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公开(公告)号:CN101548174B
公开(公告)日:2012-07-18
申请号:CN200880000873.5
申请日:2008-02-19
CPC classification number: G01N21/3563 , G01N21/314 , G01N21/94 , G01N2021/3174 , G01N2021/945 , G01N2201/0221
Abstract: 装置1包括泛光灯单元20、接收器单元30以及处理单元40。泛光灯单元20将红外光施加到工件50的表面,并且包括面光源21和聚焦透镜23。接收器单元30接收从工件50的表面反射的红外光,并且包括接收器传感器31和滤光器33,该滤光器33透过具有该表面上的污染物51吸收的波长的红外光。处理单元40根据从该表面反射的红外光的吸光度来评估工件50的表面的清洁度。并且将来自该表面的反射红外光的接收区域Rb设定为小于施加到该表面的红外光的施加区域Ra。
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公开(公告)号:CN101548174A
公开(公告)日:2009-09-30
申请号:CN200880000873.5
申请日:2008-02-19
CPC classification number: G01N21/3563 , G01N21/314 , G01N21/94 , G01N2021/3174 , G01N2021/945 , G01N2201/0221
Abstract: 装置1包括泛光灯单元20、接收器单元30以及处理单元40。泛光灯单元20将红外光施加到工件50的表面,并且包括面光源21和聚焦透镜23。接收器单元30接收从工件50的表面反射的红外光,并且包括接收器传感器31和滤光器33,该滤光器33透过具有该表面上的污染物51吸收的波长的红外光。处理单元40根据从该表面反射的红外光的吸光度来评估工件50的表面的清洁度。并且将来自该表面的反射红外光的接收区域Rb设定为小于施加到该表面的红外光的施加区域Ra。
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