一种带自检测装置的压阻式压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105716753B

    公开(公告)日:2018-08-17

    申请号:CN201610266004.3

    申请日:2016-04-26

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种带自检测装置的压阻式压力传感器,包括硅衬底、压敏电阻条、二氧化硅和氮化硅复合层、下电极、弹性敏感薄膜、真空密封腔、上电极、铟凸点、上玻璃基板、玻璃、金属引线、硼离子重掺杂扩散区;二氧化硅和氮化硅复合层生长在硅衬底的顶面;硅衬底中设有与压敏电阻条相连的硼离子重掺杂扩散区;下电极嵌至在二氧化硅和氮化硅复合层中;上玻璃基板固定连接在二氧化硅和氮化硅复合层的顶面;金属引线的一端伸入二氧化硅和氮化硅复合层的电极引出孔中,金属引线的另一端与压敏电阻条连接,构成惠斯通电桥。该压力传感器利用静电力模拟实际检测中的压力值,能够快速实现压力值的改变,在分析传感器性能时,具有更高的效率。

    直线永磁发电机
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101567613A

    公开(公告)日:2009-10-28

    申请号:CN200910028484.X

    申请日:2009-01-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种直线永磁发电机,包括初级铁心、初级线圈、次级铁心、非导磁材料轴,所述的初级铁心、初级线圈、次级铁心、非导磁材料轴由外向内依次排列,所述的初级线圈绕制在所述的初级铁心的内部,所述的非导磁材料轴嵌在所述的次级铁心的内部,在所述的次级铁心外还套有一Halbach阵列的永磁体,该永磁体使永磁体外侧的磁场增强,使永磁体内侧的磁场减弱。本发明采用Halbach永磁阵列,应用于直线发电机,具有以下几个优点:提高了发电机的功率密度,提高了永磁体的利用率,同时减少了次级铁心中的涡流损耗;从而简化了电机的结构,使电机的运行更加稳定;减小发电机的体积和重量。

    一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法

    公开(公告)号:CN107246928B

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201710406457.6

    申请日:2017-06-01

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种压力传感器,包括衬底、薄膜、永磁体、金属线圈和导体悬臂梁,永磁体固定连接在衬底的底面,衬底的上部设有空腔,薄膜生长在衬底的顶面,且薄膜覆盖在空腔的上方;金属线圈固定连接在薄膜的顶面,导体悬臂梁固定连接在衬底的顶面,且导体悬臂梁位于金属线圈上方。该压力传感器结构简单,且利用电磁原理实现压力测量,过程简单。同时,本发明还提供压力传感器的工作方法,易于实现。

    一种利用电磁原理的压力传感器及其工作方法

    公开(公告)号:CN107246928A

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201710406457.6

    申请日:2017-06-01

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种压力传感器,包括衬底、薄膜、永磁体、金属线圈和导体悬臂梁,永磁体固定连接在衬底的底面,衬底的上部设有空腔,薄膜生长在衬底的顶面,且薄膜覆盖在空腔的上方;金属线圈固定连接在薄膜的顶面,导体悬臂梁固定连接在衬底的顶面,且导体悬臂梁位于金属线圈上方。该压力传感器结构简单,且利用电磁原理实现压力测量,过程简单。同时,本发明还提供压力传感器的工作方法,易于实现。

    一种利用热电阻原理的压力传感器及其工作方法

    公开(公告)号:CN107014551A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710406404.4

    申请日:2017-06-01

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01L9/0051

    Abstract: 本发明公开了一种利用热电阻原理的压力传感器及其工作方法,该压力传感器结构简单,利用热电阻原理进行压力测试,提高测试的便利性。所述压力传感器包括衬底、薄膜、第一热电阻和第二热电阻,衬底的上部设有空腔,薄膜生长在衬底的顶面,且薄膜覆盖在空腔上方,第一热电阻和第二热电阻分别位于空腔中。

    一种带自检测装置的压阻式压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105716753A

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201610266004.3

    申请日:2016-04-26

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01L1/20 G01L25/00

    Abstract: 本发明公开了一种带自检测装置的压阻式压力传感器,包括硅衬底、压敏电阻条、二氧化硅和氮化硅复合层、下电极、弹性敏感薄膜、真空密封腔、上电极、铟凸点、上玻璃基板、玻璃、金属引线、硼离子重掺杂扩散区;二氧化硅和氮化硅复合层生长在硅衬底的顶面;硅衬底中设有与压敏电阻条相连的硼离子重掺杂扩散区;下电极嵌至在二氧化硅和氮化硅复合层中;上玻璃基板固定连接在二氧化硅和氮化硅复合层的顶面;金属引线的一端伸入二氧化硅和氮化硅复合层的电极引出孔中,金属引线的另一端与压敏电阻条连接,构成惠斯通电桥。该压力传感器利用静电力模拟实际检测中的压力值,能够快速实现压力值的改变,在分析传感器性能时,具有更高的效率。

    一种利用静电原理的压力传感器及其工作方法

    公开(公告)号:CN107063514A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710406405.9

    申请日:2017-06-01

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01L1/086 G01L9/00

    Abstract: 本发明公开了一种利用静电原理的压力传感器,包括衬底、薄膜、导电驱动块和悬臂梁,衬底的上部设有空腔,薄膜固定连接在衬底的顶面,且薄膜覆盖空腔,导电驱动块固定连接在薄膜的顶面,悬臂梁固定连接在衬底的顶面,且悬臂梁位于导电驱动块的上方。该压力传感器结构简单。本发明实施例还提供压力传感器的工作方法,充分利用了静电感应的原理,避免了传统压力传感器的缺陷。在适合进行电压与电流测试的场合,采用本实施例的传感器进行压力测量,非常方便。

    一种利用压电原理测量压力的压力传感器及其工作方法

    公开(公告)号:CN107036739A

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201710406043.3

    申请日:2017-06-01

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01L1/16 G01L9/08

    Abstract: 本发明公开了一种利用压电原理测量压力的压力传感器及其工作方法,结构简单,且利用压电原理,实现将压力量转化为电学量进行测量,易于实现。本发明的压力传感器包括衬底,可动薄膜、下导体层、中导体层、悬臂梁和上导体层,其中,衬底的上部设有空腔,可动薄膜固定连接在衬底的顶面,且可动薄膜覆盖在空腔上;悬臂梁固定连接在衬底的顶面,且悬臂梁位于空腔上方,下导体层固定连接在可动薄膜上,中导体层固定连接在悬臂梁的底面,下导体层和中导体层相对,上导体层固定连接在悬臂梁的顶面。

    直线永磁发电机
    9.
    实用新型

    公开(公告)号:CN201336625Y

    公开(公告)日:2009-10-28

    申请号:CN200920037744.5

    申请日:2009-01-22

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本实用新型公开了一种直线永磁发电机,包括初级铁心、初级线圈、次级铁心、非导磁材料轴,所述的初级铁心、初级线圈、次级铁心、非导磁材料轴由外向内依次排列,所述的初级线圈绕制在所述的初级铁心的内部,所述的非导磁材料轴嵌在所述的次级铁心的内部,在所述的次级铁心外还套有一Halbach阵列的永磁体,该永磁体使永磁体外侧的磁场增强,使永磁体内侧的磁场减弱。本实用新型采用Halbach永磁阵列,应用于直线发电机,具有以下几个优点:提高了发电机的功率密度,提高了永磁体的利用率,同时减少了次级铁心中的涡流损耗;从而简化了电机的结构,使电机的运行更加稳定;减小发电机的体积和重量。

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