公开(公告)号：CN115665959A

公开(公告)日：2023-01-31

申请号：CN202211392798.X

申请日：2022-11-08

Applicant: 中国计量大学

Inventor： 陈义 ,  周练 ,  石岩 ,  赵天琦 ,  金尚忠 ,  占春连 ,  王乐

IPC: H05H1/24 ,  H01J61/02 ,  H01J61/16 ,  H01J61/28 ,  H01J65/04

Abstract: 本发明提供了一种反馈式激光驱动等离子体光源装置和获取方法。所述装置包括：灯室、透镜组件、电动三维可变光阑、探测器和光源输出端；灯室内设置激光维持的等离子体光源，等离子体光源输出的光束经过灯室的出射窗口输出；再经过透镜组件汇聚至电动三维可变光阑的小孔位置，并通过电动三维可变光阑的小孔出射；电动三维可变光阑的出射光束照射在探测器；探测器的反馈信号端与电动三维可变光阑的电控端相连，电动三维可变光阑根据探测器的反馈信号调整光阑的位置和孔径；当光阑的位置和孔径调整结束时，电动三维可变光阑的出射光束从光源输出端射出。本发明可以提高等离子体光源发光的稳定性和亮度。