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公开(公告)号：CN111512418A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201880083226.9
申请日：2018-12-14
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304 , C09K3/18 , G03F7/32 , H01L21/027
Abstract: 本发明提供一种在配液时能够以短时间溶解原料且能够表现出优异拒水性赋予效果的表面处理剂、以及使用该表面处理剂来制造表面处理体的方法。本发明的表面处理剂是被处理体的表面处理中使用的表面处理剂，其包含：(I)下述通式[1]、[2]和[3]所示的硅化合物之中的至少1种；(II)下述通式[4]所示的含氮杂环化合物、下述通式[5]所示的含氮杂环化合物和咪唑之中的至少1种；以及(III)有机溶剂。(R1)a(H)bSi[N(R2)C(＝O)R3]4-a-b[1](R4)c(H)dSi[OC(＝O)R5]4-c-d[2](R6)e(H)fSi[OC(R7)＝NSi(R8)g(H)3-g]4-e-f[3]
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公开(公告)号：CN103283004B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201180063349.4
申请日：2011-12-20
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/02057 , C11D3/162 , C11D11/0047
Abstract: [课题]提供在表面具有凹凸图案的晶片的制造方法中用于改善容易诱发图案倾塌的清洗工序的清洗方法。[解决方法]所述清洗方法是表面具有凹凸图案的晶片的清洗方法，其至少具有以下工序：用清洗液(8)清洗上述晶片(1)的工序；用拒水性化学溶液(9)置换在清洗后保持于晶片(1)的凹部(4)的清洗液(8)的工序；干燥晶片(1)的工序，上述清洗液(8)包含80质量%以上的沸点为55～200℃的溶剂，通过使上述置换的工序中供给的拒水性化学溶液(9)的温度为40℃以上且低于该拒水性化学溶液(9)的沸点，从而至少使上述凹部表面拒水化。
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公开(公告)号：CN103283004A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201180063349.4
申请日：2011-12-20
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/02057 , C11D3/162 , C11D11/0047
Abstract: [课题]提供在表面具有凹凸图案的晶片的制造方法中用于改善容易诱发图案倾塌的清洗工序的清洗方法。[解决方法]所述清洗方法是表面具有凹凸图案的晶片的清洗方法，其至少具有以下工序：用清洗液(8)清洗上述晶片(1)的工序；用拒水性化学溶液(9)置换在清洗后保持于晶片(1)的凹部(4)的清洗液(8)的工序；干燥晶片(1)的工序，上述清洗液(8)包含80质量%以上的沸点为55～200℃的溶剂，通过使上述置换的工序中供给的拒水性化学溶液(9)的温度为40℃以上且低于该拒水性化学溶液(9)的沸点，从而至少使上述凹部表面拒水化。
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公开(公告)号：CN101489947A
公开(公告)日：2009-07-22
申请号：CN200780027552.X
申请日：2007-08-22
Applicant: 中央硝子株式会社
CPC classification number: C09D183/06 , C03C1/008 , C03C17/008 , C03C17/009 , C03C2217/213 , C03C2217/231 , C03C2217/445 , C03C2217/475 , C03C2217/476 , C03C2217/485 , C03C2217/948 , C03C2218/113 , C08L83/04 , C09D1/00 , C09D5/004 , C09D5/24 , C09D183/04 , Y10T428/256 , Y10T428/259 , Y10T428/265 , Y10T428/31612
Abstract: [问题]开发热射线屏蔽玻璃，该热射线屏蔽玻璃显示可用于具有升降功能的车辆玻璃的膜强度，不会产生由于升降运动造成的摩擦而引起的异常噪音。[解决问题的方法]车辆用热射线屏蔽玻璃为包含车辆玻璃和叠置在其至少一个主表面的包含导电性氧化物超细颗粒和二氧化硅粘结剂的热射线屏蔽膜，其中所述二氧化硅粘结剂由通过四烷氧基硅烷和三烷氧基硅烷的水解和缩聚产生的固成分组成，且其中由所述四烷氧基硅烷产生的固成分和由所述三烷氧基硅烷产生的固成分的重量比在55∶45至85∶15的范围内，且其中导电性氧化物超细颗粒与二氧化硅粘结剂的重量比在35∶65至70∶30的范围内。
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公开(公告)号：CN113169060B
公开(公告)日：2025-04-01
申请号：CN201980076584.1
申请日：2019-10-21
