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发明公开
X射线源和荧光X射线分析装置无效

公开(公告)号：CN101310359A

公开(公告)日：2008-11-19

申请号：CN200780000164.2

申请日：2007-02-01

Applicant: 东芝电子管器件株式会社

Inventor： 青木延忠 , 角谷晶子

IPC: H01J35/08 , G01N23/223 , H01J35/10 , H01J35/18 , H01J35/26

Abstract: 设置叠在主靶(18)上的副靶(19)。电子枪(14)产生的电子束(15)入射到主靶(18)，主靶(18)使连续X射线(20)穿透并放射。副靶(19)使主靶(18)放射的连续X射线(20)激励的特性X射线(21)穿透并放射。将主靶(18)和副靶(19)叠置，使主靶(18)放射的连续X射线(20)高效率地激励副靶(19)，高效率地产生特性X射线(21)。

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