用于化学镀的装置及方法

    公开(公告)号:CN101235494B

    公开(公告)日:2010-09-29

    申请号:CN200710107394.0

    申请日:2007-06-01

    Abstract: 本发明公开了一种用于化学镀的装置及方法。化学镀装置包括:镀槽;热交换器,设置成邻近于镀槽的底表面;供应部,设置成邻近于热交换器,并将镀液供应到镀槽的内部;以及篮,设置于镀槽内部,并容纳镀靶,该化学镀装置通过将热交换器设置于镀槽的底部处并使镀液的喷出方向面向该热交换器,可以使镀覆条件均匀,并且提高镀层的可靠性。

    金属镀覆溶液中有机酸的定性分析方法

    公开(公告)号:CN102375023A

    公开(公告)日:2012-03-14

    申请号:CN201010556204.5

    申请日:2010-11-23

    Inventor: 金仑熙 李性宰

    Abstract: 本发明涉及金属镀覆溶液中有机酸的定性分析方法,通过采用与有机酸分子量区域不同的高分子量区域的特定基质的基质辅助激光解吸/电离质谱分析(MALDI MS)进行。本发明金属镀覆溶液中有机酸的定性分析方法可以进行精确的定性分析,因为有机酸的峰和基质组分的峰在使用基质辅助激光解吸/电离质谱分析(MALDI MS)时并不重叠。另外,这种精确的定性分析可以用于提供镀覆机理,改善镀覆特性并开发镀覆溶液,而将通过其它产品的分析对镀覆溶液本身开发具有重大作用。

    用于化学镀的装置及方法

    公开(公告)号:CN101235494A

    公开(公告)日:2008-08-06

    申请号:CN200710107394.0

    申请日:2007-06-01

    Abstract: 本发明公开了一种用于化学镀的装置及方法。化学镀装置包括:镀槽;热交换器,设置成邻近于镀槽的底表面;供应部,设置成邻近于热交换器,并将镀液供应到镀槽的内部;以及篮,设置于镀槽内部,并容纳镀靶,该化学镀装置通过将热交换器设置于镀槽的底部处并使镀液的喷出方向面向该热交换器,可以使镀覆条件均匀,并且提高镀层的可靠性。

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