-
公开(公告)号：KR20210029654A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200041951A
申请日：2020-04-07
Applicant: (주)아이씨디
CPC classification number: H01L51/56 , C23C14/24 , H01L51/0011
Abstract: 오염된 마스크용 메탈 마스크를 간편하게 교체할 수 있는 릴 타입의 롤링 마스크 모듈이 개시된다. 이는 종래의 크고 무거운 마스크를 변경하지 않고, 마스크 프레임 상에 릴 타입의 롤링 마스크 모듈을 장착함으로써, 마스크 프레임 상에 배치된 마스크용 메탈 시트를 릴을 이용하여 간편하게 교체 가능하다. 따라서, 장비 운용 시간 및 가동률을 향상시킬 수 있고, 가동률 상승에 따른 생산량과 효율성이 상승될 수 있다. 또한, 종래에 비해 마스크 교체 과정을 간편화, 모듈화할 수 있다.
-
公开(公告)号：KR20210029651A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200041948A
申请日：2020-04-07
Applicant: (주)아이씨디
CPC classification number: C23C14/042 , C23C14/564 , H01L51/0011
Abstract: 오염된 마스크용 메탈 마스크를 간편하게 교체할 수 있는 릴 타입의 롤링 마스크 모듈을 이용한 증착 시스템이 개시된다. 이는 종래의 크고 무거운 마스크를 변경하지 않고, 마스크 프레임 상에 릴 타입의 롤링 마스크 모듈을 장착함으로써, 마스크 프레임 상에 배치된 마스크용 메탈 시트를 릴을 이용하여 간편하게 교체 가능하다. 따라서, 장비 운용 시간 및 가동률을 향상시킬 수 있고, 가동률 상승에 따른 생산량과 효율성이 상승될 수 있다. 또한, 종래에 비해 마스크 교체 과정을 간편화, 모듈화할 수 있다.
-
公开(公告)号：KR20210029653A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200041950A
申请日：2020-04-07
Applicant: (주)아이씨디
CPC classification number: H01L51/56 , H01L51/0011
Abstract: 마스크 시트를 마스크 프레임 상에 정확히 안착되도록 하는 마스크 시트 푸시 모듈이 개시된다. 이는 다수의 푸시 모듈을 이용하여 마스크용 메탈 시트를 눌러 마스크 프레임에 안착시킴으로써 마스크용 메탈 시트와 마스크 프레임 상에 간극이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 마스크용 메탈 시트에 압력을 가하는 푸시 모듈의 헤드부를 둥근 원형 곡률을 갖도록 형성함으로써 푸시 모듈로 마스크용 메탈 시트에 압력을 가할 때 마스크용 메탈 시트가 변형되는 것을 최소화할 수 있다. 더 나아가, 푸시 모듈 내부에 완충부를 배치함으로써 마스크용 메탈 시트가 푸시 모듈에 의해 밀리는 현상을 방지할 수 있다.
-
公开(公告)号：KR20210029652A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：KR1020200041949A
申请日：2020-04-07
Applicant: (주)아이씨디
IPC: H01L51/56 , H01L21/67 , H01L21/683 , H01L51/00
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/67028 , H01L21/6831 , H01L51/0001
Abstract: 메탈 시트에 증착된 메탈 파티클을 효과적으로 제거할 수 있는 메탈 파티클 제거 모듈이 개시된다. 이는 메탈 시트에 증착된 메탈 파티클을 정전척을 이용하여 제거함으로써 공정 챔버 내에 비산될 수 있는 메탈 파티클을 간편하고, 효과적으로 제거할 수 있다. 또한, 메탈 파티클 등의 오염물질을 챔버를 오픈하지 않고 제거할 수 있기 때문에 설비의 가동률을 상승시킬 수 있고, 생산 비용을 절감할 수 있다. 더 나아가, 종래에 비해 마스크 교체 과정을 간편화, 모듈화할 수 있다.
-
公开(公告)号：WO2023068696A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2022/015710
申请日：2022-10-17
Applicant: (주)아이씨디
IPC: H01J37/32
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치는, 원격 플라즈마와 활성종을 생성하는 원격 플라즈마 발생기; 상기 원격 플라즈마 발생기의 출력 포트에 연결되는 개구부를 가지고 상기 원격 플라즈마 발생기의 활성종을 제공받아 확산시키는 상부 챔버; 상기 상부 챔버에서 확산된 활성종을 제공받는 하부 챔버; 상기 상부 챔버와 상기 하부 챔버를 구획하고 상기 활성종을 투과시키는 메인 배플; 상기 하부 챔버에 배치된 기판을 지지하는 기판 홀더; 상기 기판 홀더에 RF 전력을 인가하여 메인 플라즈마를 형성하는 RF 전원; 및 상기 기판 홀더에 DC 펄스를 인가하는 DC 펄스 전원을 포함한다.
