公开(公告)号：KR1020160118852A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：KR1020150047661

申请日：2015-04-03

Applicant: (주)프론틱스

Inventor： 김종헌 ,  권동일

IPC: G01N19/04 ,  G01N3/42 ,  G06F17/11

Abstract: 본발명은계면접합력평가방법에관한것이다. 본발명에의하면계면접합력평가방법는압입시험을통해최대압입하중(L)과최대압입깊이(h)를측정하는단계; 최대압입하중(L)과최대압입깊이(h)를경도(HHH) 산출식과소성영역부피(VV) 산출식에대입하여기판의경도(H), 박막의경도(H), 복합경도(H), 기판의소성영역부피(V), 박막의소성영역부피(V)를산출하는단계; 기판의경도(H)와박막의경도(H)를비교하는단계; 각각의경도(HHH)와소성영역부피(VV)를계면변수(x) 산출식에대입하여계면변수(x)를산출하는단계; 및계면에의한일(W) 산출식을통해계면접합력에의한일(W)을산출하는단계를포함하여시험조건에영향을받지않는정량적인계면접합력을구하게되는계면접합력평가방법이다.

公开(公告)号：KR101685507B1

公开(公告)日：2016-12-13

申请号：KR1020150047661

申请日：2015-04-03

Applicant: (주)프론틱스

Inventor： 김종헌 ,  권동일

IPC: G01N19/04 ,  G01N3/42 ,  G06F17/11

Abstract: 본발명은계면접합력평가방법에관한것이다. 본발명에의하면계면접합력평가방법는압입시험을통해최대압입하중(L)과최대압입깊이(h)를측정하는단계; 최대압입하중(L)과최대압입깊이(h)를경도(HHH) 산출식과소성영역부피(VV) 산출식에대입하여기판의경도(H), 박막의경도(H), 복합경도(H), 기판의소성영역부피(V), 박막의소성영역부피(V)를산출하는단계; 기판의경도(H)와박막의경도(H)를비교하는단계; 각각의경도(HHH)와소성영역부피(VV)를계면변수(x) 산출식에대입하여계면변수(x)를산출하는단계; 및계면에의한일(W) 산출식을통해계면접합력에의한일(W)을산출하는단계를포함하여시험조건에영향을받지않는정량적인계면접합력을구하게되는계면접합력평가방법이다.

Abstract translation: 本发明涉及评估界面结合力的方法。 根据本发明，评估界面结合力的方法包括：通过压痕测试测量最大压痕载荷（L）和最大压痕深度（h）; 最大压痕负载（L）和最大的压痕深度（h）硬度（HHH）计算表达式塑性区体积（VV）代入等式图基板uigyeong（H），薄膜uigyeong图（H），该复合硬度（H） ，衬底的烧结体积（V）和薄膜的烧结体积（V）; 比较衬底的直径（H）和薄膜的直径（H）; 通过将每个直径（HHH）和塑性区体积（VV）代入界面变量（x）计算表达式来计算界面参数（x） （W）通过界面结合力（W）的计算式计算为界面结合力，并且是用于评估不受测试条件影响的界面结合力的方法。