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公开(公告)号：KR101056926B1
公开(公告)日：2011-08-12
申请号：KR1020090014507
申请日：2009-02-20
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 Off-axis 방식의 이중 파장 디지털 홀로그래피를 이용한 3D 측정장치에 관한 것으로, 제1 촬상부 및 제2 촬상부와; 제1 선형 편광 빔을 방출하는 제1 광원부와; 상기 제1 선형 편광 빔의 편광 방향과 수직인 편광 방향을 가지며 상기 제1 선형 편광 빔과 상이한 파장의 제2 선형 편광 빔을 방출하는 제2 광원부와; 상기 제1 광원부 및 상기 제2 광원부로부터 각각 입사되는 상기 제1 선형 편광 빔과 상기 제2 선형 편광 빔을 측정 빔 경로와 기준 빔 경로로 분할하여 출력하는 제1 빔 스플리터와; Off-axis 방식이 적용 가능하도록 상기 기준 빔 경로에 대해 기울어져 배치된 기준 미러와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 상기 기준 미러로부터 반사되도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔을 상기 기준 미러 방향으로 향하게 하는 제2 빔 스플리터와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 측정 대상물로부터 반사되도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔을 상기 측정 대상물 방향으로 향하게 하는 제3 빔 스플리터와; 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 각각 상기 기준 미러로부터 반사되어 형성된 제1 기준빔 및 제2 기준빔과, 상기 제1 선형 편광 빔 및 상기 제2 선형 편광 빔이 각각 상기 측정 대상물로부터 반사되어 형성된 제1 측정빔 및 제2 측정빔을 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부 방향으로 분할하여 출력하기 위한 제4 빔 스플리터와; 상기 제1 촬상부와 상기 제4 빔 스플리터 사이에 배치되며, 상기 제1 측정빔 및 상기 제1 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 제1 간섭빔이 통과되고 상기 제2 측정빔 및 상기 제2 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 제2 간섭빔의 통과가 차단 가능한 편광 상태로 정렬된 제1 선형 편광판과; 상기 제2 촬상부와 상기 제4 빔 스플리터 사이에 배치되며, 상기 제1 간섭빔의 통과가 차단되고 상기 제2 간섭빔이 통과 가능한 편광 상태로 정렬된 제2 선형 편광판과; 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부를 통해 촬상된 두 개의 홀로그램을 이용하여 상기 측정 대상물의 표면 형상을 측정하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及使用所述双波长数字全息的离轴方法，所述第一成像单元和所述第二图像拾取单元到一个三维测量设备; 第一光源部件，用于发射第一线偏振光束; 具有垂直于第一线性偏振光束的发射与一个不同的波长，并且所述第一线性偏振光束的第二线性偏振光束的偏振方向的偏振方向的第二光源; 和用于分离所述第一光源单元和输出所述第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，它们分别从所述第二光源至所述测量光束路径和参考光束路径入射到第一分束器; 参考反射镜相对于参考光束路径倾斜，从而可以应用离轴方法; 其中，所述第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，所述第一线性偏振光束，并从第一分束器发射的第二线性偏振光束被从第一分束器射出的参照反射镜反射 第二分束器，用于将光束引向参考反射镜; 第一线性偏振光束的成本和所述第二第一第一线偏振光束，并且使得线偏振光束是从所述第一分束器出射的被测物体反射的光从所述第一分束器发射的第二线性偏振光束 第三分束器，用于将光束引向测量对象; 第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，分别形成从参考反射镜被反射的第一参考光束和第二参考光束和所述第一线性偏振光束和第二线性偏振光束，并且每个测量的 部分1和第二测量光束在测量光束从所形成的第一感测对象，并在图像拾取部分的第二方向上输出该除法的第四分束器反射的光; 第一被设置在成像单元之间，并且所述第二分束器，第一测量光束和一个第一干涉光束被传递和第二测量光束和由所述第一参考光束之间的干涉形成的第二参考光束 第一线性偏振器，布置成偏振状态，其中由第一偏振器和第二偏振器之间的干涉形成的第二干涉光束的通过被阻挡; 第二成像部分和所述第四被设置在分束器之间，所述干涉光束的第一道次被阻挡，并且第二干涉光束被对准以通过偏振状态可能的第二线性偏振片和; 以及控制单元，用于使用通过第一和第二成像单元捕获的两个全息图来测量测量对象的表面形状。
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公开(公告)号：KR1020100095302A
公开(公告)日：2010-08-30
申请号：KR1020090014507
申请日：2009-02-20
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A 3D measure system using a dual wave digital holography of an off-axis mode, which minimizes the structure of hardware is provided to increase a calculating speed in software by applying a single Fourier transform mode in each hologram. CONSTITUTION: A 3D measure system using a dual wave digital holography of an off-axis mode comprises a first photographing part(41), a second photographing part(42), a first optical source part(10), a second optical source part(20), a first beam splitter(31), a reference mirror(60), a second beam splitter(32), a third beam splitter(33), a fourth beam splitter(34), a first linear polarizer(51), a second linear polarizer(52) and a controller. The first optical source part emits the first linear polarized beam. The second optical source part emits the second linear polarized beam of the different wavelength and the first linear polarized beam. The second beam splitter faces the first linear polarized beam and the second linear polarized beam the reference mirror. The third beam splitter faces the first linear polarized beam and the second linear polarized beam the measurement object. The first linear polarizer is arranged between the first photographing part and fourth beam splitter.
