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公开(公告)号:CN117716473A
公开(公告)日:2024-03-15
申请号:CN202280051105.2
申请日:2022-05-30
Applicant: 东和株式会社
IPC: H01L21/301 , H01L21/66
Abstract: 根据本发明的某一方面的校准方法是切断装置中所包含的照相机的校准方法。切断装置构成为:通过切断封装基板来制造电子部件,并基于第一图像数据进行电子部件的外观检查。第一图像数据通过用照相机拍摄配置于工作台的电子部件而生成。校准方法包括:用照相机拍摄配置于工作台的校准用板,生成第二图像数据的步骤;在进行照相机的校准之前,基于第二图像数据计算校准用板和照相机之间的相对倾斜的步骤;以及在计算出相对倾斜之后进行上述校准的步骤。