液体浓度计
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102159935B

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN200980137054.X

    申请日:2009-08-31

    Abstract: 本发明提供一种从送液管外部稳定地计测输送液体的送液管内的液体浓度的液体浓度计。该液体浓度计具备:送液管(14、16),其输送液体;光透射部(15),其设置在送液管(14、16)的中途;投射部(9、22),其向光透射部(15)照射测定光;受光部(10、23),其接受通过了光透射部(15)的测定光;支承构件(31),其将投射部(9、22)及受光部(10、23)支承为能够移动,以使测定位置(32)沿光透射部(15)移动,所述测定位置(32)为光透射部(15)被光照射的位置及利用受光部(23)接受通过了光透射部(15)的光的位置;测定位置移动机构(2),其使支承构件(31)移动,以使测定位置(32)在光透射部(15)的规定区域内移动;数据处理部,其取得受光部(10、23)在多个测定位置(32)接受的光强度数据,并根据这多个光强度数据算出在送液管(14、16)内流动的液体的浓度。

    干涉式膜厚计
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103063149B

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201210394819.1

    申请日:2012-10-17

    Abstract: 本发明提供一种能够在在线式测量中进行稳定的测量的干涉式膜厚计。该干涉式膜厚计设置有焦点位置扫描部(7),该焦点位置扫描部(7)使作为从投受光探头(5)照射的光的焦点位置、且入射至投受光探头(5)的光的焦点位置的共同焦点位置在规定范围内进行扫描。运算部(13)具备:分光数据获取部(15),其获取投受光探头(5)所接收的光的分光光谱数据;能谱算出部(17),其基于分光光谱数据来计算能谱;膜厚算出部(19),其基于能谱的数据来计算测量对象膜(23)的膜厚;和数据提取部(21),其针对分光光谱数据或能谱的数据或者这两者设置阈值,对阈值以上的数据进行提取。膜厚算出部(19)输出与数据提取部(21)所提取的数据对应的膜厚数据。

    干涉式膜厚计
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103063149A

    公开(公告)日:2013-04-24

    申请号:CN201210394819.1

    申请日:2012-10-17

    Abstract: 本发明提供一种能够在在线式测量中进行稳定的测量的干涉式膜厚计。该干涉式膜厚计设置有焦点位置扫描部(7),该焦点位置扫描部(7)使作为从投受光探头(5)照射的光的焦点位置、且入射至投受光探头(5)的光的焦点位置的共同焦点位置在规定范围内进行扫描。运算部(13)具备:分光数据获取部(15),其获取投受光探头(5)所接收的光的分光光谱数据;能谱算出部(17),其基于分光光谱数据来计算能谱;膜厚算出部(19),其基于能谱的数据来计算测量对象膜(23)的膜厚;和数据提取部(21),其针对分光光谱数据或能谱的数据或者这两者设置阈值,对阈值以上的数据进行提取。膜厚算出部(19)输出与数据提取部(21)所提取的数据对应的膜厚数据。

    液体浓度计
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102159935A

    公开(公告)日:2011-08-17

    申请号:CN200980137054.X

    申请日:2009-08-31

    Abstract: 本发明提供一种从送液管外部稳定地计测输送液体的送液管内的液体浓度的液体浓度计。该液体浓度计具备:送液管(14、16),其输送液体;光透射部(15),其设置在送液管(14、16)的中途;投射部(9、22),其向光透射部(15)照射测定光;受光部(10、23),其接受通过了光透射部(15)的测定光;支承构件(31),其将投射部(9、22)及受光部(10、23)支承为能够移动,以使测定位置(32)沿光透射部(15)移动,所述测定位置(32)为光透射部(15)被光照射的位置及利用受光部(23)接受通过了光透射部(15)的光的位置;测定位置移动机构(2),其使支承构件(31)移动,以使测定位置(32)在光透射部(15)的规定区域内移动;数据处理部,其取得受光部(10、23)在多个测定位置(32)接受的光强度数据,并根据这多个光强度数据算出在送液管(14、16)内流动的液体的浓度。

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