Abstract translation: 目的：提供一种使用离轴模式的双波数字全息术的3D测量系统，其最小化硬件的结构，以通过在每个全息图中应用单个傅里叶变换模式来增加软件中的计算速度。 构成：使用离轴模式的双波数字全息术的3D测量系统包括第一拍摄部分（41），第二拍摄部分（42），第一光源部分（10），第二光源部分 第一分束器（31），参考反射镜（60），第二分束器（32），第三分束器（33），第四分束器（34），第一线性偏振器 第二线性偏振器（52）和控制器。 第一光源部分发射第一线性偏振光束。 第二光源部分发射不同波长的第二线偏振光束和第一线偏振光束。 第二分束器面对第一线性偏振光束和第二线性偏振光束参考反射镜。 第三分束器面对第一线偏振光束，第二线偏振光束面对测量对象。 第一线性偏振器布置在第一拍摄部分和第四分束器之间。
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公开(公告)号：KR101005146B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090014764
申请日：2009-02-23
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 2 대 이상의 카메라로부터 각각 획득된 홀로그램을 이용하여 표면 형상을 측정하는 3D 측정 광학 시스템에 적용되는 2 대의 카메라를 정렬하는 카메라 정렬방법에 있어서, (a) 상기 3D 측정 광학 시스템의 광 경로 상에 배치된 편광 요소가 동일한 편광 상태를 갖도록 상기 편광 요소의 편광 방향을 정렬하는 단계와, (b) 광원부로부터 빔이 조사되어 상기 2 대의 카메라에 의해 홀로그램이 획득되는 단계와, (c) 상기 한 쌍의 홀로그램에 대해 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여, 상기 한 쌍의 카메라 간의 인 플레인 미스얼라인먼트(In plane misalignment)와 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment) 중 적어도 하나를 정렬하는 단계를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 상기 인 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c1) 상기 상관관계(Correlation) 기법 상의 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 빔의 상기 카메라로의 입사 방향을 축으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계와, (c2) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 상기 홀로그램 상의 위치에 기초하여 상기 입사 방향에 수직한 좌표 평면 상의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하며; 상기 (c) 단계에서 아웃 오브 플레인 미스얼라인먼트(Out of plane misalignment)를 정렬하는 단계는 (c3) 상기 상관관계 피크값(Correlation peak value)의 크기에 기초하여 상기 각 카메라로 입사되는 빔의 광 경로의 거리에 대한 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 와, (c4) 상기 한 쌍의 홀로그램 내의 동일한 위치에 복수의 단위 섹터를 선택하고, 상호 대응하는 단위 섹터에 대해 상기 상관관계(Correlation) 기법을 적용하여 추출한 상기 각 단위 섹터에 대한 상관관계 피크값에 기초하여, 상기 좌표 평면의 두 축을 중심으로 하는 회전 방향으로의 미스얼라인먼트를 정렬하는 단계 중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020100087791A
公开(公告)日：2010-08-06
申请号：KR1020090006775
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A birefringence measuring method and apparatus using off-axis digital holography are provided to enable measurement of a large object such as LCD glass and minimize causes of noise. CONSTITUTION: A birefringence measuring apparatus using off-axis digital holography comprises a first photographing unit(50), a second photographing unit(60), a light source(10), a first beam splitter(20), a reference mirror(30), a second beam splitter(21), a reflection mirror(40), a third beam splitter(22), a vertical linear polarizer(51), a horizontal linear polarizer(61), and a controller. The light source generates a linear polarized beam having a polarization direction of 45°. The first beam splitter outputs the linear polarized beam by dividing it into a measurement beam route and a reference beam route. The reference mirror is arranged to incline to the reference beam route in order to apply off-axis technique. The second beam splitter faces the linear polarized beam to a reference mirror. The reflection mirror reflects the linear polarized beam to a measurement object(100). The third beam splitter outputs the measurement beam by dividing it into the first photographing unit and the second photographing unit. The vertical linear polarizer passes the vertical polarization component of interference light and outputs it to the first photographing unit. The horizontal linear polarizer passes through the horizontality polarization component of interference light and outputs it to the second photographing unit. The controller calculates the level of birefringence on the measurement object.
