公开(公告)号：CN108896458A

公开(公告)日：2018-11-27

申请号：CN201810480421.7

申请日：2018-05-18

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  包宇洋 ,  于海涛 ,  蔡晟然

IPC: G01N15/06

Abstract: 本发明提供一种微传感器、制备及其使用方法，通过微传感器的进气口及位于空腔内部的具有特定间隙大小的微过滤栅，能够筛选并捕获待测气体中特定直径范围内的微颗粒物，并通过谐振式微悬臂梁测量捕获的微颗粒物的质量，从而获得微颗粒物浓度等环境信息；设备体积小，便于现场分析、适用范围广，能有效捕获待测气体中微米级及亚微米级杂质微粒。

公开(公告)号：CN108896458B

公开(公告)日：2020-10-27

申请号：CN201810480421.7

申请日：2018-05-18

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 李昕欣 ,  包宇洋 ,  于海涛 ,  蔡晟然

IPC: G01N15/06

Abstract: 本发明提供一种微传感器、制备及其使用方法，通过微传感器的进气口及位于空腔内部的具有特定间隙大小的微过滤栅，能够筛选并捕获待测气体中特定直径范围内的微颗粒物，并通过谐振式微悬臂梁测量捕获的微颗粒物的质量，从而获得微颗粒物浓度等环境信息；设备体积小，便于现场分析、适用范围广，能有效捕获待测气体中微米级及亚微米级杂质微粒。