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公开(公告)号：CN105371752A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：CN201510808524.8
申请日：2015-11-19
Applicant: 中国计量学院
Abstract: 本发明涉及一种条纹对比度可调的偏振型米勒干涉装置及测量方法。偏振型米勒干涉装置包括依次从上到下设置的CCD探测器、成像透镜、检偏器、四分之一波片、分光板、显微物镜、参考反射镜和纳米线栅偏振器及依次从右到左设置在分光板右侧的偏振激光器、偏振器和准直扩束系统。测量方法为：以45°旋转步长、沿同一方向对检偏器的透光轴进行5次旋转，在CCD探测器上得到5幅相位分别相差90°的移相干涉条纹图，再利用五步移相算法即可实现测量；调节偏振器的透光轴方向即可实现条纹对比度的调节。本发明能方便地调节条纹对比度，有效解决纳米线栅偏振器反射光消光比低而导致的移相干涉条纹对比度不一致问题，满足低反射率待测样品的高精度测量。
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公开(公告)号：CN105527027A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201610008014.7
申请日：2016-01-05
Applicant: 中国计量学院
IPC: G01J9/02
CPC classification number: G01J9/0215 , G01J2009/0223 , G01J2009/0242
Abstract: 本发明涉及一种亚微米孔径光纤点衍射波前测量的结构误差校正方法，通过无成像镜头的CCD探测器获取原始剪切波前数据，利用三维坐标重构对剪切波面数据进行预校正，再获取180度旋转测量探头后的预校正数据，将二者叠加，消除两点衍射源偏移引入的结构误差，得到真实剪切波面数据，再根据差分泽尼克多项式拟合方法拟合得到待测的亚微米孔径光纤点衍射波前，实现亚微米孔径光纤点衍射波前的高精度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104330039A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201410510257.1
申请日：2014-09-28
Applicant: 中国计量学院
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明提供一种用于三坐标测量的大数值孔径光纤点衍射干涉装置及方法，涉及光学测量。激光器发出光经过偏振分光棱镜分成透射光和反射光，透射光在亚波长孔径光纤出射端产生点衍射球面波前W2，反射光经过移动的反射镜反射后在亚波长孔径光纤出射端产生点衍射球面波前W1，CCD探测器采集W1和W2干涉条纹，通过多步移相和L-M算法的二重迭代算法实现被测目标的三维坐标的测量。本发明解决现有技术三坐标测量点衍射干涉仪难以同时实现大数值孔径和高能量的衍射球面波前问题。有益效果：两个亚波长孔径光纤的探针作为测量探头，获得高亮度和大数值孔径的点衍射球面波前降低感光灵敏度的要求，扩大三坐标测量的光纤点衍射干涉系统测量范围。
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公开(公告)号：CN105371752B
公开(公告)日：2017-12-08
申请号：CN201510808524.8
申请日：2015-11-19
Applicant: 中国计量学院
Abstract: 本发明涉及一种条纹对比度可调的偏振型米勒干涉装置及测量方法。偏振型米勒干涉装置包括依次从上到下设置的CCD探测器、成像透镜、检偏器、四分之一波片、分光板、显微物镜、参考反射镜和纳米线栅偏振器及依次从右到左设置在分光板右侧的偏振激光器、偏振器和准直扩束系统。测量方法为：以45°旋转步长、沿同一方向对检偏器的透光轴进行5次旋转，在CCD探测器上得到5幅相位分别相差90°的移相干涉条纹图，再利用五步移相算法即可实现测量；调节偏振器的透光轴方向即可实现条纹对比度的调节。本发明能方便地调节条纹对比度，有效解决纳米线栅偏振器反射光消光比低而导致的移相干涉条纹对比度不一致问题，满足低反射率待测样品的高精度测量。
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公开(公告)号：CN104330039B
公开(公告)日：2017-09-19
申请号：CN201410510257.1
申请日：2014-09-28
Applicant: 中国计量学院
IPC: G01B11/03
Abstract: 本发明提供一种用于三坐标测量的大数值孔径光纤点衍射干涉装置及方法，涉及光学测量。激光器发出光经过偏振分光棱镜分成透射光和反射光，透射光在亚波长孔径光纤出射端产生点衍射球面波前W2，反射光经过移动的反射镜反射后在亚波长孔径光纤出射端产生点衍射球面波前W1，CCD探测器采集W1和W2干涉条纹，通过多步移相和L‑M算法的二重迭代算法实现被测目标的三维坐标的测量。本发明解决现有技术三坐标测量点衍射干涉仪难以同时实现大数值孔径和高能量的衍射球面波前问题。有益效果：两个亚波长孔径光纤的探针作为测量探头，获得高亮度和大数值孔径的点衍射球面波前降低感光灵敏度的要求，扩大三坐标测量的光纤点衍射干涉系统测量范围。
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