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公开(公告)号：CN102683163B
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：CN201210061713.X
申请日：2012-03-09
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯，在放电容器的外表面设有至少一方为光透射性的外部电极，在上述放电容器内面配置有起动辅助电极而构成，从起动辅助电极到外部电极发生沿面放电，从而不影响外部电极之间的正规放电。其特征为，在上述外部电极上设有枝状电极，该枝状电极包括：根部，从该外部电极的轴向的端部沿上述放电容器的管轴方向延伸；以及枝部，从该根部的前端向上述放电容器的宽度方向延伸；上述起动辅助电极，以至少与一方的上述外部电极的枝状电极的枝部前端互相重叠的方式配置。
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公开(公告)号：CN102671891B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201210067052.1
申请日：2012-03-14
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种光照射装置，可防止或抑制附着于被照射物的有机物等的污染物与大气中所包含的污染物质的反应生成物附着于被照射物，所以能够可靠完成所需要的光清洗处理。其特征为，具备：准分子灯；灯罩，以包围该准分子灯的方式设置，具有将来自该准分子灯的光向外部射出的开口和将内部的气体排出的气体排出口；以及气体排出机构，将大气从该灯罩的开口向该灯罩的内部导入，并从该灯罩的气体排出口排出；在上述准分子灯上设置有光遮蔽单元，该光遮蔽单元以该准分子灯的放射光不照射到上述灯罩内的形成气体流通路径的壁面的方式遮蔽该放射光。
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公开(公告)号：CN101136307A
公开(公告)日：2008-03-05
申请号：CN200710148159.8
申请日：2007-08-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯的结构，即使液晶面板基板、半导体晶片、磁盘基板、以及光盘基板等逐渐大型化，也适于应对照射紫外光而进行清洁、刻蚀等的基板处理，并且可以实现灯的长寿命化。上述准分子灯在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体，具有一对电极，两个电介质部件介于该一对电极之间，在该一对电极上施加高电压，进行放电，其特征在于：在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的支撑部件，在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。
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公开(公告)号：CN114538794A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111331628.6
申请日：2021-11-11
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供能够使灯与被处理物之间的空间适当地成为低氧浓度的空间，并能够在短时间内对被处理物进行紫外线照射处理的紫外线处理装置以及紫外线处理方法。紫外线处理装置(10)具备：准分子灯(20)；灯罩(30)，收容准分子灯(20)，具有取出从准分子灯(20)放射的紫外线的开口(30a)；载物台(40)，以与准分子灯(20)的长度方向正交的方向为输送方向，将被处理物(W)输送至与灯罩(30)的开口(30a)对置的位置且照射紫外线的照射位置；以及气体喷出机构(50)，沿着准分子灯(20)的长度方向向准分子灯(20)与照射位置的被处理物(W)之间的空间喷出惰性气体。
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公开(公告)号：CN101640163B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN200910164913.6
申请日：2009-07-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯，抑制将电力供应给准分子灯的供电线与电极进行接合的连接部等的氧化等引起的劣化，提升可靠性，而且寿命长。本发明的准分子灯的一个电极配置于放电容器外部，在该放电容器内部封入有放电用气体，在与该一个电极成对的另一个电极之间配置有介质，在该一个电极及该另一个电极上连接有将电力供应给电极间的导线，将电力经由该导线、该电极、该介质供应给该放电用气体，其中，设有与该放电容器的一个端部连接的以至少5个面区划的空间，该空间通过隔壁与该放电容器隔离，在该空间的外面形成有与上述电极电连接的连接部，该导线经由焊锡连接在该连接部上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101136307B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710148159.8
申请日：2007-08-28
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯的结构，即使液晶面板基板、半导体晶片、磁盘基板、以及光盘基板等逐渐大型化，也适于应对照射紫外光而进行清洁、刻蚀等的基板处理，并且可以实现灯的长寿命化。上述准分子灯在由电介质构成的放电容器中封入准分子生成气体，具有一对电极，两个电介质部件介于该一对电极之间，在该一对电极上施加高电压，进行放电，其特征在于：在一个电介质部件上具有向另一电介质部件延伸的支撑部件，在该支撑部件或该另一电介质部件的、该支撑部件与该另一电介质部件接触的部位上具有缓冲材料。
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公开(公告)号：CN102683163A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210061713.X
申请日：2012-03-09
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 提供一种准分子灯，在放电容器的外表面设有至少一方为光透射性的外部电极，在上述放电容器内面配置有起动辅助电极而构成，从起动辅助电极到外部电极发生沿面放电，从而不影响外部电极之间的正规放电。其特征为，在上述外部电极上设有枝状电极，该枝状电极包括：根部，从该外部电极的轴向的端部沿上述放电容器的管轴方向延伸；以及枝部，从该根部的前端向上述放电容器的宽度方向延伸；上述起动辅助电极，以至少与一方的上述外部电极的枝状电极的枝部前端互相重叠的方式配置。
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公开(公告)号：CN101393839A
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：CN200810161711.1
申请日：2008-09-22
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种准分子灯的制造方法及能够高水准地维持发光管的紫外光透过率的准分子灯，上述准分子灯的制造方法能够使准分子灯不会因发光管构成材料附着于发光管内表面而降低发光管的紫外光透过率。本发明的准分子灯，在填充有放电用气体的由电解质构成的发光管的外表面，夹着发光管的管壁而相对地设置有一对外部电极，其特征在于，在发光管的内部，包括气体导入部和凸缘部的密封部件的凸缘部的外周边缘在整个圆周方向上焊着而固定到发光管的管壁，从而形成由密封部件和发光管的管壁隔开的气密空间，气体导入部的一端被密封而另一端开口，且一端向发光管的管轴方向的外端延伸，凸缘部与气体导入部连续而向气体导入部的直径方向扩展。
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公开(公告)号：CN100358082C
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN03132701.X
申请日：2003-09-29
Applicant: 优志旺电机株式会社
Abstract: 本发明提供即使在长时间点亮的情况下，仍具有高的照度维持系数的放电灯。采用石英玻璃制的放电容器，在该放电容器内有一对相对放置的电极，在其中封入至少0.15mg/mm3以上的水银、以Ar为主要成分的稀有气体、2×10-4～7×10-3μmol/mm3的溴，在电极之间提供5mA的直流电流使之辉光放电，设Ar发出的波长668nm的发光强度为a，OH发出的波长309nm的发光强度为b，H发出的波长656nm的发光强度为c，C2发出的波长517nm的发光强度为d，CH发出的波长431nm的发光强度为e时，满足1.0×10-4≤b/a≤1.2×10-1、c/a≤1.4×10-1、d/a≤1.2×10-2、e/a≤1.4× 10-2。
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公开(公告)号：CN102671891A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：CN201210067052.1
申请日：2012-03-14
Applicant: 优志旺电机株式会社
IPC: B08B7/00
Abstract: 提供一种光照射装置，可防止或抑制附着于被照射物的有机物等的污染物与大气中所包含的污染物质的反应生成物附着于被照射物，所以能够可靠完成所需要的光清洗处理。其特征为，具备：准分子灯；灯罩，以包围该准分子灯的方式设置，具有将来自该准分子灯的光向外部射出的开口和将内部的气体排出的气体排出口；以及气体排出机构，将大气从该灯罩的开口向该灯罩的内部导入，并从该灯罩的气体排出口排出；在上述准分子灯上设置有光遮蔽单元，该光遮蔽单元以该准分子灯的放射光不照射到上述灯罩内的形成气体流通路径的壁面的方式遮蔽该放射光。
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