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公开(公告)号：CN107094371A
公开(公告)日：2017-08-25
申请号：CN201580067666.1
申请日：2015-12-28
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/147 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/1475 , H01J37/05 , H01J37/09 , H01J37/1478 , H01J37/3171 , H01J2237/0458 , H01J2237/057 , H01J2237/152 , H01J2237/24528 , H01J2237/30455 , H01J2237/30472 , H01J2237/31701
Abstract: 离子注入系统(110)使用质量分析器(126)来进行质量分析和角度校正。离子源沿束路径产生离子束(124)。质量分析器放置在离子源的下游，所述质量分析器对离子束执行质量分析和角度校正。位于孔径组件(133)内的分辨孔径(134)位于质量分析器部件的下游并位于束路径上。分辨孔径具有根据所选择的质量分辨率以及离子束的束包络的尺寸和形状。角度测量系统(156)位于分辨孔径的下游并获得离子束的入射角值。控制系统(154)根据来自角度测量系统的离子束的入射角值导出针对质量分析器的磁场调整。
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公开(公告)号：CN104094377B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280062842.9
申请日：2012-10-17
Applicant: 弗劳恩霍弗实用研究促进协会
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32055 , H01J37/32064 , H01J37/32596 , H01J37/32669 , H01J37/32807 , H01J2237/0822 , H01J2237/152 , H01J2237/327 , H05H1/48
Abstract: 本发明涉及一种用于产生空心阴极电弧放电等离子体的装置，由两个等离子体源（11；12）组成，所述等离子体源分别包括空心阴极（13；14）和属于空心阴极（13；14）的电极（15；16），该电极具有穿过该电极（15；16）延伸的开口，其中两个等离子体源（11；12）的空心阴极（13；14）被连接到脉冲发生器（17）上，所述脉冲发生器在两个空心阴极（13；14）之间产生双极中频脉冲电压。在此，在两个等离子体源（11；12）中所述空心阴极（13；14）直接地或在中间连接至少一个限制电流方向的元件（38；39）的情况下与所属的电极（15；16）导电连接。
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公开(公告)号：CN104703381A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201410737841.0
申请日：2014-12-05
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 长内昭宏
CPC classification number: A61N5/1077 , A61N2005/1087 , A61N2005/1095 , H01J37/1472 , H01J37/3007 , H01J2237/04732 , H01J2237/152 , H01J2237/30472 , H05H7/08 , H05H7/10 , H05H13/04 , H05H2007/005 , H05H2007/087
Abstract: 本发明提供一种不损害线束的稳定性、维持紧凑性、可利用范围广的能量的线束的圆形加速器。根据实施方式，圆形加速器具备：使线束入射的入射用偏转器；使从入射用偏转器入射的线束回旋而形成回旋轨道的偏转电磁铁；每当线束入射则改变线束相对于回旋轨道中心的位置的入射轨道调整用电磁铁；四极电磁铁和六极电磁铁，其是当线束出射时调整励磁量并将从线束的稳定区域偏离的共振区域的线束取出的取出用电磁铁；以及将从共振区域取出的线束取出到外部的出射用偏转器；使线束从回旋轨道的内侧入射，并且使线束向回旋轨道的外侧出射。
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公开(公告)号：CN101553897A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200780035716.3
申请日：2007-09-13
Applicant: 艾克塞利斯科技公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/317
CPC classification number: H01J37/1471 , H01J37/04 , H01J37/304 , H01J37/3171 , H01J2237/0475 , H01J2237/055 , H01J2237/1501 , H01J2237/152 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/3045 , H01J2237/31703
Abstract: 一种离子注入系统(410)的平行化部件(439)包括两个成角度的双极磁铁(439a、439b)，其彼此成镜像且用于弯曲横越其中的离子束(424)，以具有大致“s”形状。这种s弯曲用于从束中滤除杂质，同时所述双极平行化所述束以帮助在晶片(430)上有均匀的注入性能，例如注入角度。另外，在注入系统的末端处还包含减速级(457)，使得束的能量可在整个束线中均保持非常高，以减轻束扩散。
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公开(公告)号：CN104703381B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201410737841.0
申请日：2014-12-05
Applicant: 株式会社东芝
Inventor： 长内昭宏
CPC classification number: A61N5/1077 , A61N2005/1087 , A61N2005/1095 , H01J37/1472 , H01J37/3007 , H01J2237/04732 , H01J2237/152 , H01J2237/30472 , H05H7/08 , H05H7/10 , H05H13/04 , H05H2007/005 , H05H2007/087