Abstract translation: 目的：提供使用离轴数字全息术的双折射测量方法和装置，以便能够测量诸如LCD玻璃的大型物体并且最小化噪声的原因。 构成：使用离轴数字全息术的双折射测量装置包括第一拍摄单元（50），第二拍摄单元（60），光源（10），第一分束器（20），参考反射镜（30） ，第二分束器（21），反射镜（40），第三分束器（22），垂直线偏振器（51），水平线性偏振器（61）和控制器。 光源产生偏振方向为45°的线偏振光束。 第一分束器通过将线偏振光束分成测量光束路径和参考光束路径来输出。 参考镜被布置成倾斜到参考光束路径以便应用离轴技术。 第二分束器将线偏振光束面对参考反射镜。 反射镜将线偏振光束反射到测量对象（100）。 第三分束器通过将测量光束分成第一拍摄单元和第二拍摄单元来输出测量光束。 垂直线偏振器通过干涉光的垂直偏振分量并将其输出到第一拍摄单元。 水平线性偏振器通过干涉光的水平偏振分量并将其输出到第二拍摄单元。 控制器计算测量对象上的双折射水平。
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公开(公告)号：KR100867302B1
公开(公告)日：2008-11-06
申请号：KR1020080034784
申请日：2008-04-15
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
IPC: G03H5/00
Abstract: A 3D measurement device using digital holography is provided to complement a demerit in measurement speed the existing on-axis method has and a demerit in lateral resolution, thereby satisfying the measurement speed and the lateral resolution. An optical source unit(10) emits light toward a light splitting unit(20). The optical source unit comprises a light source(11), a fixing member(13) and a light source polarizing plate(12). The light source emits laser light of short wavelength. A He-Ne laser is used as a light source. If laser light having short wavelength is emitted, another type laser can be applied.
Abstract translation: 提供了使用数字全息术的3D测量装置，以补偿现有的轴上方法具有的测量速度和横向分辨率的缺点，从而满足测量速度和横向分辨率。 光源单元（10）向分光单元（20）发射光。 光源单元包括光源（11），固定构件（13）和光源偏振板（12）。 光源发出短波长的激光。 氦氖激光器用作光源。 如果发射具有短波长的激光，则可以应用另一种类型的激光。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101139178B1
公开(公告)日：2012-04-26
申请号：KR1020110100104
申请日：2011-09-30
Applicant: 디아이티 주식회사 , (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A 3-dimensional measurement apparatus using digital holography is provided to minimize the generation of optical noise and improve the precision of a product by simplifying structure and lowering manufacturing cost. CONSTITUTION: A 3-dimensional measurement apparatus(100) using digital holography comprises a first photographing unit(110), a second photographing unit(120), an optical source(101), a first beam splitter(121), a second beam splitter(122), a first band pass filter(131), a second band pass filter(132), and a controller. The first photographing unit and the second photographing unit obtain one shot digital hologram. The optical source emits the white light including the wavelength components in a range of ultraviolet-visible ray. The first beam splitter reflects composite light including reference light and measurement light toward an object(140). The second beam splitter transmits the composite light through the first photographing unit. The first band pass filter is placed on the optical path between the first photographing unit and the second beam splitter. The second band pass filter is placed on the optical path between the second beam splitter and the second photographing unit.
