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公开(公告)号:JPWO2017042951A1
公开(公告)日:2018-03-15
申请号:JP2017538812
申请日:2015-09-11
Applicant: 三菱電機株式会社
Abstract: 本発明は、電磁石が配置される設備室において、電磁石の電源ケーブル配置スペースを少なくできる電磁石架台を提供することを目的とする。電磁石架台(1)は、電磁石(2a)を支持する天板(11)と、天板(11)を支える複数の脚(13)と、複数の脚(13)に固定されると共に天板(11)の下側に配置されるケーブル配置部材(12)とを備え、電磁石(2a)の電源ケーブル(4)が荷電粒子ビーム(51)の進行方向に延伸して配置されるケーブル配置部(16)が、ケーブル配置部材(12)と天板(11)との間に形成され、ケーブル配置部(16)は、荷電粒子ビーム(51)の進行方向に垂直な方向の長さであるケーブル配置幅(幅方向脚間長(L1))が、電磁石(2a)における荷電粒子ビーム(51)の進行方向に垂直な方向の幅(Mw)よりも長いことを特徴とする。
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公开(公告)号:JPWO2018047272A1
公开(公告)日:2019-02-14
申请号:JP2016076436
申请日:2016-09-08
Applicant: 三菱電機株式会社
Abstract: Z方向に進行する粒子線を、Z方向と垂直な一方向であるX方向に偏向する第一偏向電磁石と、Z方向に進行する粒子線を、Z方向とX方向に垂直なY方向に偏向する第二偏向電磁石とが、Z方向に並んで配置されている走査電磁石において、第一偏向電磁石は第二偏向電磁石よりも重く、第一偏向電磁石は電磁石架台と、この電磁石架台に対向して配置された固定用電磁石架台に固定されており、第二偏向電磁石が第一偏向電磁石との位置関係を調整するための位置調整機構を介して電磁石固定架台に取り付けられているよう構成されている。
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公开(公告)号:JP6261752B2
公开(公告)日:2018-01-17
申请号:JP2016549675
申请日:2014-09-22
Applicant: 三菱電機株式会社
CPC classification number: H01B5/02 , A61N5/1042 , A61N2005/1087 , H01F5/04 , H01F7/20 , H01F2007/062 , H05H7/02 , H05H7/04 , H05H13/04 , H05H2007/046
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公开(公告)号:JP6012848B2
公开(公告)日:2016-10-25
申请号:JP2015505164
申请日:2013-03-14
Applicant: 三菱電機株式会社
CPC classification number: H01J37/147 , F16M11/045 , F16M11/046 , F16M11/121 , H05H7/04 , H01J2237/152 , H05H2007/048
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