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公开(公告)号:CN1514889A
公开(公告)日:2004-07-21
申请号:CN02809730.0
申请日:2002-04-26
Applicant: 住友特殊金属株式会社
IPC: C23C18/38
CPC classification number: C25D5/34 , C23C18/38 , C25D3/38 , H01F41/026
Abstract: 一种含有0.03-0.5摩尔/升的硫酸铜,0.05-0.7摩尔/升的乙二胺四乙酸和0.02-0.3摩尔/升的亚硫酸盐,并且pH值被调整至5.0-8.5的铜镀液;以及一种包括使用所述铜镀液的镀铜方法。所述镀铜方法能够在待镀覆工件表面上稳定地形成均匀且结合性能优异的铜镀膜。