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公开(公告)号：CN102667525B
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201080052460.9
申请日：2010-12-15
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子管器件株式会社
CPC classification number: G01T1/2018 , G21K4/00 , H01L27/14676 , H01L31/0203 , H01L31/02322
Abstract: 本发明提供一种能改善具有光电转换元件的阵列基板与闪烁体层的密合力、不易发生由闪烁体层的剥离引起的特性劣化、可靠性高的放射线检测器。放射线检测器(11)包括：阵列基板(12)，该阵列基板(12)在基板上具有将荧光转换成电信号的光电转换元件(21)，并且在基板的最表层形成有保护膜(26)；基于CsI的闪烁体层(13)，该闪烁体层(13)设置于保护膜(26)上，将入射的放射线转换成荧光；反射层(14)，该反射层(14)设置于闪烁体层(13)上，使来自闪烁体层(13)的荧光向阵列基板(12)侧反射；其特征在于，由作为热塑性树脂的丙烯酸类有机树脂材料形成保护膜(26)。
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公开(公告)号：CN107533148A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680025097.9
申请日：2016-06-08
Applicant: 东芝电子管器件株式会社
Inventor： 榛叶勇一
IPC: G01T7/00 , H01L27/14 , H01L27/144 , H04N5/32 , H04N5/369
Abstract: 实施方式的阵列基板包括：具有朝第一方向延伸的第一边和朝与上述第一方向交叉的第二方向延伸第二边的基板；设于上述基板并朝上述第一方向延伸的多个控制线；设于上述基板并朝上述第二方向延伸的多个数据线；分别设于由多个上述控制线和多个上述数据线划分出的多个区域的光电转换部；设于上述基板的上述第二边侧的周缘区域、并设有多个与上述控制线电连接的第一布线焊盘的第一区域；以及设于上述基板的上述第一边侧的周缘区域、并设有多个与上述数据线电连接的第二布线焊盘的第二区域。上述阵列基板是如下两种情况中至少任一种，其中：上述第一区域的朝上述第一方向延伸的中心线与上述第一边之间的距离比包含多个上述控制线的区域的朝上述第一方向延伸的中心线与上述第一边之间的距离长，而多个上述控制线与设于上述第一区域的多个上述第一布线焊盘电连接；上述第二区域的朝上述第二方向延伸的中心线与上述第二边之间的距离比包含多个上述数据线的区域的朝上述第二方向延伸的中心线与上述第二边之间的距离长，而多个上述数据线与设于上述第二区域的多个上述第二布线焊盘电连接。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103814412A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201280045409.4
申请日：2012-12-06
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子管器件株式会社
CPC classification number: G01T1/20 , C23C14/0694 , C23C14/225 , C23C14/24 , C23C14/505 , G01T1/202
Abstract: 本发明的放射线检测面板的制造方法在蒸发源的正上方侧将光电转换基板配置成处于光电转换基板(21)的蒸镀面从蒸发源露出并相对于垂直轴倾斜的状态。通过蒸发源，使闪烁材料蒸发并将其向正上方辐射，使闪烁材料蒸镀于上述蒸镀面上，形成荧光体膜。
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公开(公告)号：CN103814412B
公开(公告)日：2016-09-07
申请号：CN201280045409.4
申请日：2012-12-06
Applicant: 东芝电子管器件株式会社
CPC classification number: G01T1/20 , C23C14/0694 , C23C14/225 , C23C14/24 , C23C14/505 , G01T1/202
Abstract: 本发明的放射线检测面板的制造方法在蒸发源的正上方侧将光电转换基板配置成处于光电转换基板(21)的蒸镀面从蒸发源露出并相对于垂直轴倾斜的状态。通过蒸发源，使闪烁材料蒸发并将其向正上方辐射，使闪烁材料蒸镀于上述蒸镀面上，形成荧光体膜。
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公开(公告)号：CN102667525A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080052460.9
