公开(公告)号：KR101511258B1

公开(公告)日：2015-04-14

申请号：KR1020140085462

申请日：2014-07-08

Applicant: (주)해피글로벌솔루션

Inventor： 윤해근 ,  서강열

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742

Abstract: 본발명은연직으로적층되어독립적으로회전함에따라듀얼로봇암을독립적으로회전시키는로봇암 커플러장치가균일한수명을유지하도록하는기술로서, 듀얼로봇암을독립적으로회전시키는한 쌍의로우어커플러와어퍼커플러에채용되는로우어베어링과어퍼베어링이원통형의진공챔버외벽에개별적으로고정연결됨으로써어퍼로봇암에의한하중으로어퍼베어링에가해지는스트레스와로우어로봇암에의한하중으로로우어베어링에가해지는스트레스를균일하게유지하고동시에각각의베어링에연결되는로우어커플러와어퍼커플러의유격발생을최소화하기위한기술에관한것이다. 본발명에따르면, 협동하여독립적으로회전하는듀얼로봇암에대해각각의로봇암을회전시키기위해연직으로적층되어각각의로봇암에연결되는로우어베어링과어퍼베어링에대해어퍼로봇암은어퍼베어링에하중이전달되도록하고이와독립적으로로우어로봇암은로우어베어링에하중이전달되도록하여로우어베어링과어퍼베어링의수명을균일하게할 수있는장점이있다.

Abstract translation: 本发明涉及一种均匀地保持机器人臂耦合器装置的使用寿命的技术，其垂直堆叠并单独旋转以独立地旋转双机器人手臂。 所述机器人臂耦合器装置包括：一对下连接器和上联接器，其独立地旋转双机器人手臂; 以及下轴承和上轴承，其分别固定在圆柱形真空室的外壁上并彼此连接。 因此，该技术被提供为通过上部机器人臂的负载来均匀地保持施加到上部轴承的应力，以及由下部机器人臂的负载施加到下部轴承的应力; 并且同时最小化分别连接到轴承的下联接器和上部联接器之间的间隙的产生。 根据本发明，机器人臂耦合器具有通过使上部机器人臂向上部轴承输送载荷而均匀地确保下部轴承和上部轴承的使用寿命的优点，同时使下部机器人手臂向 下轴承，其中下轴承和上轴承垂直地堆叠并分别连接到机器人手臂，以便旋转彼此协作并独立旋转的双机器人臂中的每一个。

公开(公告)号：KR101098556B1

公开(公告)日：2011-12-26

申请号：KR1020110006071

申请日：2011-01-20

Applicant: (주)해피글로벌솔루션

Inventor： 윤해근 ,  서강열 ,  박효근

IPC: B25J19/06 ,  G05B19/18 ,  B65G49/07 ,  H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J9/1674 ,  G05B19/4062 ,  G05B2219/42306 ,  G05B2219/42307 ,  H01L21/67242 ,  H01L21/68707

Abstract: PURPOSE: A robot diagnosis system and a robot diagnosing method using the same are provided to prevent the damage of wafer and the malfunction of robot by monitoring the operation state of a robot in real time. CONSTITUTION: A robot diagnosis system comprises a capture module(30), a computation module(40) and a screen module(50). The capture module collects a command signal and a feedback signal from a driver module(20) and transmits to outside. The command signal is a pre-set reference value applied in a robot in order to activate a robot(T). The feedback signal copes with the actual motion of a robot. In order to grasp the operation state of a robot, the computation module generates the computation data about the vibration, torque, backlash and the location secession of a moving robot in response to the deviation of the command signal and feedback signal through a pre-set algorithm. The screen module displays the computation data about the vibration, torque, backlash and the location secession of a robot through the numerical values and graphic in real time.

Abstract translation: 目的：提供机器人诊断系统和使用该机器人诊断方法的机器人诊断方法，以通过实时监视机器人的操作状态来防止晶片的损坏和机器人的故障。 构成：机器人诊断系统包括捕获模块（30），计算模块（40）和屏幕模块（50）。 捕获模块从驱动器模块（20）收集命令信号和反馈信号，并将其发送到外部。 命令信号是为了激活机器人（T）而应用在机器人中的预设参考值。 反馈信号处理机器人的实际运动。 为了掌握机器人的操作状态，计算模块响应于命令信号和反馈信号通过预设的偏差产生关于移动机器人的振动，扭矩，间隙和位置分离的计算数据 算法。 屏幕模块通过数值和图形实时显示关于机器人的振动，扭矩，间隙和位置分离的计算数据。