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公开(公告)号：CN103155113B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201180036016.2
申请日：2011-07-21
Applicant: 仓敷纺织株式会社 , 株式会社化学工艺技术
IPC: H01L21/306 , H01L21/308
CPC classification number: B44C1/227 , H01L21/31111 , H01L21/67057 , H01L21/67086 , H01L21/67109
Abstract: 提供一种由于能够直接检测处理液的浓度，因而能够几乎不受处理液温度影响地进行独立的浓度控制，从而能够精度良好地对基板进行药液处理的基板处理装置。在将基板浸渍在将药液和稀释液混合而成的处理液中进行处理的基板处理装置中，包括：处理槽（1），贮留处理液；加热单元（2、3），加热处理液；温度检测单元（4），检测处理液的温度；温度控制单元（5），操作所述加热单元（2、3）以使检测温度接近设定温度；补充单元（6），将稀释液补充到处理液中；浓度检测单元（7），通过测量处理液的吸光特性来检测处理液的浓度；以及浓度控制单元（8），操作所述补充单元（6）以使检测浓度接近设定浓度。
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公开(公告)号：CN102969257B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201210311001.9
申请日：2012-08-28
Applicant: 仓敷纺织株式会社 , 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L21/67 , H01L21/306
CPC classification number: H01L21/67086 , G01N21/3577 , H01L21/31111 , H01L21/67248 , H01L21/67253
Abstract: 本发明提供一种基板处理装置，由于可直接检测处理液的浓度，所以能够进行独立的浓度控制，且由于不易产生因透镜温度变化引起的测定误差，因此能够高精度地进行基板的药液处理。一种在由磷酸和稀释液混合而成的处理液中浸渍基板而进行处理的基板处理装置，具备通过测定处理液的吸光特性而检测处理液浓度的浓度检测单元，浓度检测单元具备：透光部，将处理液导入内部并使之在内部流通；发光部，向透光部照射规定波长的光；受光部，通过透光部接收来自发光部的光；第一透镜，将由发光部发出的光汇聚于透光部；第二透镜，将通过透光部的光汇聚于受光部；和冷却机构，冷却第一透镜和第二透镜中的至少任一个。
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公开(公告)号：CN103674872A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201310055358.X
申请日：2013-02-21
Applicant: 仓敷纺织株式会社
IPC: G01N21/33
CPC classification number: G01N21/61 , G01N21/636 , G01N21/75 , G01N2021/755 , Y10T436/203332
Abstract: 本申请提供一种无需添加添加剂，且能够在线直接测定高级氧化活性物种的浓度的高级氧化活性物种的浓度测定方法以及浓度测定装置。一种高级氧化活性物种的浓度测定方法，包括：测定样品的包括波长195~205nm的波长区域的吸光特性的工序；以及基于包括波长195~205nm的波长区域中的高级氧化活性物种的吸光系数，根据测定的所述吸光特性求出高级氧化活性物种的浓度的工序。
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公开(公告)号：CN102159935B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN200980137054.X
申请日：2009-08-31
Applicant: 仓敷纺织株式会社
CPC classification number: G01N21/8507 , G01N21/03 , G01N21/05 , G01N21/15 , G01N21/1702 , G01N21/5907 , G01N2021/152 , G01N2201/0639
Abstract: 本发明提供一种从送液管外部稳定地计测输送液体的送液管内的液体浓度的液体浓度计。该液体浓度计具备：送液管(14、16)，其输送液体；光透射部(15)，其设置在送液管(14、16)的中途；投射部(9、22)，其向光透射部(15)照射测定光；受光部(10、23)，其接受通过了光透射部(15)的测定光；支承构件(31)，其将投射部(9、22)及受光部(10、23)支承为能够移动，以使测定位置(32)沿光透射部(15)移动，所述测定位置(32)为光透射部(15)被光照射的位置及利用受光部(23)接受通过了光透射部(15)的光的位置；测定位置移动机构(2)，其使支承构件(31)移动，以使测定位置(32)在光透射部(15)的规定区域内移动；数据处理部，其取得受光部(10、23)在多个测定位置(32)接受的光强度数据，并根据这多个光强度数据算出在送液管(14、16)内流动的液体的浓度。
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公开(公告)号：CN101548174B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200880000873.5
申请日：2008-02-19
CPC classification number: G01N21/3563 , G01N21/314 , G01N21/94 , G01N2021/3174 , G01N2021/945 , G01N2201/0221
