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公开(公告)号:CN115052710B
公开(公告)日:2024-10-29
申请号:CN202180013121.8
申请日:2021-01-20
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种切断装置,不需要使加工工作台移动的移动机构且不需要波纹罩等保护罩,且包括:加工工作台(2A)、加工工作台(2B),对加工对象物(W)加以保持;加工机构(3),一面使用加工液一面利用旋转工具(30)对加工对象物(W)进行加工;以及移动机构(5),使加工机构(3)至少分别在水平面上的XY方向上直线移动,相对于至少固定于XY方向上的加工工作台(2A)、加工工作台(2B)而通过移动机构(5)移动的加工机构(3)对加工对象物(W)进行加工。
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公开(公告)号:CN106024613A
公开(公告)日:2016-10-12
申请号:CN201610176541.9
申请日:2016-03-24
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/78 , B28D5/00
CPC classification number: H01L22/20 , B26D5/007 , B26D7/0006 , B26D7/01 , H01L21/4853 , H01L21/67092 , H01L21/681 , H01L21/78 , H01L22/12 , H01L23/544 , H01L24/97 , H01L2223/5442 , H01L2223/54426 , H01L2223/54486 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/00012 , H01L21/304 , B28D5/0005 , B28D5/0058
Abstract: 本发明提供一种切断装置和切断方法。切断装置包括:拍摄部件,其通过至少对多个第1标记和多个第3标记进行拍摄而生成第1次图像数据;控制部件,其对由输送机构载置到切断用夹具之上的被切断物和切断用夹具进行对位。控制部件通过对第1位置信息和第3位置信息进行比较,计算出第1次偏移量,第1位置信息由第1标记的位置信息构成,该第3位置信息由基于第3标记的位置信息构成。输送机构从切断用夹具抬起被切断物,基于第1次偏移量使输送机构和切断用夹具相对移动,从而使被切断物移动到与第1次偏移量相对应的第1次目标位置,之后,输送机构将被切断物再次载置于切断用夹具。切断机构沿着多个切断线将再次载置的被切断物切断。
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公开(公告)号:CN115052710A
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN202180013121.8
申请日:2021-01-20
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明不需要使加工工作台移动的移动机构且不需要波纹罩等保护罩,且包括:加工工作台2A、加工工作台2B,对加工对象物W加以保持;加工机构3,一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工;以及移动机构5,使加工机构3至少分别在水平面上的XY方向上直线移动,相对于至少固定于XY方向上的加工工作台2A、加工工作台2B而通过移动机构5移动的加工机构3对加工对象物W进行加工。
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公开(公告)号:CN105100560A
公开(公告)日:2015-11-25
申请号:CN201510211965.X
申请日:2015-04-29
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明提供一种电子零件封装体侧面摄影装置,结构简单且能够以高速检查QFN封装体等电子零件封装体。于存在于水平移送的移送路径中的摄影位置P的QFN封装体的侧面外侧斜下方的周围(4边)配置有2面反射棱镜,且于其下方通过远心透镜将CCD照相机配置。QFN封装体来到摄影位置P时,自其侧面的光于2面反射棱镜被反射两次,且往下方方向通过CCD照相机摄影。QFN封装体可于其摄影位置停止,也可不停止而通过。QFN封装体在摄影位置停止而通过的情况,摄影器进行的摄影时间若设定为不使摄影图像产生晃动程度的短时间为佳。由于2面反射棱镜配置于较被移送的QFN封装体为低的位置,QFN封装体能够于移送路径途中摄影,并且不需要使其于垂直方向移动。
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公开(公告)号:CN107210206A
公开(公告)日:2017-09-26
申请号:CN201680008290.1
申请日:2016-01-06
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/56 , H01L23/12
Abstract: 将形成有第1标记(17)的切断用夹具(9)安装于切断用工作台(8)。第1标记(17)与形成于已密封基板(1)的第2标记(4)对应。预先测量第1标记(17)的位置(第1坐标位置)并存储起来。将已密封基板(1)放置在切断用夹具(9)上,测量第2标记的位置(第2坐标位置)。比较第1坐标位置和第2坐标位置,算出已密封基板(1)的偏离量。自切断用夹具(9)提起已密封基板(1),使已密封基板(1)依据偏离量进行移动,将已密封基板(1)再次放置到切断用夹具(9)上。由此,能使已密封基板(1)的切断线的位置与切断用夹具(9)的切断槽的位置准确地对齐,因此能沿位于切断槽上的切断线将已密封基板(1)切断。
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公开(公告)号:CN115052713A
公开(公告)日:2022-09-13
申请号:CN202180012619.2
申请日:2021-01-19
Applicant: 东和株式会社
Abstract: 本发明不需要波纹罩等保护罩并且提高加工屑的回收率,且包括:加工工作台2A、加工工作台2B,至少固定于水平面上的XY方向上,对加工对象物W加以保持;加工机构3,一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工;移动机构5,使加工机构3至少分别在水平面上的XY方向上直线移动;以及加工屑收容部9,设置于加工工作台2A、加工工作台2B的下方,收容通过利用加工机构3的加工而产生的加工屑S。
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公开(公告)号:CN107210206B
公开(公告)日:2020-09-22
申请号:CN201680008290.1
申请日:2016-01-06
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/56 , H01L23/12
Abstract: 将形成有第1标记(17)的切断用夹具(9)安装于切断用工作台(8)。第1标记(17)与形成于已密封基板(1)的第2标记(4)对应。预先测量第1标记(17)的位置(第1坐标位置)并存储起来。将已密封基板(1)放置在切断用夹具(9)上,测量第2标记的位置(第2坐标位置)。比较第1坐标位置和第2坐标位置,算出已密封基板(1)的偏离量。自切断用夹具(9)提起已密封基板(1),使已密封基板(1)依据偏离量进行移动,将已密封基板(1)再次放置到切断用夹具(9)上。由此,能使已密封基板(1)的切断线的位置与切断用夹具(9)的切断槽的位置准确地对齐,因此能沿位于切断槽上的切断线将已密封基板(1)切断。
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公开(公告)号:CN106024613B
公开(公告)日:2018-11-30
申请号:CN201610176541.9
申请日:2016-03-24
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/78 , B28D5/00
CPC classification number: H01L22/20 , B26D5/007 , B26D7/0006 , B26D7/01 , H01L21/4853 , H01L21/67092 , H01L21/681 , H01L21/78 , H01L22/12 , H01L23/544 , H01L24/97 , H01L2223/5442 , H01L2223/54426 , H01L2223/54486 , H01L2924/15311 , H01L2924/181 , H01L2924/00012
Abstract: 本发明提供一种切断装置和切断方法。切断装置包括:拍摄部件,其通过至少对多个第1标记和多个第3标记进行拍摄而生成第1次图像数据;控制部件,其对由输送机构载置到切断用夹具之上的被切断物和切断用夹具进行对位。控制部件通过对第1位置信息和第3位置信息进行比较,计算出第1次偏移量,第1位置信息由第1标记的位置信息构成,该第3位置信息由基于第3标记的位置信息构成。输送机构从切断用夹具抬起被切断物,基于第1次偏移量使输送机构和切断用夹具相对移动,从而使被切断物移动到与第1次偏移量相对应的第1次目标位置,之后,输送机构将被切断物再次载置于切断用夹具。切断机构沿着多个切断线将再次载置的被切断物切断。
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