电容器、制造其的方法和包括其的电子器件

    公开(公告)号:CN120076709A

    公开(公告)日:2025-05-30

    申请号:CN202411154972.6

    申请日:2024-08-22

    Abstract: 本发明涉及电容器、制造其的方法和包括其的电子器件。电容器包括:第一电极;设置成面向所述第一电极的第二电极;设置在所述第一电极和所述第二电极之间的介电层;以及设置在所述第一电极和所述介电层之间的导电界面层。所述导电界面层包括设置在所述第一电极和所述介电层之间的第一导电界面层、以及设置在所述第一导电界面层和所述介电层之间的第二导电界面层。所述介电层包括金红石相介电材料。所述第一导电界面层包括具有处于金红石相的稳定的晶体结构的导电金属氧化物材料。在所述第二导电界面层和所述介电层之间的导带偏移大于在所述第一导电界面层和所述介电层之间的导带偏移。

    电子器件和包括其的半导体装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114447222A

    公开(公告)日:2022-05-06

    申请号:CN202110775788.3

    申请日:2021-07-09

    Abstract: 本发明涉及电子器件和包括其的半导体装置。半导体器件包括:下部电极;设置成与所述下部电极间隔开的上部电极;以及设置在所述下部电极和所述上部电极之间的介电层,所述介电层包括:第一金属氧化物区域,其包括以下的一种或多种:Hf、Zr、Nb、Ta、Pr、Nd、Gd、Dy、Yb、Pb、Zn、Si、Ti、Sr或Lu;第二金属氧化物区域,其包括以下的一种或多种:Y、Sc或Ce;和第三金属氧化物区域,其包括以下的一种或多种:Al、Mg或Be。

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