公开(公告)号：CN118043168A

公开(公告)日：2024-05-14

申请号：CN202280066015.0

申请日：2022-10-17

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 井口晴贵 ,  细见隆也 ,  坂本凛

IPC: B23Q3/08 ,  B24B27/06 ,  B24B41/06 ,  B24B55/06 ,  B28D1/24 ,  B28D7/02 ,  B28D7/04 ,  H01L21/301

Abstract: 切断装置具备工作台、切断机构、保持机构和水分离排出机构。工作台或保持机构通过吸引路径与干式真空泵连接。水分离排出机构位于吸引路径上，通过排水路径排出水。水分离排出机构包括第一储箱、第二储箱和阀机构。第一储箱包括将与真空泵的连接口所处的区域和与工作台或保持机构的连接口所处的区域隔开的隔板。在第一储箱中，在隔板的上方形成有间隙。阀机构变更从第一储箱流入第二储箱的水贮存在第二储箱的第一状态和在第一储箱贮存在水并且贮存在第二储箱的水被排出的第二状态。

公开(公告)号：CN117103369A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202310338137.7

申请日：2023-03-31

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 深井元树 ,  大西将马 ,  今井一郎 ,  坂本凛

IPC: B26D7/26 ,  B26D7/08 ,  B26D1/14

Abstract: 一种刀片更换装置包括：刀片更换机构，其包括至少第一吸取器，第一吸取器配置为吸取刀片；罩主体，其配置为将刀片更换机构容纳在罩主体中；关闭器，其配置为能够与刀片更换机构一体地移动，并且进一步配置为在刀片更换机构容纳在罩主体中的状态下关闭罩主体的开口；和气体喷射器，其配置为在刀片更换机构容纳在罩主体中时向第一吸取器的刀片吸取表面喷射气体。