掩蔽工具、掩蔽工具单元、喷镀方法

    公开(公告)号:CN115704080A

    公开(公告)日:2023-02-17

    申请号:CN202210886624.2

    申请日:2022-07-26

    Inventor: 植松聪

    Abstract: 本发明涉及掩蔽工具、掩蔽工具单元以及喷镀方法。使用于对于被喷镀体的喷镀的掩蔽工具具备:第一面,用于与被喷镀体相对;第二面,处于与第一面相反的一侧;工具贯通孔,从第一面贯通至第二面;以及支承凸部,设于第一面中与被喷镀体重叠的位置,从第一面突出,并且用于对被喷镀体进行支承。

    掩蔽工具、掩蔽工具单元、喷镀方法

    公开(公告)号:CN115704080B

    公开(公告)日:2025-03-21

    申请号:CN202210886624.2

    申请日:2022-07-26

    Inventor: 植松聪

    Abstract: 本发明涉及掩蔽工具、掩蔽工具单元以及喷镀方法。使用于对于被喷镀体的喷镀的掩蔽工具具备:第一面,用于与被喷镀体相对;第二面,处于与第一面相反的一侧;工具贯通孔,从第一面贯通至第二面;以及支承凸部,设于第一面中与被喷镀体重叠的位置,从第一面突出,并且用于对被喷镀体进行支承。

    喷镀方法、被喷镀体单元

    公开(公告)号:CN115323306B

    公开(公告)日:2024-03-22

    申请号:CN202210396509.7

    申请日:2022-04-15

    Inventor: 植松聪

    Abstract: 本发明涉及喷镀方法、被喷镀体单元。用于向被喷镀部件进行喷镀的喷镀方法具备:准备具有掩模贯通孔的掩模部件、被喷镀部件、具有工具贯通孔的掩蔽工具的工序;以掩模贯通孔和工具贯通孔重合的方式将掩模部件配置于掩蔽工具的表面的工序;将被喷镀部件配置于掩蔽工具的背面的工序;以及将喷镀材料从掩模贯通孔朝向被喷镀部件喷镀的工序。

    喷镀方法、被喷镀体单元

    公开(公告)号:CN115323306A

    公开(公告)日:2022-11-11

    申请号:CN202210396509.7

    申请日:2022-04-15

    Inventor: 植松聪

    Abstract: 本发明涉及喷镀方法、被喷镀体单元。用于向被喷镀部件进行喷镀的喷镀方法具备:准备具有掩模贯通孔的掩模部件、被喷镀部件、具有工具贯通孔的掩蔽工具的工序;以掩模贯通孔和工具贯通孔重合的方式将掩模部件配置于掩蔽工具的表面的工序;将被喷镀部件配置于掩蔽工具的背面的工序;以及将喷镀材料从掩模贯通孔朝向被喷镀部件喷镀的工序。

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