公开(公告)号：CN1935459A

公开(公告)日：2007-03-28

申请号：CN200610139882.5

申请日：2006-09-20

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 竹原克尚 ,  吉田正治 ,  北川康之 ,  岸本和之 ,  加藤清治

IPC: B24C3/00 ,  B24C9/00 ,  H01L21/301 ,  H01L21/304 ,  H01L21/68

CPC classification number: B24C1/045 ,  B24C3/04

Abstract: 一种切断装置，通过利用高压将含有磨粒的水进行喷射，沿着在交叉方向延伸的切断线将对象物切断，其具有：将对象物固定的固定台(66)；设在相当于固定台(66)中切断线下方的位置的槽部(68X、68Y)；固定台(66)的槽部(68X、68Y)以外的部分设成与对象物接触的凸部(67)；在槽部(68X、68Y)中设成与向Y方向延伸的切断线大致平行地将凸部(67)连接的基座部(69)；在固定台(66)外周的至少一部分设有将基座部(69)互相之间连接的框部(70)；将基座部(69)覆盖地设成装拆自如的保护构件(74)。由此，在沿着交叉的切断线将对象物切断时，不需要更换将对象物固定的固定台(66)，并可防止固定台(66)的磨损。