薄膜材料残余应力测试结构及方法

    公开(公告)号:CN104034449A

    公开(公告)日:2014-09-10

    申请号:CN201410243181.0

    申请日:2014-06-03

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01L1/086 G01L5/0047 H01L22/14 H01L22/34

    Abstract: 本发明提出了一种薄膜材料残余应力的测试结构及方法,其结构由两组结构组成,第一组结构包括静电驱动的多晶硅悬臂梁(101)、由待测薄膜材料制作的带有对准结构的非对称十字梁(102)、由待测薄膜材料制作的双端固支梁(103);第二组结构是第一组结构去除固支梁(103)后的剩余结构;将力的加载驱动部分和待测薄膜材料制作的残余应力测试结构分开,通过几何参数设计控制测试结构的弯曲挠度,通过两组测试结构的相同部分受力相同的原理提取出残余应力测试结构所受到的力,利用力和挠度计算得到待测薄膜材料的残余应力。本发明的测试结构、测量方法和参数提取的计算方法极其简单,适应性广,可以用于测试导电或绝缘薄膜材料的残余应力。

    力传感装置、特别是称重单元

    公开(公告)号:CN103534562B

    公开(公告)日:2015-08-12

    申请号:CN201280023197.X

    申请日:2012-05-11

    CPC classification number: G01L1/086 G01G3/12 G01G3/1416

    Abstract: 本发明涉及一种力传感装置、特别是称重单元,其由弹性体(1)和传感器(15)构成,该弹性体在待测的力或负荷(18)的作用下发生变形,该传感器具有两个分离的并安装在弹性体(1)的不同位置处的传感器部件(13,14)并且产生取决于传感器部件(13,14)彼此间的相对位置的传感器信号。为了改进传感器(15)对弹性体(1)的匹配度,传感器部件(13,14)中的一个传感器部件在中间存在机电的执行器(16)的情况下安装在弹性体(1)处并且存在控制装置,该控制装置根据传感器信号在缩小传感器部件(13,14)的位置差异的方向上控制执行器(16)。

    力传感装置、特别是称重单元

    公开(公告)号:CN103534562A

    公开(公告)日:2014-01-22

    申请号:CN201280023197.X

    申请日:2012-05-11

    CPC classification number: G01L1/086 G01G3/12 G01G3/1416

    Abstract: 本发明涉及一种力传感装置、特别是称重单元,其由弹性体(1)和传感器(15)构成,该弹性体在待测的力或负荷(18)的作用下发生变形,该传感器具有两个分离的并安装在弹性体(1)的不同位置处的传感器部件(13,14)并且产生取决于传感器部件(13,14)彼此间的相对位置的传感器信号。为了改进传感器(15)对弹性体(1)的匹配度,传感器部件(13,14)中的一个传感器部件在中间存在机电的执行器(16)的情况下安装在弹性体(1)处并且存在控制装置,该控制装置根据传感器信号在缩小传感器部件(13,14)的位置差异的方向上控制执行器(16)。

    一种利用静电原理的压力传感器及其工作方法

    公开(公告)号:CN107063514A

    公开(公告)日:2017-08-18

    申请号:CN201710406405.9

    申请日:2017-06-01

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01L1/086 G01L9/00

    Abstract: 本发明公开了一种利用静电原理的压力传感器,包括衬底、薄膜、导电驱动块和悬臂梁,衬底的上部设有空腔,薄膜固定连接在衬底的顶面,且薄膜覆盖空腔,导电驱动块固定连接在薄膜的顶面,悬臂梁固定连接在衬底的顶面,且悬臂梁位于导电驱动块的上方。该压力传感器结构简单。本发明实施例还提供压力传感器的工作方法,充分利用了静电感应的原理,避免了传统压力传感器的缺陷。在适合进行电压与电流测试的场合,采用本实施例的传感器进行压力测量,非常方便。