Abstract: 本发明提供一种不损害线束的稳定性、维持紧凑性、可利用范围广的能量的线束的圆形加速器。根据实施方式，圆形加速器具备：使线束入射的入射用偏转器；使从入射用偏转器入射的线束回旋而形成回旋轨道的偏转电磁铁；每当线束入射则改变线束相对于回旋轨道中心的位置的入射轨道调整用电磁铁；四极电磁铁和六极电磁铁，其是当线束出射时调整励磁量并将从线束的稳定区域偏离的共振区域的线束取出的取出用电磁铁；以及将从共振区域取出的线束取出到外部的出射用偏转器；使线束从回旋轨道的内侧入射，并且使线束向回旋轨道的外侧出射。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104922803B
公开(公告)日：2018-02-09
申请号：CN201510032773.2
申请日：2015-01-22
Applicant: 住友重机械工业株式会社
Inventor： 岩永慎二
CPC classification number: H01J37/304 , A61N5/1043 , A61N5/1048 , A61N5/1077 , A61N2005/1087 , A61N2005/1095 , G21K5/04 , H01J37/1472 , H01J37/3007 , H01J2237/1504 , H01J2237/152 , H01J2237/30472 , H05H7/12 , H05H13/04 , H05H2007/004 , H05H2007/122
Abstract: 本发明提供一种带电粒子线治疗装置及带电粒子线的射程调整方法，其目的在于缩短切换照射带电粒子线的层时的切换时间且缩短带电粒子线治疗的时间。控制部(130)在切换照射带电粒子线的被照射体的层时通过控制降能器(18)来降低带电粒子线的能量，并且提高在电磁铁电源(27)与电磁铁(25)之间串联连接的半导体(50)的电阻。由于半导体(50)能够在减少流向电磁铁(25)的电流时在必要时刻提高电阻来加大负载时间常数，因此能够缩短降低电流所需的时间。即，能够缩短切换照射带电粒子线的层时的切换时间，从而缩短带电粒子线治疗的时间。
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公开(公告)号：CN105191510B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201380074593.X
申请日：2013-03-14
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: H01J37/147 , A61B1/00158 , F16M11/045 , F16M11/046 , H01J2237/152 , H05H7/04 , H05H2007/048
Abstract: 本发明的目的在于获得一种大型电磁铁的配置自由度高、且能使整个设备紧凑的、对大型电磁铁进行支承的电磁铁支承台。本发明的电磁铁支承台的特征在于，对具有由两个枢轴(32)构成的枢轴对(33)的电磁铁(30)进行支承，上述两个枢轴(32)设置在彼此相对的侧面上，且彼此的中心轴(34)一致，该电磁铁支承台具备：与枢轴(32)的个数相同、且设置有以覆盖枢轴(32)的外表面的方式来进行卡合的卡合部(19)的支承金属件(10)；以及经由使支承金属件(10)在垂直方向上移动的垂直方向调整部(21)来进行保持的支架(26)。
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公开(公告)号：CN104012184A
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：CN201280038867.5
申请日：2012-06-08
Applicant: 巴黎综合理工学院
Inventor： 索里巴·弗朗齐歇克·西拉 , 维克托·阿曼德·马尔卡 , 亚历山德罗·费德里科·弗拉戈 , 迈纳·伊万诺瓦·韦尔切瓦 , 苏巴亨多·卡哈利
CPC classification number: H05G2/006 , A61B6/40 , H01J37/32009 , H01J37/32669 , H01J2237/152 , H01J2893/0063 , H05G2/00 , H05G2/001 , H05G2/003 , H05G2/008 , H05H1/22 , H05H1/54 , H05H2277/10 , H05H2277/11 , H05H2277/113
Abstract: 本发明涉及用于产生喷射流体的方法和装置、将喷射流体转换为等离子体的方法和系统，以及该系统的应用。根据本发明，该方法的特征在于包括借助高压快速电磁阀（5）和跟随其后并安装在电磁阀出口的喷嘴（7）产生脉冲喷射流体（F），喷射流体的尺寸为亚毫米级，并且原子密度大于1020cm-3。本发明在等离子发生器领域得到应用。
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公开(公告)号：CN101652498A
公开(公告)日：2010-02-17
申请号：CN200780052204.8
申请日：2007-04-24
Applicant: 佳能安内华股份有限公司
Inventor： 中河原均
CPC classification number: H01J37/08 , C23C14/081 , C23C14/28 , H01J37/04 , H01J37/1472 , H01J37/3053 , H01J37/3178 , H01J2237/061 , H01J2237/083 , H01J2237/103 , H01J2237/152 , H01J2237/3132 , H01J2237/3146
Abstract: 通过使由会聚线圈从等离子枪提取的等离子束(25)通过下面的磁场，使得束的横断面扁平化：该磁场在与等离子束的行进方向正交的方向上延伸，并且通过由相互平行地成对相对配置的永磁体构成的磁体(27)形成。提供一种使用具有0.7≤Wi/Wt的等离子束的等离子设备，其中，相对于扁平化后的束28的宽度Wt，束强度的半值为Wi。包括至少一个在束的中心处的排斥磁场的强度更强的磁体。
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公开(公告)号：CN101371327A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：CN200780002657.X
申请日：2007-01-19
Applicant: 瓦里安半导体设备公司
IPC: H01J37/147 , H01J37/30
CPC classification number: H01J37/147 , H01J37/3007 , H01J2237/1501 , H01J2237/152 , H01J2237/30477 , H01J2237/31701
Abstract: 本发明是有关一种用于改善带状离子束的均一性的技术。在一特定例示性实施例中，装置可包含第一修正器条总成以及第二修正器条总成，其中第二修正器条总成位于距第一修正器条总成一段预定距离处。第一修正器条总成中的第一多个线圈中的每一个可经个别地激励以使带状离子束中的至少一细离子束偏转，藉此使细离子束以所要空间扩展来到达第二修正器条总成。第二修正器条总成中的第二多个线圈中的每一个可经个别地激励以使带状离子束中的一个或多个细离子束进一步偏转，藉此使细离子束以所要角度离开第二修正器条总成。
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