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2023068692A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2022/015701
申请日：2022-10-17
Applicant: (주)아이씨디
IPC: H01J37/32
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 기판 처리 장치는, 플라즈마와 활성종을 생성하는 원격 플라즈마 발생기; 상기 원격 플라즈마 발생기의 출력 포트에 연결되는 개구부를 가지고 상기 원격 플라즈마 발생기의 활성종을 제공받아 확산시키는 상부 챔버; 상기 상부 챔버의 개구부에 배치된 제1 배플; 상기 상부 챔버에서 확산된 활성종을 제공받는 하부 챔버; 상기 상부 챔버와 상기 하부 챔버를 구획하고 상기 활성종을 투과시키는 제2 배플; 상기 하부 챔버에 배치된 기판을 지지하는 기판 홀더; 및 상기 기판 홀더에 RF 전력을 인가하는 RF 전원을 포함한다.
-
公开(公告)号：WO2022103206A1
公开(公告)日：2022-05-19
申请号：PCT/KR2021/016564
申请日：2021-11-12
Applicant: 주식회사 플라리트 , (주)아이씨디 , 아주대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 플라즈마 라디칼 용액 및 이의 제조방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는, 플라즈마를 통해 발생된 라디칼을 포함하는 플라즈마 라디칼 용액을 제조함으로써 살균, 항균, 상처 치유, 여드름 완화, 아토피 치료, 건선 치료, 피부염 치료, 바이러스성 피부병 치료, 피부 진정 및 근육 재생 등 다양한 바이오 분야에 활용될 수 있는 플라즈마 라디칼 용액 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
-
公开(公告)号：WO2019177384A1
公开(公告)日：2019-09-19
申请号：PCT/KR2019/002936
申请日：2019-03-14
Applicant: 주식회사 플라리트 , (주)아이씨디 , 아주대학교 산학협력단
Abstract: 본 발명의 기술적 사상에 따른 플라즈마 발생기를 포함하는 가습기는, 물이 저장되는 물탱크; 에어 플라즈마를 발생시키기 위한 전극이 설치되는 플라즈마 발생기; 상기 물탱크에 저장된 물이 공급되면서, 상기 플라즈마 발생기를 통해 발생된 에어 플라즈마가 유입되어 물과 에어 플라즈마의 교환반응을 통해 액상 플라즈마를 생성하는 액상 플라즈마 생성기; 및 상기 전극에 전압을 인가하는 전원부 및 상기 액상 플라즈마 생성기를 통해 생성된 액상 플라즈마를 공급받아 수증기로 발산시키기 위한 진동자가 설치되는 하우징;을 포함한다.
-
公开(公告)号：WO2023068698A1
公开(公告)日：2023-04-27
申请号：PCT/KR2022/015714
申请日：2022-10-17
Applicant: (주)아이씨디
IPC: H01J37/32
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 플라즈마 기판 처리 장치는, 공정 챔버; 상기 공정 챔버에 배치되는 상부 전극; 상기 상부 전극의 하부에 배치되고 상기 상부 전극을 마주보도록 배치되어 기판을 지지하는 기판 홀더; 및 상기 기판 홀더에 RF 전력을 인가하는 RF 전원;을 포함한다. 상기 상부 전극은, 위치에 따라 상기 기판 홀더로부터 높이가 서로 다른 하부면을 가지는 상부 전극 도전판; 및 상기 도전판의 하부에 결합되어 위치에 따른 높이 차이를 보상하도록 위치에 따라 다른 두께를 가지고 유전율을 가지는 보상판;을 포함한다. 상기 보상판의 하부면은 동일한 평면이다.
-
公开(公告)号：WO2022145515A1
公开(公告)日：2022-07-07
申请号：PCT/KR2020/019297
申请日：2020-12-31
Applicant: 주식회사 플라리트 , (주)아이씨디 , 아주대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 플라즈마 치료기에 관한 것으로써, 보다 상세하게는, 플라즈마 발생 과정에서 핸드피스 내에서 저전압을 고전압으로 증폭시킴으로써, 오존 생성이 감소되고, 안정성이 향상될 수 있는 아토피 피부염 치료에 효과적인 플라즈마 치료기에 관한 것이다.
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
96
records
(took 0.02 seconds)
