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公开(公告)号：CN107407873B
公开(公告)日：2018-12-04
申请号：CN201580077251.2
申请日：2015-12-29
Applicant: 住友电木株式会社
Inventor： H·恩济 , S·凯迪
IPC: G03F7/022 , G03F7/023 , G03F7/039 , G03F7/075 , G03F7/40
Abstract: 根据本发明的实施方式包含正色调、可水显影、可自成像的聚合物组合物，其用于形成能够图案化以产生用于微电子器件、微电子封装、微机电系统、光电子器件及显示器的结构的膜。
