公开(公告)号：CN1873510A

公开(公告)日：2006-12-06

申请号：CN200610068249.1

申请日：2006-03-22

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 远藤厚志 ,  中畑匠

IPC: G02F1/136 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/133 ,  H01L29/786 ,  H01L21/66

CPC classification number: G02F1/136204 ,  G01R31/2818 ,  G02F2001/136254

Abstract: 本发明的目的在于：提供不受液晶显示面板上的配置场所制约，防止因制造时和处理时发生的静电引起的损伤，能够进行正确的特性检查的特性检查用开关元件。在特性检查用薄膜晶体管10的源极S、栅极G及漏极D中，各自连接作为电极端子的源端子11、栅端子12及漏端子13。而且，为了通用化各自的电极端子的电位，将电极端子通过电位通用布线50与电位通用端子20连接。在进行特性检查时，通过在电极端子·电位通用端子20之间施加电压，熔断电位通用布线50。

公开(公告)号：CN101123276A

公开(公告)日：2008-02-13

申请号：CN200710140718.0

申请日：2007-08-09

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 永田一志 ,  远藤厚志 ,  由良信介

IPC: H01L29/786 ,  H01L29/423 ,  H01L29/51 ,  H01L27/12 ,  H01L21/336 ,  H01L21/28 ,  H01L21/84 ,  G02F1/1362

CPC classification number: H01L29/4908 ,  H01L27/1248 ,  H01L29/66757 ,  H01L29/78606 ,  H01L29/78675

Abstract: 本发明提供一种可靠性高、性能稳定的薄膜晶体管阵列基板及其制造方法。本发明的薄膜晶体管阵列基板具备：形成在绝缘基板(1)上并具有预定的图案形状的多晶硅层(2)；设置在绝缘基板(1)和多晶硅层(2)的表面上、表面成为与多晶硅层(2)的表面相同的抛光面的第1栅极绝缘膜(31)；覆盖着多晶硅层(2)和第1栅极绝缘膜(31)而形成的第2栅极绝缘膜(32)。