公开(公告)号：CN102459092A

公开(公告)日：2012-05-16

申请号：CN201080024514.0

申请日：2010-06-01

Applicant: 仓敷纺织株式会社

Inventor： 田中忠玄 ,  盐见元信 ,  上野晃裕

IPC: C02F1/72 ,  C02F1/78 ,  C11D7/18 ,  C11D7/26 ,  C11D17/08 ,  H01L21/304

CPC classification number: B08B17/00 ,  B08B2203/005 ,  C02F1/68 ,  C02F1/722 ,  C02F1/78 ,  C02F2103/346 ,  C02F2305/023 ,  C11D11/0047 ,  G03F7/423

Abstract: 本发明提供可将较高浓度的含羟基自由基水提供给使用点，且在简便性方面优异的含羟基自由基水供给方法。所述含羟基自由基水供给方法包括：将臭氧、过氧化氢以及选自由水溶性有机物、无机酸、所述无机酸的盐和肼构成的组中的至少一种以上的添加物质溶解于纯水而生成含羟基自由基水的生成工序；将生成的含羟基自由基水移送至使用点的移送工序；以及在使用点供给移送后的含羟基自由基水的供给工序。