公开(公告)号：CN105782697B

公开(公告)日：2017-11-07

申请号：CN201610295187.1

申请日：2016-05-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  吴景 ,  郭戌瑞 ,  仇彦男 ,  张日欣 ,  张增磊 ,  薛日辉 ,  杜嘉丽

IPC: F16P7/00 ,  B81B7/00

Abstract: 本发明涉及MEMS 器件的过载保护技术，具体是一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构及保护方法。本发明解决了现有MEMS 器件的过载保护方法容易影响MEMS器件的正常工作、容易导致MEMS器件发生结构损坏的问题。一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构，包括质量块、锚块部分、支撑梁部分、吸能梁部分；所述锚块部分包括两个前锚块、两个后锚块、两个左锚块、两个右锚块；所述支撑梁部分包括两个Ω字形前支撑梁、两个Ω字形后支撑梁；所述吸能梁部分包括两个左吸能梁、两个右吸能梁、四个断裂点。本发明适用于MEMS 器件的过载保护。

公开(公告)号：CN105782697A

公开(公告)日：2016-07-20

申请号：CN201610295187.1

申请日：2016-05-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 曹慧亮 ,  吴景 ,  郭戌瑞 ,  仇彦男 ,  张日欣 ,  张增磊 ,  薛日辉 ,  杜嘉丽

IPC: F16P7/00 ,  B81B7/00

CPC classification number: F16P7/00 ,  B81B7/0016

Abstract: 本发明涉及MEMS器件的过载保护技术，具体是一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构及保护方法。本发明解决了现有MEMS器件的过载保护方法容易影响MEMS器件的正常工作、容易导致MEMS器件发生结构损坏的问题。一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构，包括质量块、锚块部分、支撑梁部分、吸能梁部分；所述锚块部分包括两个前锚块、两个后锚块、两个左锚块、两个右锚块；所述支撑梁部分包括两个Ω字形前支撑梁、两个Ω字形后支撑梁；所述吸能梁部分包括两个左吸能梁、两个右吸能梁、四个断裂点。本发明适用于MEMS器件的过载保护。

公开(公告)号：CN205592628U

公开(公告)日：2016-09-21

申请号：CN201620402899.4

申请日：2016-05-06

Applicant: 中北大学

Inventor： 张志东 ,  曹慧亮 ,  吴景 ,  郭戌瑞 ,  仇彦男 ,  张日欣 ,  张增磊 ,  薛日辉 ,  杜嘉丽

IPC: F16P7/00 ,  B81B7/00

Abstract: 本实用新型涉及MEMS器件的过载保护技术，具体是一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构。本实用新型解决了现有MEMS器件的过载保护方法容易影响MEMS器件的正常工作、容易导致MEMS器件发生结构损坏的问题。一种适用于高过载环境的MEMS器件激活机构，包括质量块、锚块部分、支撑梁部分、吸能梁部分；所述锚块部分包括两个前锚块、两个后锚块、两个左锚块、两个右锚块；所述支撑梁部分包括两个Ω字形前支撑梁、两个Ω字形后支撑梁；所述吸能梁部分包括两个左吸能梁、两个右吸能梁、四个断裂点。本实用新型适用于MEMS器件的过载保护。