公开(公告)号：CN108027267A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201680052519.1

申请日：2016-09-23

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 羽迫义浩 ,  山本洋太

IPC: G01F1/692

Abstract: 本流量传感器(1)具备加热电阻(40)及多个温度检测器(30～33)，在使上述加热电阻(40)加热的状态下，基于各个上述温度检测器(30～33)的温度检测结果来检测在上述温度检测器(30～33)上流动的流体的流量，该流量传感器具有：具备开口部的框状的半导体基板；设于上述半导体基板上的膜片部(20)；以及设于上述膜片部(20)的加热电阻(40)及多个温度检测器(30～33)，上述膜片部(20)具备堵塞上述开口部的薄膜构造体部(20t)，在俯视视角下，在上述薄膜构造体部(20t)上，在上述加热电阻(40)的周围配置有多个上述温度检测器(30～33)。

公开(公告)号：CN108027267B

公开(公告)日：2020-08-04

申请号：CN201680052519.1

申请日：2016-09-23

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 羽迫义浩 ,  山本洋太

IPC: G01F1/692

Abstract: 本流量传感器(1)具备加热电阻(40)及多个温度检测器(30～33)，在使上述加热电阻(40)加热的状态下，基于各个上述温度检测器(30～33)的温度检测结果来检测在上述温度检测器(30～33)上流动的流体的流量，该流量传感器具有：具备开口部的框状的半导体基板；设于上述半导体基板上的膜片部(20)；以及设于上述膜片部(20)的加热电阻(40)及多个温度检测器(30～33)，上述膜片部(20)具备堵塞上述开口部的薄膜构造体部(20t)，在俯视视角下，在上述薄膜构造体部(20t)上，在上述加热电阻(40)的周围配置有多个上述温度检测器(30～33)。

公开(公告)号：CN104122015B

公开(公告)日：2019-04-19

申请号：CN201410171190.3

申请日：2014-04-25

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 中根健智 ,  羽迫义浩 ,  岛津侑宜

IPC: G01L1/18 ,  G01L9/06

Abstract: 本发明提供一种无论玻璃基板的厚度如何都能够抑制输出变动量的物理量检测元件等。本物理量检测元件具有：玻璃基板；具备物理量检测部的基板；通过在上述玻璃基板的一方的面接合上述基板而形成的密封的空间；以及形成于上述玻璃基板的另一方的面且防止上述玻璃基板的另一方的面与大气中水分的接触的功能膜。

公开(公告)号：CN104122015A

公开(公告)日：2014-10-29

申请号：CN201410171190.3

申请日：2014-04-25

Applicant: 三美电机株式会社

Inventor： 中根健智 ,  羽迫义浩 ,  岛津侑宜

IPC: G01L1/18 ,  G01L9/06

CPC classification number: H01L23/10 ,  B81B7/0025 ,  B81B2201/0264 ,  G01L9/0042 ,  G01L9/0052 ,  H01L23/3121 ,  H01L23/564 ,  H01L29/84 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2924/00014

Abstract: 本发明提供一种无论玻璃基板的厚度如何都能够抑制输出变动量的物理量检测元件等。本物理量检测元件具有：玻璃基板；具备物理量检测部的基板；通过在上述玻璃基板的一方的面接合上述基板而形成的密封的空间；以及形成于上述玻璃基板的另一方的面且防止上述玻璃基板的另一方的面与大气中水分的接触的功能膜。