公开(公告)号：CN106024613A

公开(公告)日：2016-10-12

申请号：CN201610176541.9

申请日：2016-03-24

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 白井克昌 ,  望月啓人 ,  石桥幹司

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/78 ,  B28D5/00

CPC classification number: H01L22/20 ,  B26D5/007 ,  B26D7/0006 ,  B26D7/01 ,  H01L21/4853 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/681 ,  H01L21/78 ,  H01L22/12 ,  H01L23/544 ,  H01L24/97 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54486 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012 ,  H01L21/304 ,  B28D5/0005 ,  B28D5/0058

Abstract: 本发明提供一种切断装置和切断方法。切断装置包括：拍摄部件，其通过至少对多个第1标记和多个第3标记进行拍摄而生成第1次图像数据；控制部件，其对由输送机构载置到切断用夹具之上的被切断物和切断用夹具进行对位。控制部件通过对第1位置信息和第3位置信息进行比较，计算出第1次偏移量，第1位置信息由第1标记的位置信息构成，该第3位置信息由基于第3标记的位置信息构成。输送机构从切断用夹具抬起被切断物，基于第1次偏移量使输送机构和切断用夹具相对移动，从而使被切断物移动到与第1次偏移量相对应的第1次目标位置，之后，输送机构将被切断物再次载置于切断用夹具。切断机构沿着多个切断线将再次载置的被切断物切断。

公开(公告)号：CN106024613B

公开(公告)日：2018-11-30

申请号：CN201610176541.9

申请日：2016-03-24

Applicant: 东和株式会社

Inventor： 白井克昌 ,  望月啓人 ,  石桥幹司

IPC: H01L21/304 ,  H01L21/78 ,  B28D5/00

CPC classification number: H01L22/20 ,  B26D5/007 ,  B26D7/0006 ,  B26D7/01 ,  H01L21/4853 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/681 ,  H01L21/78 ,  H01L22/12 ,  H01L23/544 ,  H01L24/97 ,  H01L2223/5442 ,  H01L2223/54426 ,  H01L2223/54486 ,  H01L2924/15311 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/00012

Abstract: 本发明提供一种切断装置和切断方法。切断装置包括：拍摄部件，其通过至少对多个第1标记和多个第3标记进行拍摄而生成第1次图像数据；控制部件，其对由输送机构载置到切断用夹具之上的被切断物和切断用夹具进行对位。控制部件通过对第1位置信息和第3位置信息进行比较，计算出第1次偏移量，第1位置信息由第1标记的位置信息构成，该第3位置信息由基于第3标记的位置信息构成。输送机构从切断用夹具抬起被切断物，基于第1次偏移量使输送机构和切断用夹具相对移动，从而使被切断物移动到与第1次偏移量相对应的第1次目标位置，之后，输送机构将被切断物再次载置于切断用夹具。切断机构沿着多个切断线将再次载置的被切断物切断。