32B27/06 ,  B32B43/00 ,  B32B27/36 ,  B32B27/40 ,  B32B27/30 ,  B32B27/32 ,  B05B5/08 ,  B32B17/10