公开(公告)号：CN118973763A

公开(公告)日：2024-11-15

申请号：CN202280092892.5

申请日：2022-11-17

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 井口晴贵 ,  锹田诗织 ,  窟本京太郎 ,  细见隆也

IPC: B24B53/00 ,  B24B27/06 ,  B24B53/12 ,  H01L21/301 ,  H01L21/677

Abstract: 切断装置包括：切断用工作台、切断机构、修整用工作台、收容机构和输送机构。切断用工作台保持切断对象物。切断机构通过刀片切断保持在切断用工作台的切断对象物。修整用工作台为了刀片的修整而保持修整板。收容机构堆叠收容多个修整板。输送机构包括基板输送部和能够与基板输送部一起移动的修整板输送部。基板输送部吸附切断对象物并将被吸附的切断对象物向切断用工作台输送。修整板输送部在收容机构与修整用工作台之间输送修整板。

公开(公告)号：CN118043168A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202280066015.0

申请日：2022-10-17

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 井口晴贵 ,  细见隆也 ,  坂本凛

IPC: B23Q3/08 ,  B24B27/06 ,  B24B41/06 ,  B24B55/06 ,  B28D1/24 ,  B28D7/02 ,  B28D7/04 ,  H01L21/301

Abstract: 切断装置具备工作台、切断机构、保持机构和水分离排出机构。工作台或保持机构通过吸引路径与干式真空泵连接。水分离排出机构位于吸引路径上，通过排水路径排出水。水分离排出机构包括第一储箱、第二储箱和阀机构。第一储箱包括将与真空泵的连接口所处的区域和与工作台或保持机构的连接口所处的区域隔开的隔板。在第一储箱中，在隔板的上方形成有间隙。阀机构变更从第一储箱流入第二储箱的水贮存在第二储箱的第一状态和在第一储箱贮存在水并且贮存在第二储箱的水被排出的第二状态。