Abstract: 装置1包括泛光灯单元20、接收器单元30以及处理单元40。泛光灯单元20将红外光施加到工件50的表面，并且包括面光源21和聚焦透镜23。接收器单元30接收从工件50的表面反射的红外光，并且包括接收器传感器31和滤光器33，该滤光器33透过具有该表面上的污染物51吸收的波长的红外光。处理单元40根据从该表面反射的红外光的吸光度来评估工件50的表面的清洁度。并且将来自该表面的反射红外光的接收区域Rb设定为小于施加到该表面的红外光的施加区域Ra。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102459092A
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：CN201080024514.0
申请日：2010-06-01
Applicant: 仓敷纺织株式会社
CPC classification number: B08B17/00 , B08B2203/005 , C02F1/68 , C02F1/722 , C02F1/78 , C02F2103/346 , C02F2305/023 , C11D11/0047 , G03F7/423
Abstract: 本发明提供可将较高浓度的含羟基自由基水提供给使用点，且在简便性方面优异的含羟基自由基水供给方法。所述含羟基自由基水供给方法包括：将臭氧、过氧化氢以及选自由水溶性有机物、无机酸、所述无机酸的盐和肼构成的组中的至少一种以上的添加物质溶解于纯水而生成含羟基自由基水的生成工序；将生成的含羟基自由基水移送至使用点的移送工序；以及在使用点供给移送后的含羟基自由基水的供给工序。
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公开(公告)号：CN1208990A
公开(公告)日：1999-02-24
申请号：CN98117348.9
申请日：1998-08-19
Applicant: 株式会社京都第一科学 , 仓敷纺织株式会社
Inventor： 徐可欣
IPC: H03G3/20
CPC classification number: A61B5/14532 , A61B5/1455 , A61B5/14552 , A61B5/6826 , A61B5/6838 , A61B5/6843
Abstract: 一种卡具设置在一探头座上,该探头座的一个孔洞与卡具的孔洞连通,使由光导纤维束组成的测量探头可插进这些孔洞。一受测目标受到由该测量探头前端的光照射,使来自受测目标输出的光进入测量探头。一空气包用来与受测目标相接触就装在该测量探头的前端上,其位置不阻碍光的发射和入射。该空气包与一压力传感器相连,使指示器能读出压力数。该测量探头对于每一受测目标都要确定出压力的稳定值并进行调整。
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公开(公告)号：CN103597315B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201280028005.4
申请日：2012-06-04
CPC classification number: G01N21/9515 , G01B11/2425 , G01B11/25 , G01N21/9054 , G01N21/909 , G06T7/0008
Abstract: 本发明提供一种能够正确地且在短时间内检查瓶罐的螺纹部的瓶罐的螺纹部检查装置。该螺纹部检查装置，使具有口部（3）的瓶罐（4）围绕罐轴（X）旋转的同时，拍摄被设定为包括口部（3）的一部分的摄像区域，以检查口部（3）中的螺纹部（2）的形状，其中所述口部（3）由为了安装带衬垫的瓶盖而使开口端朝向外方翻卷的卷边部（1）和在卷边部（1）的下方螺纹嵌合瓶盖的螺纹部（2）构成，所述螺纹部检查装置具备：旋转机构（21），保持瓶罐（4）并使其围绕罐轴旋转；螺纹部照明机构（22），从半径方向外方且罐轴方向下方朝向斜上方，对摄像区域内的瓶罐（4）的螺纹部（2）照射照明光（A）；摄像机构（24），连续地取得包括摄像区域中的照明光（A）的反射光（A’）的检查图像；和螺纹部检查机构（25），基于反射光（A’）的拍摄结果检测出螺纹部（2）的螺纹起始部，进行包括螺纹起始部的螺纹部（2）的检查。
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公开(公告)号：CN103155113A
公开(公告)日：2013-06-12
申请号：CN201180036016.2
申请日：2011-07-21
Applicant: 仓敷纺织株式会社 , 株式会社化学工艺技术
IPC: H01L21/306 , H01L21/308
CPC classification number: B44C1/227 , H01L21/31111 , H01L21/67057 , H01L21/67086 , H01L21/67109
Abstract: 提供一种由于能够直接检测处理液的浓度，因而能够几乎不受处理液温度影响地进行独立的浓度控制，从而能够精度良好地对基板进行药液处理的基板处理装置。在将基板浸渍在将药液和稀释液混合而成的处理液中进行处理的基板处理装置中，包括：处理槽（1），贮留处理液；加热单元（2、3），加热处理液；温度检测单元（4），检测处理液的温度；温度控制单元（5），操作所述加热单元（2、3）以使检测温度接近设定温度；补充单元（6），将稀释液补充到处理液中；浓度检测单元（7），通过测量处理液的吸光特性来检测处理液的浓度；以及浓度控制单元（8），操作所述补充单元（6）以使检测浓度接近设定浓度。
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公开(公告)号：CN1224601A
公开(公告)日：1999-08-04
申请号：CN98119960.7
申请日：1998-08-06
Applicant: 仓敷纺织株式会社 , 株式会社京都第一科学
IPC: A61B5/107
Abstract: 一种在采用生物参数测量设备测量生物参数过程中用于使生物体的被测区域相对于探测头定位的方法和装置,所述生物参数测量设备通过探测头用光照射生物体区域,保持探测头与生物体区域接触,探测从生物体区域传输和/或反射来的光,测量生物体内基于传输和/或反射来的光的光谱的预定生物参数。分别采用多个局部固定装置来固定生物体的多个预定部分。生物体的各部分分别通过局部固定装置固定,因此使被测区域相对于探测头得以固定。
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