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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR20210029654A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200041951A
申请日：2020-04-07
Applicant: (주)아이씨디
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/24 , H01L51/0011
Abstract: 오염된 마스크용 메탈 마스크를 간편하게 교체할 수 있는 릴 타입의 롤링 마스크 모듈이 개시된다. 이는 종래의 크고 무거운 마스크를 변경하지 않고, 마스크 프레임 상에 릴 타입의 롤링 마스크 모듈을 장착함으로써, 마스크 프레임 상에 배치된 마스크용 메탈 시트를 릴을 이용하여 간편하게 교체 가능하다. 따라서, 장비 운용 시간 및 가동률을 향상시킬 수 있고, 가동률 상승에 따른 생산량과 효율성이 상승될 수 있다. 또한, 종래에 비해 마스크 교체 과정을 간편화, 모듈화할 수 있다.
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公开(公告)号：KR20210029651A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200041948A
申请日：2020-04-07
Applicant: (주)아이씨디
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/564 , H01L51/0011
Abstract: 오염된 마스크용 메탈 마스크를 간편하게 교체할 수 있는 릴 타입의 롤링 마스크 모듈을 이용한 증착 시스템이 개시된다. 이는 종래의 크고 무거운 마스크를 변경하지 않고, 마스크 프레임 상에 릴 타입의 롤링 마스크 모듈을 장착함으로써, 마스크 프레임 상에 배치된 마스크용 메탈 시트를 릴을 이용하여 간편하게 교체 가능하다. 따라서, 장비 운용 시간 및 가동률을 향상시킬 수 있고, 가동률 상승에 따른 생산량과 효율성이 상승될 수 있다. 또한, 종래에 비해 마스크 교체 과정을 간편화, 모듈화할 수 있다.
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公开(公告)号：KR20210029653A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200041950A
申请日：2020-04-07
Applicant: (주)아이씨디
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/0011
Abstract: 마스크 시트를 마스크 프레임 상에 정확히 안착되도록 하는 마스크 시트 푸시 모듈이 개시된다. 이는 다수의 푸시 모듈을 이용하여 마스크용 메탈 시트를 눌러 마스크 프레임에 안착시킴으로써 마스크용 메탈 시트와 마스크 프레임 상에 간극이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 마스크용 메탈 시트에 압력을 가하는 푸시 모듈의 헤드부를 둥근 원형 곡률을 갖도록 형성함으로써 푸시 모듈로 마스크용 메탈 시트에 압력을 가할 때 마스크용 메탈 시트가 변형되는 것을 최소화할 수 있다. 더 나아가, 푸시 모듈 내부에 완충부를 배치함으로써 마스크용 메탈 시트가 푸시 모듈에 의해 밀리는 현상을 방지할 수 있다.
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公开(公告)号：KR20210029652A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200041949A
申请日：2020-04-07
Applicant: (주)아이씨디
IPC: H01L51/56 , H01L21/67 , H01L21/683 , H01L51/00
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/67028 , H01L21/6831 , H01L51/0001
Abstract: 메탈 시트에 증착된 메탈 파티클을 효과적으로 제거할 수 있는 메탈 파티클 제거 모듈이 개시된다. 이는 메탈 시트에 증착된 메탈 파티클을 정전척을 이용하여 제거함으로써 공정 챔버 내에 비산될 수 있는 메탈 파티클을 간편하고, 효과적으로 제거할 수 있다. 또한, 메탈 파티클 등의 오염물질을 챔버를 오픈하지 않고 제거할 수 있기 때문에 설비의 가동률을 상승시킬 수 있고, 생산 비용을 절감할 수 있다. 더 나아가, 종래에 비해 마스크 교체 과정을 간편화, 모듈화할 수 있다.
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