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公开(公告)号：CN107342247A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710262164.5
申请日：2017-04-20
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供吸附单元、板状构件输送单元、树脂密封装置、板状构件输送方法以及树脂密封方法。吸附单元(1)包括主体部(10)、主体部(10)的内部的中空的流路(5)、以及主体部的吸附面侧的吸附部(110)。在吸附部(110)设有通孔(45)，通孔(45)和流路(5)相连通。吸附部(110)构成为能够追随板状构件的弯曲。
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公开(公告)号：CN106003518B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201610128596.2
申请日：2016-03-08
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种压缩成形装置、树脂材料供应方法及装置、压缩成形方法，其能够将树脂材料均等地供应至腔室内。将树脂保持托盘21的具有槽缝状树脂保持部33的上槽缝板31与具有槽缝状开口部34及非开口部35的下槽缝板32重叠，且配置成下槽缝板32的非开口部35覆盖上槽缝板31的树脂保持部33，对该树脂保持部33供应颗粒状树脂。将该树脂保持托盘21配置于压缩成形装置的腔室121上，使下槽缝板32相对于腔室121往与槽缝状树脂保持部33的长边方向垂直的方向移动。由于下槽缝板32的开口部34相对于腔室121移动，因此树脂保持部33的颗粒状树脂被均等地供应至腔室121内。
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公开(公告)号：CN107342247B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201710262164.5
申请日：2017-04-20
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明提供吸附单元、板状构件输送单元、树脂密封装置、板状构件输送方法以及树脂密封方法。吸附单元(1)包括主体部(10)、主体部(10)的内部的中空的流路(5)、以及主体部的吸附面侧的吸附部(110)。在吸附部(110)设有通孔(45)，通孔(45)和流路(5)相连通。吸附部(110)构成为能够追随板状构件的弯曲。
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公开(公告)号：CN117501420A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202280043155.6
申请日：2022-03-18
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/56
Abstract: 本发明在去除至少包含凹坑的多余树脂已被去除的已密封基板上残存的多余树脂时，降低无法完全去除残存的多余树脂或者封装产生缺损等的制品不良，本发明的树脂成形装置包括：树脂成形部B，对基板W进行树脂密封而形成已密封基板W1；以及去除部C、去除部D，从已密封基板W1去除多余树脂K1、多余树脂K2，去除部D具有反转搬送机构2，所述反转搬送机构2包括：基板保持部3，保持至少包含凹坑的第一多余树脂K1已被去除的已密封基板W1；反转部4，使基板保持部3旋转而使已密封基板W1表背反转；以及基板搬送部5，将已通过反转部4进行了表背反转的已密封基板W1搬送至用于去除已密封基板W1上残存的第二多余树脂K2的加工载台111。
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公开(公告)号：CN106239806B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201610398725.X
申请日：2016-06-07
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种压缩成形装置的树脂材料供应装置及压缩成形装置，能够将树脂材料均等地供应至腔室、不污染装置周边或妨碍正常动作。在具备具有多个树脂保持狭缝33的上狭缝板31、与用于闭锁及开放该树脂保持狭缝33的下狭缝板32的压缩成形装置的树脂材料供应装置中，在该树脂保持狭缝33之间的横架35的上部不具有平坦部分。在将树脂材料放入树脂保持狭缝33时，在横架35的上部不会载置树脂材料，从而在从树脂保持狭缝33将树脂材料供应至腔室时，不会有多余的树脂材料被供应至腔室，以实现预定的均等供应。也不会有在将该树脂材料供应装置配置于腔室上或从该处移除时树脂材料落下的情况，因此不会污染装置周边、或妨碍其正常动作。
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公开(公告)号：CN112706342B
公开(公告)日：2022-12-06
申请号：CN202010799948.3
申请日：2020-08-11
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够在多个位置供给树脂材料的树脂供给机构、树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。本发明的树脂供给机构包括：容器保管部，保管收纳有树脂材料的容器；升降机构，使所述容器保管部中所保管的所述容器上升至规定的上升位置；盖开封机构，将位于所述上升位置的所述容器的盖开封；横向移动机构，使由所述盖开封机构开封的所述容器在横向方向上移动，并使其移动至多个树脂供给位置中的任一位置；以及旋转机构，通过使位于所述树脂供给位置的所述容器旋转，将所述容器中所收纳的树脂材料排出。
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公开(公告)号：CN112706342A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202010799948.3
申请日：2020-08-11
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够在多个位置供给树脂材料的树脂供给机构、树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。本发明的树脂供给机构包括：容器保管部，保管收纳有树脂材料的容器；升降机构，使所述容器保管部中所保管的所述容器上升至规定的上升位置；盖开封机构，将位于所述上升位置的所述容器的盖开封；横向移动机构，使由所述盖开封机构开封的所述容器在横向方向上移动，并使其移动至多个树脂供给位置中的任一位置；以及旋转机构，通过使位于所述树脂供给位置的所述容器旋转，将所述容器中所收纳的树脂材料排出。
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公开(公告)号：CN106239806A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610398725.X
申请日：2016-06-07
Applicant: 东和株式会社
CPC classification number: B29C43/34 , B29C43/18 , B29C2043/181 , H01L21/565
Abstract: 本发明提供一种压缩成形装置的树脂材料供应装置及压缩成形装置，能够将树脂材料均等地供应至腔室、不污染装置周边或妨碍正常动作。在具备具有多个树脂保持狭缝33的上狭缝板31、与用于闭锁及开放该树脂保持狭缝33的下狭缝板32的压缩成形装置的树脂材料供应装置中，在该树脂保持狭缝33之间的横架35的上部不具有平坦部分。在将树脂材料放入树脂保持狭缝33时，在横架35的上部不会载置树脂材料，从而在从树脂保持狭缝33将树脂材料供应至腔室时，不会有多余的树脂材料被供应至腔室，以实现预定的均等供应。也不会有在将该树脂材料供应装置配置于腔室上或从该处移除时树脂材料落下的情况，因此不会污染装置周边、或妨碍其正常动作。
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公开(公告)号：CN106003518A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610128596.2
申请日：2016-03-08
Applicant: 东和株式会社
CPC classification number: B29C43/34 , B29C43/02 , B29C43/3642 , B29C2043/3427 , B29C2043/3477
Abstract: 本发明提供一种压缩成形装置、树脂材料供应方法及装置、压缩成形方法，其能够将树脂材料均等地供应至腔室内。将树脂保持托盘21的具有槽缝状树脂保持部33的上槽缝板31与具有槽缝状开口部34及非开口部35的下槽缝板32重叠，且配置成下槽缝板32的非开口部35覆盖上槽缝板31的树脂保持部33，对该树脂保持部33供应颗粒状树脂。将该树脂保持托盘21配置于压缩成形装置的腔室121上，使下槽缝板32相对于腔室121往与槽缝状树脂保持部33的长边方向垂直的方向移动。由于下槽缝板32的开口部34相对于腔室121移动，因此树脂保持部33的颗粒状树脂被均等地供应至腔室121内。
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