公开(公告)号：JP4351432B2

公开(公告)日：2009-10-28

申请号：JP2002313999

申请日：2002-10-29

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 大川戸悦夫 ,  津田武 ,  田原修二 ,  船木克彦 ,  藤田和人

IPC: G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  C08F2/44 ,  C08F290/02 ,  C08F299/02 ,  G03F7/004 ,  G03F7/037

公开(公告)号：JP4272406B2

公开(公告)日：2009-06-03

申请号：JP2002314000

申请日：2002-10-29

Applicant: 三井化学株式会社

Inventor： 大川戸悦夫 ,  津田武 ,  田原修二 ,  船木克彦 ,  藤田和人

IPC: G03F7/037 ,  C08F2/44 ,  C08F283/04 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  H05K3/00 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18