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304 , H01L21/312
Abstract: 本发明的倒角部处理剂组合物为用于对晶圆的倒角部进行处理的、含有甲硅烷基化剂的倒角部处理剂组合物，具有按照规定的步骤测得的表面改质指标Y与表面改质指标Z满足0.5≤Y/Z≤1.0的特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111630633B
公开(公告)日：2023-09-19
申请号：CN201880086426.X
申请日：2018-12-26
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种能够进一步改善拒水性赋予效果的拒水性保护膜形成用化学溶液。本发明的拒水性保护膜形成用化学溶液具有(I)下述通式[1]所示的氨基硅烷化合物、(II)下述通式[2]所示的硅化合物和(III)非质子性溶剂，(I)的含量相对于(I)～(III)的总量为0.02～0.5质量％。
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公开(公告)号：CN114762087A
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：CN202080082684.8
申请日：2020-11-11
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304
Abstract: 提供一种保护膜形成用化学溶液以及晶圆的清洗方法，所述保护膜形成用化学溶液用于晶圆的表面处理，所述晶圆在表面具有凹凸图案、且前述凹凸图案的至少一部分包含选自由Si元素及金属元素组成的组中的至少1者，前述保护膜形成用化学溶液包含保护膜形成剂和具有氟原子的溶剂，前述保护膜形成剂为特定的化合物。
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公开(公告)号：CN113574639A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202080021628.3
申请日：2020-03-17
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明的凹凸图案干燥用组合物包含升华性物质、及1大气压下的沸点比升华性物质的沸点或升华点低5℃以上且1大气压下的沸点为75℃以下的溶剂。
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公开(公告)号：CN107078041A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580050387.4
申请日：2015-09-11
Applicant: 中央硝子株式会社
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明提供在使用含有氯乙烯树脂作为液体接触构件的晶圆的清洗装置的晶圆的清洗中，在晶圆的凹凸图案表面形成拒水性保护膜而不使上述氯乙烯树脂劣化的拒水性保护膜形成用化学溶液、及使用该化学溶液的晶圆的清洗方法。一种晶圆的清洗方法，其是利用含有氯乙烯树脂作为液体接触构件的晶圆的清洗装置对表面具有微细的凹凸图案且该凹凸图案的至少一部分含有硅元素的晶圆进行清洗的方法，其中，将拒水性保护膜形成用化学溶液保持在前述凹凸图案的至少凹部，从而在该凹部表面形成拒水性保护膜，所述拒水性保护膜形成用化学溶液包含下述通式[1]所示的单烷氧基硅烷、下述通式[2]所示的磺酸、及稀释溶剂，该稀释溶剂相对于稀释溶剂的总量100质量％包含80～100质量％的醇。(R1)aSi(H)3‑a(OR2) [1][式[1]中，R1各自独立地为选自一部分或全部的氢元素任选被氟元素取代的碳数1～18的一价烃基中的至少1种基团，R2为一部分或全部的氢元素任选被氟元素取代的碳数1～18的一价烃基，a为1～3的整数。]R3‑S(＝O)2OH [2][式[2]中，R3为选自由一部分或全部的氢元素任选被氟元素取代的碳数1～8的一价烃基、及羟基组成的组中的基团。]。
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公开(公告)号：CN104176393A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410214947.2
申请日：2014-05-20
Applicant: 中央硝子株式会社
CPC classification number: B65B31/00 , H01L21/67017
Abstract: 本发明提供一种即使在长时间保管保护膜形成用化学溶液、用于配制该化学溶液的保护膜形成用化学溶液组合试剂后，也能够确保该化学溶液或该化学溶液组合试剂等液体的洁净性，且能够抑制该液体的带电的加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法。一种加压输送容器，其特征在于，其为以保管保护膜形成用化学溶液或保护膜形成用化学溶液组合试剂、且能够通过对内部进行加压来移液的方式构成的加压输送容器，所述保护膜形成用化学溶液用于在表面具有凹凸图案且该凹凸图案的至少一部分包含硅元素的晶圆的该凹凸图案的至少凹部表面形成拒水性保护膜，所述保护膜形成用化学溶液组合试剂通过混合而形成上述保护膜形成用化学溶液。
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