公开(公告)号：WO2007122786A1

公开(公告)日：2007-11-01

申请号：PCT/JP2007/000264

申请日：2007-03-20

Applicant: エプソントヨコム株式会社

Inventor： 伯耆原秋 ,  山本佐知

IPC: H03H3/02

CPC classification number: C03C15/00 ,  H03H3/02 ,  H03H2003/026 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/49005 ,  Y10T29/49574

Abstract: 　表面の変質層が少なく、設計された振動特性との差が少ない振動特性を備えた圧電振動片の製造方法を提供すること。 　メタルマスク３０を除去した後に、ウェットエッチングを行い音叉型水晶振動片１０を分離形成するので、ドライエッチングによって生じた変質層２３を露出でき、ウェットエッチングによって変質層２３を除去できる。したがって、設計された振動特性との差が少ない振動特性を備えた音叉型水晶振動片１０の製造方法を得ることができる。

Abstract translation: 本发明提供一种与设计的振动特性相比具有较差劣化层的压电振动片的制造方法，具有振动特性差。 由于在除去金属掩模（30）之后通过湿法蚀刻分开形成音叉型水晶振动片（10），所以通过干蚀刻产生的劣化层（23）被暴露，并且可以通过 湿蚀刻。 因此，获得了与设计的振动特性相比差的音叉型水晶振动片（10）的制造方法。