Abstract translation: 目的：提供使用数字全息术的三维测量装置，通过简化结构并降低制造成本，最大限度地减少光学噪声的产生并提高产品的精度。 构成：使用数字全息术的三维测量装置（100）包括第一拍摄单元（110），第二拍摄单元（120），光源（101），第一分束器（121），第二分束器 （122），第一带通滤波器（131），第二带通滤波器（132）和控制器。 第一拍摄单元和第二拍摄单元获得一次数字全息图。 光源发射包括紫外 - 可见光范围内的波长分量的白光。 第一分束器将包括参考光和测量光的复合光反射到物体（140）。 第二分束器通过第一拍摄单元传输复合光。 第一带通滤波器被放置在第一拍摄单元和第二分束器之间的光路上。 第二带通滤波器被放置在第二分束器和第二拍摄单元之间的光路上。
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公开(公告)号：KR100906508B1
公开(公告)日：2009-07-07
申请号：KR1020080055066
申请日：2008-06-12
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: A 3D measurement system using digital holography is provided to improve measuring speed and lateral resolution and to minimize the test space for reflective sample. A 3D measurement system using digital holography comprises a first wave plate(30) which performs right-hand circular polarization of the beam linearly polarized by 45°, a beam separation/composition unit(20) dividing the polarized beam into a reference beam and a measurement beam, a second wave plate(31) making the reference beam of P-type waveform and the reference beam of S-type waveform with a phase difference of 90° incident to the beam separation/composition unit, a first polarizer(32) making the measurement beam of P-type waveform and the measurement beam of S-type waveform with a phase difference of 0° incident to the beam separation/composition unit, and interference beam separation units(40) separating an interference beam from the beam separation/composition unit into first and second interference beam.
Abstract translation: 提供了使用数字全息术的3D测量系统，以提高测量速度和横向分辨率，并使反射样品的测试空间最小化。 使用数字全息术的3D测量系统包括执行线偏振45°的光束的右旋圆偏振的第一波片（30），将偏振光束分成参考光束的光束分离/合成单元（20） 测量光束，使得P型波形的参考光束和入射到光束分离/合成单元的90°的相位差的S型波形的参考光束的第二波片（31），第一偏振器（32） 使P型波形的测量光束和入射到光束分离/合成单元的相位差为0°的S型波形的测量光束，以及将干涉光束与光束分离分离的干涉光束分离单元（40） /组合单元转换成第一和第二干涉光束。
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公开(公告)号：KR100838586B1
公开(公告)日：2008-06-19
申请号：KR1020070104273
申请日：2007-10-17
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
CPC classification number: G03B35/24 , G02B27/2292 , G02B27/28 , G03H1/0005 , G03H1/0443
Abstract: A 3D measurement apparatus using digital holography and a 3D measurement method thereof are provided to solve a measurement speed problem of an on-axis method and a horizontal resolution problem of an off-axis method. A 3D measurement apparatus using digital holography includes first and second imaging units(23,24), a beam source(10), a beam splitter(13), a first wave plate(18), a prism unit(19), and a second wave plate(20). The beam splitter splits the beam emitted from the beam source into reference beam and measuring beam to enter a reference surface(3) and a measurement object(1) respectively. The first wave plate polarizes the reference beam and the measuring beam to right circularly polarized beam and left circularly polarized beam so that the reference beam and the measuring beam interfere with each other to form interference beam. The prism unit splits the interference beam into first interference beam and second interference beam with a phase difference of 180 degrees. The second wave plate is interposed between one of the first and second imaging units and the prism unit and delays a phase of one of the first interference beam and the second interference beam so that the first interference beam and the second interference beam have a phase difference of 90 degrees.