申请日：2010-12-15
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子管器件株式会社
CPC classification number: G01T1/2018 , G21K4/00 , H01L27/14676 , H01L31/0203 , H01L31/02322
Abstract: 本发明提供一种能改善具有光电转换元件的阵列基板与闪烁体层的密合力、不易发生由闪烁体层的剥离引起的特性劣化、可靠性高的放射线检测器。放射线检测器(11)包括：阵列基板(12)，该阵列基板(12)在基板上具有将荧光转换成电信号的光电转换元件(21)，并且在基板的最表层形成有保护膜(26)；基于CsI的闪烁体层(13)，该闪烁体层(13)设置于保护膜(26)上，将入射的放射线转换成荧光；反射层(14)，该反射层(14)设置于闪烁体层(13)上，使来自闪烁体层(13)的荧光向阵列基板(12)侧反射；其特征在于，由作为热塑性树脂的丙烯酸类有机树脂材料形成保护膜(26)。
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公开(公告)号：CN105474395B
公开(公告)日：2018-06-12
申请号：CN201480045869.6
申请日：2014-08-25
Applicant: 东芝电子管器件株式会社
IPC: H01L27/146 , G01T1/20 , G01T7/00 , H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L21/822 , H01L23/522 , H01L27/04 , H01L27/144 , H01L29/786 , H01L31/10 , H04N5/32
CPC classification number: H01L27/124 , H01L27/1446 , H01L27/14603 , H01L27/14612 , H01L27/14636 , H01L27/14663
Abstract: 根据本实施例，一种阵列基板包括：基板；多个第一配线，设置在该基板的表面上并沿第一方向延伸；多个第二配线，设置在该基板的表面上并沿与该第一方向交叉的第二方向延伸；薄膜晶体管，设置在由该多个第一配线和该多个第二配线所限定的多个区域中的每一个中；保护层，至少覆盖该多个第一配线和该多个第二配线；以及多个连接部，设置在以下区域中的至少一个中：该保护层上的区域、该多个第一配线与该基板之间的区域以及该多个第二配线与该基板之间的区域，这些连接部与该多个第一配线和该多个第二配线中的每一个电连接并包含比该多个第一配线和该多个第二配线的材料具有更高抗蚀性的导电材料。该多个第一配线和该多个第二配线在该基板的外围侧上的端面覆盖有该保护层，并且该连接部在基板的外围侧上的端面在平面视角上位于该基板的外围。
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公开(公告)号：CN105474395A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201480045869.6
申请日：2014-08-25
Applicant: 株式会社东芝 , 东芝电子管器件株式会社
IPC: H01L27/146 , G01T1/20 , G01T7/00 , H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L21/822 , H01L23/522 , H01L27/04 , H01L27/144 , H01L29/786 , H01L31/10 , H04N5/32
CPC classification number: H01L27/124 , H01L27/1446 , H01L27/14603 , H01L27/14612 , H01L27/14636 , H01L27/14663
Abstract: 根据本实施例，一种阵列基板包括：基板；多个第一配线，设置在该基板的表面上并沿第一方向延伸；多个第二配线，设置在该基板的表面上并沿与该第一方向交叉的第二方向延伸；薄膜晶体管，设置在由该多个第一配线和该多个第二配线所限定的多个区域中的每一个中；保护层，至少覆盖该多个第一配线和该多个第二配线；以及多个连接部，设置在以下区域中的至少一个中：该保护层上的区域、该多个第一配线与该基板之间的区域以及该多个第二配线与该基板之间的区域，这些连接部与该多个第一配线和该多个第二配线中的每一个电连接并包含比该多个第一配线和该多个第二配线的材料具有更高抗蚀性的导电材料。该多个第一配线和该多个第二配线在该基板的外围侧上的端面覆盖有该保护层，并且该连接部在基板的外围侧上的端面在平面视角上位于该基板的外围。
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