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发明公开
移动台、具有移动台的输送装置及带电粒子束装置无效

公开(公告)号：CN102414811A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN200980158961.2

申请日：2009-09-30

Applicant: 京瓷株式会社

Inventor： 宗石猛 , 明石幸治

IPC: H01L21/68 , H01L21/027

CPC classification number: H01L21/68 , H01J37/20 , H01J2237/20221

Abstract: 本发明的移动台具有：能够沿着第一方向移动的第一台(12)；至少一部分位于第一台(12)上，能够沿着与第一方向交叉的第二方向移动的第二台(13)；生成用于使第二台(13)沿着第二方向移动的驱动力的生成部(MY)；从生成部(MY)向第二台(13)传递驱动力，并且至少一部分伴随着第一台(12)的移动而进行动作的动力传递部(17、20)。

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