Abstract translation: 提供了使用数字全息术的3D测量装置及其3D测量方法来解决轴上方法的测量速度问题和离轴方法的水平分辨率问题。 使用数字全息术的3D测量装置包括第一和第二成像单元（23,24），光束源（10），分束器（13），第一波片（18），棱镜单元（19）和 第二波片（20）。 分束器将从光束源发射的光束分成参考光束和测量光束，分别进入参考表面（3）和测量对象（1）。 第一波片将参考光束和测量光束偏振到右圆偏振光束和左圆偏振光束，使得参考光束和测量光束彼此干涉以形成干涉光束。 棱镜单元将干涉光束分成第一干涉光束和第二干涉光束，相位差为180度。 第二波片介于第一和第二成像单元之一和棱镜单元之间，并且延迟第一干涉波束和第二干涉波束之一的相位，使得第一干涉波束和第二干涉波束具有相位差 90度。
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公开(公告)号：KR101005179B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090004976
申请日：2009-01-21
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 광학적 간섭을 이용한 OCD 측정 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 OCD 측정 방법은 (a) 백색광을 조사하는 단계와; (b) 상기 백색광을 상호 편광 방향이 수직인 TE 편광과 TM 편광 방향에 대해 45°기울어진 방향으로 선형 편광시키는 단계와; (c) 상기 선형 편광된 백색광이 상기 측정 대상물 및 기준 미러로부터 각각 반사된 측정광과 기준광이 상호 간섭되어 간섭광이 형성되는 단계와; (d) 상기 간섭광이 상기 TE 편광 성분과 상기 TM 편광 성분으로 분리되는 단계와; (e) 상기 TE 편광 성분 및 상기 TM 편광 성분이 각각 제1 스펙트로메터 및 제2 스펙트로메터에 입력되는 단계와; (f) 상기 입력된 TE 편광 성분 및 상기 입력된 TM 편광 성분으로부터 각각 TE 스펙트럼 데이터 및 TM 스펙트럼 데이터를 추출하여 상기 TE 편광 성분 및 상기 TM 편광 성분 각각에 대한 진폭 정보 및 위상 정보를 추출하는 단계와; (g) 상기 추출된 진폭 정보 및 상기 추출된 위상 정보를 RCWA(Rigorous coupled-wave analysis) 기법에 적용하여 상기 RCWA 기법 상의 진폭 비율(Ψ) 및 위상차(Δ)를 산출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따라, 한 번의 촬영(Single shot)으로 SE(Spectroscopic Ellipsometer) 파라미터인 Ψ 및 Δ가 동시에 획득되도록 하여 측정 속도를 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR101005161B1
公开(公告)日：2011-01-04
申请号：KR1020090006775
申请日：2009-01-29
Applicant: (주)펨트론 , 전북대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피를 이용한 복굴절 측정 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 복굴절 측정 장치는 수직 편광 및 수평 편광 방향 각각에 대하여 45°기울어진 편광 방향을 갖는 선형 편광 빔을 생성하는 광원부와; 상기 광원부로부터의 상기 선형 편광 빔을 측정 빔 경로와 기준 빔 경로로 분할하여 출력하는 제1 빔 스플리터와; Off-axis 방식이 적용 가능하도록 상기 기준 빔 경로에 대해 기울어져 배치된 기준 미러와; 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러에 의해 반사되도록 상기 제1 광 분할부로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 기준 미러 방향으로 향하게 하는 제2 빔 스플리터와; 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하도록 상기 제1 빔 스플리터로부터 출광된 상기 선형 편광 빔을 상기 측정 대상물 방향으로 반사시키는 반사 미러와; 상기 선형 편광 빔이 상기 기준 미러로부터 반사되어 형성된 기준빔 및 상기 선형 편광 빔이 상기 측정 대상물을 투과하여 형성된 측정빔을 상기 제1 촬상부 및 상기 제2 촬상부 방향으로 분할하여 출력하기 위한 제3 빔 스플리터와; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 측정빔 및 상기 기준빔 간의 간섭에 의해 형성된 간섭광 중 수직 편광 성분을 통과시켜 상기 제1 촬상부로 출력하는 수직 편광판과; 상기 제1 촬상부와 상기 제3 빔 스플리터 사이에 배치되어 상기 간섭광 중 수평 편광 성분을 통과시켜 상기 제2 촬상부로 출력하는 수평방향 선편광판; 상기 제1 촬상부에 의해 촬상된 상기 수직 편광 성분과 상기 제2 촬상부에 의해 촬상된 상기 수평 편광 성분 각각에 대해 Off-axis 방식의 디지털 홀로그래피 해석 방식이 적용되어 상기 수직 편광 성분에 대한 수직 편광 위상 정보와 상기 수평 편광 성분에 대한 수평 편광 위상 정보가 추출하고, 상기 수직 편광 위상 정보 및 상기 수평 편광 위상 정보에 기초하여 상기 측정 대상물에 대한 복굴절의 크기를 산출하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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