    薄膜材料残余应力测试结构及方法

    公开(公告)号:CN104034449B

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201410243181.0

    申请日:2014-06-03

    Applicant: 东南大学

    CPC classification number: G01L1/086 G01L5/0047 H01L22/14 H01L22/34

    Abstract: 本发明提出了一种薄膜材料残余应力的测试结构及方法,其结构由两组结构组成,第一组结构包括静电驱动的多晶硅悬臂梁(101)、由待测薄膜材料制作的带有对准结构的非对称十字梁(102)、由待测薄膜材料制作的双端固支梁(103);第二组结构是第一组结构去除固支梁(103)后的剩余结构;将力的加载驱动部分和待测薄膜材料制作的残余应力测试结构分开,通过几何参数设计控制测试结构的弯曲挠度,通过两组测试结构的相同部分受力相同的原理提取出残余应力测试结构所受到的力,利用力和挠度计算得到待测薄膜材料的残余应力。本发明的测试结构、测量方法和参数提取的计算方法极其简单,适应性广,可以用于测试导电或绝缘薄膜材料的残余应力。

    力测定器
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1098196A

    公开(公告)日:1995-02-01

    申请号:CN94103609.X

    申请日:1994-03-25

    CPC classification number: G01L1/086 G01L11/008

    Abstract: 一种力测定器,通过测定反作用于待测力的电磁力确定待测力的大小。它包括:施力线圈;检测天平平衡时发生位移的位移检测器;对位移检测器输出的模拟检测信号进行PD运算的模拟运算器;将模拟信号变换为与该信号大小相应的某一频率的脉冲变换器;根据模拟信号的极性对脉冲变换器的脉冲信号递增或递减计数的升降计数器;将上述计数变换为模拟信号的D/A变换器,将此变换器的输出与模拟运算器的输出之和反馈给施力线圈,只将上述计数结果用于确定测定值。

    AUTOMATIC WEIGHING METHOD AND DEVICE
    10.
    发明申请
    AUTOMATIC WEIGHING METHOD AND DEVICE 审中-公开
    自动称重方法和装置

    公开(公告)号:WO1981001463A1

    公开(公告)日:1981-05-28

    申请号:PCT/EP1980000132

    申请日:1980-11-14

    Inventor: BATTELLE INST

    CPC classification number: G01L1/086 G01G7/04

    Abstract: In order to carry out an automatic weighing, beam-scales are used provided with electromagnetic balancing (5, 6), substitution counterweight and digital display (11). An indicator (3) signals the position of the beam (1) to a microprocessor (4). The balancing is achieved through a limited number of distinct electromagnetic compensation forces, having a constant amplitude, which are generated by a corresponding number of constant currents of a discreet value. The values of the current are graded according to the decreasing powers of an appropriate base system of numbers, generally such as the decimal system in units and in powers of ten to these units. From upper power decades to lower power decades, and in each decade, the number of compensation force units required to overcompensate the charge (M) is counted. To this effect - without determining precisely the rest position of the beam - it is just a matter of checking for each compensation step whether the load (M) is higher or smaller than the compensation force. As soon as the indicator (3) signals an overcompensation, the preceding counting step is considered as the weighing result of the decade in question. At each compensation step of each decade, correction digital values are allocated. The weighing result proceeds from the sum of weighing results of all the decades plus the sum of the correction values which have been allocated to the compensation values measured in each decade.

    Abstract translation: 为了进行自动称重,使用电子秤(5,6),替换配重和数字显示(11)。 指示器(3)将光束(1)的位置发信号通知微处理器(4)。 平衡是通过有限数量的不同的电磁补偿力实现的,具有恒定的振幅,它们是由相当数量的离散值的恒定电流产生的。 目前的价值根据适当的数字基础系统的减少能力进行分级,通常是以单位为单位的十进制数和这些单位的十位制。 从高功率几十年到低功率几十年,在每十年,计算过度补偿费用(M)所需的补偿力单位数。 为此,无需精确地确定光束的静止位置 - 只需检查每个补偿步骤,负载(M)是否高于或小于补偿力。 指示符(3)指示过度补偿后,上述计数步骤被认为是所讨论的十年的称重结果。 在每十年的每个补偿步骤中,分配校正数字值。 称量结果从所有几十年的称重结果总和加上已分配给每十年测量的补偿值的校正值的总和。

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